一种用于精密仪器的防微震基座制造技术

本实用新型专利技术涉及精密设备技术领域，具体为一种用于精密仪器的防微震基座，包括机体和底座，所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块，所述圆形凸块卡接在第一放置槽中，所述第一放置槽设置在柱体上，柱体一体成型设置在主体的上端，所述主体底端卡接在第二放置槽中，所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端，所述滑板两侧一体成型对称设置滑块，对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座，通过本实用新型专利技术可以快捷进行安装、拆卸和更换，从而保证防微震基座的防震性能，进而保证精密仪器的工作质量。

A kind of anti microseismic base for precision instrument

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器的防微震基座
本技术涉及精密设备
，具体为一种用于精密仪器的防微震基座。
技术介绍
基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台，通过设有钢铁配件与精密仪器固定连接，其稳固性和尺寸精度直接影响仪器的工作精度，对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大的影响，特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高行业中，现有技术下对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座的安装通常都是通过固定螺钉固定在地面或者通过混凝土的凝固作用来实现固定连接，即将防微震基座嵌入混凝土中，这样虽然起到了固定安装，若是出现故障需要对防震基座进行检修和更换就会非常麻烦，进而影响防震效果，影响精密仪器的工作质量，为此，本技术提出一种用于精密仪器的防微震基座用于解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于精密仪器的防微震基座，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于精密仪器的防微震基座，包括机体和底座，所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块，所述圆形凸块卡接在第一放置槽中，所述第一放置槽设置在柱体上，柱体一体成型设置在主体的上端，所述主体底端卡接在第二放置槽中，所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端，所述滑板两侧一体成型对称设置滑块，所述滑板一端一体成型设置拉环，所述滑块滑动连接第一滑槽，所述第一滑槽对称设置在第一凹槽两侧，所述第一凹槽设置在底座上，所述第一凹槽内侧两边对称设置第二滑槽、固定孔，所述固定孔插接有销钉，所述第一凹槽底端设置第二凹槽，所述第二凹槽贯穿设置齿条，所述齿条一端一体成型设置支撑板、另一端延伸至第三凹槽中，所述第三凹槽设置在底座边侧，所述齿条与齿轮啮合连接，所述齿轮焊接在转动轴的一端，所述转动轴另一端一体成型设置圆盘，所述转动轴贯穿设置在固定板中，所述固定板与底座通过螺钉固定连接，所述底座底端边侧一体成型对称设置连接脚，所述连接脚设置固定孔。优选的，所述第一滑槽与第二滑槽相连通设置，第二滑槽与滑块设置位置相对应，并且第一凹槽同一边侧上两个第二滑槽之间的距离与滑板同一边侧上两个滑块之间的距离相等。优选的，所述圆形凸块直径与第一放置槽直径相同。优选的，所述齿条与齿轮齿形角、模数相同。优选的，所述支撑板直径与第二凹槽直径相同，支撑板厚度与第二凹槽高度相同。与现有技术相比，本技术的有益效果是：对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座，通过本技术可以快捷进行安装、拆卸和更换，从而保证防微震基座的防震性能，进而保证精密仪器的工作质量。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术底座结构连接俯视图；图3为本技术底座结构连接仰视图；图4为本技术放置槽与滑板连接结构示意图。图中：机体1、圆形凸块2、柱体3、第一放置槽4、第二放置槽5、滑板6、滑块7、拉环8、第一滑槽9、第二滑槽10、固定孔11、底座12、第一凹槽13、第二凹槽14、主体15、齿条16、支撑板17、齿轮18、转动轴19、圆盘20、固定板21、螺钉22、连接脚23、固定孔24、第三凹槽25、销钉26。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种用于精密仪器的防微震基座，本技术包括机体1和底座12，对于该机体1底端一体成型对称设置圆形凸块2，圆形凸块2卡接在第一放置槽4中，并且圆形凸块2直径与第一放置槽4直径要求相同，这样能够牢固卡接，对于第一放置槽4设置在柱体13上，而柱体13一体成型设置在主体15的上端，并且主体15底端卡接在第二放置槽5中，这里的第二放置槽5一体成型设置在滑板6上端，滑板6两侧一体成型对称设置滑块7，在滑板6一端一体成型设置拉环8，滑块7滑动连接第一滑槽9，第一滑槽9对称设置在第一凹槽13两侧，第一凹槽13设置在底座12上，并且第一凹槽13内侧两边还对称设置第二滑槽10、固定孔11，要求第一滑槽9与第二滑槽10相连通设置，第二滑槽10与滑块7设置位置要相对应，并且第一凹槽13同一边侧上两个第二滑槽10之间的距离与滑板6同一边侧上两个滑块7之间的距离要相等，这样当滑板6滑动进入第一滑槽9中，滑板6两边的滑块7能够与第二滑槽10对准，进而可以进行向上滑动，在固定孔11中插接有销钉26，销钉26与固定孔11的插接目的是为了固定滑板6，从而不会让其下落。