一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。本实用新型专利技术能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。

A kind of coating machine for isolating the target body through a translational target door

【技术实现步骤摘要】
一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机
本技术涉及一种镀膜机，特别是涉及一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机。
技术介绍
现有广泛用于生产的磁控溅射镀膜机中所用的溅射靶体或整体装于炉内、或整体装于炉壁上(下壁、侧壁或上壁)，靶体上的靶材表面都朝向炉内被镀工件，镀膜前炉腔抽真空并启动加热，下一步充入氩气，在工件与炉壁(接地)施加较高电压，使炉内氩气辉光放电产生氩等离子体，对工件表面进行氩离子轰击清洗，然后进入镀膜作业：启动阴极磁控溅射靶电源，产生靶材溅射，溅出靶材物料，在工件上施加负偏压，把溅射出的靶材粒子吸拉到工件表面沉积成膜层。由于在镀膜作业中，靶材会发热，在靶材背面必须有水冷装置带走热量。一般的靶材都能耐受一定温度和湿度，在镀膜作业完毕后，等待炉内冷却到100度左右，破真空，打开炉门取工件。在打开炉门后，虽然靶材曝露在大气中，但不会产生不良影响和后果。有的镀膜机炉内还备有多种靶材的阴极溅射靶，在镀膜时，为了避免不同靶材的靶体之间相互污染，会在靶材前方加置活动遮挡板，它起到遮挡屏蔽作用，但不起真空密封作用。随着科学技术不断发展，出现了许多新材料靶材。新近有要求镀锂膜层，需要使用金属锂作为靶材，而金属锂的特性是不能接触水、稍高温下不能接触水汽，否则会引起爆炸。现有的磁控溅射镀膜机的溅射靶结构都不能满足隔离水汽要求，必须重新设计全新的溅射靶结构和镀膜机。使用锂材料靶材的镀膜机结构必须满足：1、不能用水作为介质进行冷却，以保证锂材料不会与水接触；2、有单独真空气密功能，能与大气隔离，隔离水汽。为此，我们针对上述技术特点，技术了具有上述功能的专用镀膜机。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，就是提供一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，其特征在于：还包括：靶腔，设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构，安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门及平移启闭机构，靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。在所述靶腔的壁板上设有用于对靶腔进行抽真空的抽气口。所述平移启闭机构包括第一直线运动机构、平移板、连杆、弹簧和限位轮，第一直线运动机构安装在真空镀膜室的壁板上，平移板安装在第一直线运动机构的活动端，靶门与平移板面对面设置，连杆和弹簧位于靶门与平移板之间，连杆两端分别与靶门和平移板铰接，弹簧的两端分别与靶门和平移板固定连接，限位轮设在腔口侧边；当第一直线运动机构往远离腔口方向运动时，连杆向侧倾斜，弹簧收缩，靶门被拉起；当第一直线运动机构往腔口方向运动至靶门正对腔口时，限位轮抵挡在靶门的侧面上，限制靶门继续平移，而平移板继续前行，导致连杆由向侧倾斜转向垂直压下靶门，同时拉长弹簧。沿所述腔口的边缘设有凸出的密封环，在靶门上对应密封环的位置设有靶门密封圈，沿靶门的边缘设有凸缘；当靶门密封盖在腔口处时，凸缘围绕在密封环外围。所述第一直线运动机构为气缸，该气缸通过第一动密封组件对应安装在真空镀膜室的壁板的外表面上，气缸的活塞杆穿入真空镀膜室内。所述伸缩机构包括第二直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，滑动套管活动穿过靶腔的壁板，通过第二动密封组件密封，靶体固定安装在滑动套管的里端，第二直线运动机构安装在靶腔的壁板的外表面，连接板连接第二直线运动机构的活动端和滑动套管的外端。所述靶体内设有液体流道，在滑动套管内设有出液管和进液管，出液管和进液管与滑动套管之间绝缘，出液管和进液管的里端分别与液体流道的出液口和进液口连接，出液管和进液管的外端分别从滑动套管的外端穿出。所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，隔水胶皮平贴在安装槽的底面，极靴设置在隔水胶皮的表面，铜板密封盖在安装槽的槽口处，磁铁分布在铜板与极靴之间，靶材平贴固定在铜板的外表面上；在铜板与极靴之间形成液体流道，在靶体上还设有与液体流道连通的出液通道和进液通道，出液通道和进液通道的外端即为出液口和进液口。所述镀膜机还包括靶体固定板，靶体固定板固定在滑动套管的里端，靶座通过绝缘固定组件固定在靶体固定板上，靶座与靶体固定板之间留有间隔。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1、本技术为前所未有的具有独立的靶体真空隔离空间的镀膜机，通过另外设置靶腔和靶门来实现对靶体的密封隔离，适合用于特殊的不能见水和潮气的靶材(如金属锂)的溅射。本技术通过平移启闭机构实现靶门的自动打开和自动密封盖合。本技术的靶体还可通过伸缩机构进行移动，从而能将靶体调节至合理的溅射距离，可见，在实现对靶体进行密封隔离的功能下，也不会影响镀膜时的效率。2、本技术采用硅油作为靶体降温用的液体，完全避免了现有的镀膜机中由冷却水的渗漏带来的不利风险。3、本技术在靶腔上单独设置抽气口，实现对靶腔单独抽真空。4、本技术的平移启闭机构通过第一直线运动机构带动平移，通过连杆、弹簧和限位轮的配合即可实现靶门的自动打开和自动密封盖合，结构简单，运行可靠稳定。附图说明图1是本技术的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之一，视图方向为主视方向；图2是本技术的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之二，视图方向为侧视方向；图3是本技术的靶门处于打开状态时的剖视示意图之一，视图方向为主视方向；图4是本技术的靶门处于打开状态时的剖视示意图之二，视图方向为侧视方向；图5是图1中Ⅰ处的放大示意图；图6是图1中Ⅱ处的放大示意图；图7是图2中Ⅲ处的放大示意图；图8是图3中Ⅳ处的放大示意图；图9是图3中Ⅴ处的放大示意图；图10是本技术的靶体与伸缩机构的装配示意图；图11是图4中Ⅵ处的放大示意图；图12是图2中Ⅷ处的放大示意图；图13是图11中Ⅶ处的放大示意图。图中附图标记含义：1真空镀膜室；1-1真空镀膜室的底部；2靶腔；2-1抽气口；2-2靶腔的底部壁板；2-3腔口；2-4密封环；3靶体；3-1靶材；3-2铜板；3-3磁铁；3-4极靴；3-5隔水胶皮；3-6压条；3-7屏蔽围板；3-8靶座；3-9靶体固定板；3-10连接螺栓；3-11绝缘垫；3-12绝缘套；3-13绝缘盖；4靶门；4-1靶门密封圈；4-2凸缘；5平移启闭机构；5-1第一直线运动机构；5-2活塞杆；5-3连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：/n靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；/n伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；/n靶门及平移启闭机构，所述靶门通过所述平移启闭机构安装在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动密封盖在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往远离所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动脱离所述腔口并由所述平移启闭机构带动向所述腔口侧边平移开。/n

