晶圆夹具的导电弹片制造技术

本实用新型专利技术为一种晶圆夹具的导电弹片，适用于载盘，而所述晶圆夹具的导电弹片，包含：结合部，设于所述载盘上；弹性部，供以电性连接导电片；由于所述弹性部能够弹性地靠近或远离所述结合部，使所述导电弹片具有弹性裕度，当晶圆夹具与各构件组合时，利用所述导电弹片良好的弹性，使导电接触良好，形成极佳的导电组合结构。

Conductive shrapnel of wafer clamp

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹具的导电弹片
本技术涉及一种晶圆夹具的导电弹片，特别是关于晶圆夹具的辅助制具。
技术介绍
一般电镀晶圆时所使用的晶圆夹具主要具有载盘，所述载盘上用以放置晶圆，再将晶圆夹具导通电力，以完成晶圆电镀的作业。在电镀晶圆的过程中，晶圆会与晶圆夹具内的导电片相接触，由此让电力能够导通至晶圆，值得一提的是，若能够让晶圆与导电片之间更良好的相接触，则能够提供更好的导电效果。因此，确有必要提供一种技术手段，使晶圆夹具内的晶圆与导电片能够更紧密地接触。
技术实现思路
本技术的目的在于，使晶圆能够与导电片更良好的相接触，以提供更好的导电效果。为达成前述目的，本技术为一种晶圆夹具的导电弹片，适用于载盘，而所述晶圆夹具的导电弹片，包含：结合部，设于所述载盘上；弹性部，供以电性连接导电片。在一较佳实施例中，所述结合部上穿设有结合孔，所述结合孔通过螺栓将所述结合部锁固于所述载盘上。在一较佳实施例中，所述弹性部与所述结合部一体成型，且所述导电弹片的所述弹性部连接所述结合部的一侧，使所述弹性部与所述结合部之间夹有一角度，由此令所述导电弹片具有适当的弹性。在一较佳实施例中，所述弹性部具有二翼片，所述二翼片分别与所述导电片电性连接。在一较佳实施例中，所述二翼片之间分岔形成间隙。在一较佳实施例中，所述二翼片的其中一端连接所述结合部，而其另一端分别连接一弧部。在一较佳实施例中，所述二翼片分别与所述导电片电性连接，且所述二翼片与所述弧部之间连接的部位具有弧度。由此，使用者组合所述导电弹片，只需要通过螺丝穿过所述结合孔，即可将导电弹片组合于载盘上，不仅组设方便，由于所述弹性部能够弹性地靠近或远离所述结合部，使所述导电弹片具有弹性裕度，当晶圆夹具与各构件组合时，利用所述导电弹片良好的弹性，可令导电接触良好，形成极佳的导电组合结构，所述导电弹性结构在实际使用时也不易损坏，因此，更可降低其零件更换的需求，达到节约使用成本的目的。附图说明图1为本技术在一较佳实施例中晶圆夹具的立体分解图。图2为本技术在一较佳实施例中晶圆夹具的剖视图。图3为本技术在一较佳实施例中导电弹片的立体图。图4为本技术在一较佳实施例中导电弹片的侧视图。附图中符号标记说明：导电弹片10结合部11结合孔111弹性部12翼片121弧部122间隙123载盘20导电片30螺栓91角度θ具体实施方式下面将对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1至图4所示，本技术为一种晶圆夹具的导电弹片10，适用于载盘20，而晶圆夹具的导电弹片10，包含：结合部11，设于载盘20上；弹性部12，连接结合部11，弹性部12供以电性连接导电片30。在本实施例中，导电弹片10的结合部11上穿设有结合孔111，螺栓91通过结合孔111将导电弹片10锁固于载盘20上。其次，弹性部12与结合部11一体成型，且导电弹片10的弹性部12连接结合部11的一侧，使弹性部12与结合部11之间夹有一角度θ，由此，当压力自弹性部12压抵时，弹性部12会朝向结合部11靠近，而松释弹性部12时，弹性部12又能够远离结合部11。再者，如3及图4所示，弹性部12具有二翼片121，二翼片121的其中一端连接结合部11，而其另一端则弯折形成弧部122；如图2至图3所示，更佳的是，二翼片121分别与导电片30电性连接，且二翼片121与弧部122之间连接的部位具有弧度，使导电弹片10与导电片30之间接触效果更好，以提升导电效率，且二翼片121与弧部122之间的弧度，更能够防止刮伤导电片30。最后，二翼片121之间分岔形成间隙123，通过间隙123能够方便让起子穿过，并将螺栓91锁固于结合孔111，且间隙123令导电弹片10的二翼部121更具弹性功效。以上为本技术于一较佳实施例中的结构组态及其连接关系，本技术的使用方式及其所能够产生的功效如下所述：如图1及图2所示，使用者能以一起子穿过间隙123，将螺栓91置入导电弹片10的结合孔111中，令导电弹片10锁固于载盘20上。由此，使用者组合导电弹片10，只需要以螺栓91穿过结合孔111，即可将导电弹片10组合于载盘20上，不仅组设方便，由于弹性部12能够弹性地靠近或远离结合部11，使导电弹片10具有弹性裕度，由此提供更好的导电效果，并降低导电弹片10损坏的机率，达到减少零件更换的需求。更佳的是，二翼片121与弧部122之间具有弧度，所述结构设计除能提高导电接触效果外，另外具有能够防止刮伤导电片30的功效。综上所述，上述各实施例仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限定本技术的保护范围，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，皆应包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆夹具的导电弹片，适用于载盘，而所述晶圆夹具的导电弹片，其特征在于，包含：/n结合部，设于所述载盘上；/n弹性部，连接所述结合部，所述弹性部供以电性连接导电片。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹具的导电弹片，适用于载盘，而所述晶圆夹具的导电弹片，其特征在于，包含：
结合部，设于所述载盘上；
弹性部，连接所述结合部，所述弹性部供以电性连接导电片。


2.根据权利要求1所述的晶圆夹具的导电弹片，其特征在于，所述结合部上穿设有结合孔，所述结合孔通过螺栓将所述结合部锁固于所述载盘上。


3.根据权利要求1所述的晶圆夹具的导电弹片，其特征在于，所述弹性部与所述结合部一体成型，且所述导电弹片的所述弹性部连接所述结合部的一侧，使所述弹性部与所述结合部之间夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱晓明，
申请(专利权)人：邱晓明，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71