在第一凹槽13底端设置第二凹槽14，并且第二凹槽14贯穿设置齿条16，齿条16一端一体成型设置支撑板17、另一端延伸至第三凹槽25中，这里的支撑板17目的是在齿条16的推动作用下支撑滑板6向上移动，并且支撑板17直径与第二凹槽14直径相同，支撑板17厚度与第二凹槽14高度也相同，只有这样才能够保证支撑板17停留在第二凹槽14中时支撑板17上表面与第一凹槽13底面保持齐平，第三凹槽25设置在底座12边侧，齿条16与齿轮18啮合连接，并且要求齿条16与齿轮18齿形角、模数相同，这样能够更好的进行传动作用，齿轮18焊接在转动轴19的一端，并且转动轴19另一端一体成型设置圆盘20，转动轴19贯穿设置在固定板21中，固定板21与底座12通过螺钉22固定连接，底座12底端边侧一体成型对称设置连接脚23，连接脚23设置固定孔24，对于本技术当需要对主体1进行拆卸和更换时，只需先将底座12上两侧的销钉26从固定孔11中，拔出，再转动圆盘20带动齿轮18与齿条16的运转，进而带动支撑板17向下移动，放置在第二放置槽5中的主体15也会向下移动，直到主体15上的第一放置槽4与机体1上的圆环凸块2分离，这时滑板6刚好到达第一凹槽13的底端，再拉动拉环8，将滑板6拉出，再将主体1从第二放置槽5中拿出即可完成拆卸工作，接着就可以进行维修和更换工作，当需要进行安装时，先将将新的主体1放置在第二放置槽5中，这时再推动滑板6进入第一凹槽13中，当滑块7与第二滑槽10对准时，即滑板6滑到第一凹槽13另一端时，这时再反向转动圆盘20，带动齿轮18与齿条16的运转，进而推动支撑板17向上移动，进而推动滑板6和主体1向上移动，当滑块7移动到第二滑槽10顶端即第一放置槽4与圆形凸块2进行卡接时，再将销钉26插入固定孔11中，即可对滑板6进行固定，进而对主体1进行快速安装固定。工作原理：对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座，通过本技术可以快捷进行安装、拆卸和更换，从而保证防微震基座的防震性能，进而保证精密仪器的工作质量，当需要进行安装固定时，先将将新的主体1放置在第二放置槽5中，这时再推动滑板6进入第一凹槽13中，当滑块7与第二滑槽10对准时，即滑板6滑到第一凹槽13另一端时，这时转动圆盘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于精密仪器的防微震基座，包括机体(1)和底座(12)，其特征在于：所述机体(1)底端一体成型对称设置圆形凸块(2)，所述圆形凸块(2)卡接在第一放置槽(4)中，所述第一放置槽(4)设置在柱体(3)上，柱体(3)一体成型设置在主体(15)的上端，所述主体(15)底端卡接在第二放置槽(5)中，所述第二放置槽(5)一体成型设置在滑板(6)上端，所述滑板(6)两侧一体成型对称设置滑块(7)，所述滑板(6)一端一体成型设置拉环(8)，所述滑块(7)滑动连接第一滑槽(9)，所述第一滑槽(9)对称设置在第一凹槽(13)两侧，所述第一凹槽(13)设置在底座(12)上，所述第一凹槽(13)内侧两边对称设置第二滑槽(10)、固定孔(11)，所述固定孔(11)插接有销钉(26)，所述第一凹槽(13)底端设置第二凹槽(14)，所述第二凹槽(14)贯穿设置齿条(16)，所述齿条(16)一端一体成型设置支撑板(17)、另一端延伸至第三凹槽(25)中，所述第三凹槽(25)设置在底座(12)边侧，所述齿条(16)与齿轮(18)啮合连接，所述齿轮(18)焊接在转动轴(19)的一端，所述转动轴(19)另一端一体成型设置圆盘(20)，所述转动轴(19)贯穿设置在固定板(21)中，所述固定板(21)与底座(12)通过螺钉(22)固定连接，所述底座(12)底端边侧一体成型对称设置连接脚(23)，所述连接脚(23)设置固定孔(24)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器的防微震基座，包括机体(1)和底座(12)，其特征在于：所述机体(1)底端一体成型对称设置圆形凸块(2)，所述圆形凸块(2)卡接在第一放置槽(4)中，所述第一放置槽(4)设置在柱体(3)上，柱体(3)一体成型设置在主体(15)的上端，所述主体(15)底端卡接在第二放置槽(5)中，所述第二放置槽(5)一体成型设置在滑板(6)上端，所述滑板(6)两侧一体成型对称设置滑块(7)，所述滑板(6)一端一体成型设置拉环(8)，所述滑块(7)滑动连接第一滑槽(9)，所述第一滑槽(9)对称设置在第一凹槽(13)两侧，所述第一凹槽(13)设置在底座(12)上，所述第一凹槽(13)内侧两边对称设置第二滑槽(10)、固定孔(11)，所述固定孔(11)插接有销钉(26)，所述第一凹槽(13)底端设置第二凹槽(14)，所述第二凹槽(14)贯穿设置齿条(16)，所述齿条(16)一端一体成型设置支撑板(17)、另一端延伸至第三凹槽(25)中，所述第三凹槽(25)设置在底座(12)边侧，所述齿条(16)与齿轮(18)啮合连接，所述齿轮(18)焊接在转动轴(19)的一端，所述转动轴(19...

【专利技术属性】
技术研发人员：商富祥，商富彬，
申请(专利权)人：江苏瑞鑫集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32