【技术特征摘要】
1.一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：
靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；
伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；
靶门及平移启闭机构，所述靶门通过所述平移启闭机构安装在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动密封盖在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往远离所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动脱离所述腔口并由所述平移启闭机构带动向所述腔口侧边平移开。


2.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。


3.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶腔的壁板上设有用于对所述靶腔进行抽真空的抽气口。


4.根据权利要求1所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述平移启闭机构包括第一直线运动机构、平移板、连杆、弹簧和限位轮，所述第一直线运动机构安装在所述真空镀膜室的壁板上，所述平移板安装在所述第一直线运动机构的活动端，所述靶门与所述平移板面对面设置，所述连杆和弹簧位于所述靶门与所述平移板之间，所述连杆两端分别与所述靶门和所述平移板铰接，所述弹簧的两端分别与所述靶门和所述平移板固定连接，所述限位轮设在所述腔口侧边；当所述第一直线运动机构往远离所述腔口方向运动时，所述连杆向侧倾斜，所述弹簧收缩，所述靶门被拉起；当所述第一直线运动机构往所述腔口方向运动至所述靶门正对所述腔口时，所述限位轮抵挡在所述靶门的侧面上，限制所述靶门继续平移。


5.根据权利要求4所述的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：沿所述腔口的边缘设有凸出的密封环，在所述靶门上对应所述密封环的位置设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，李志方，潘锐华，陈思，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44