一种集成电路无尘车间机台载重基座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集成电路无尘车间机台载重基座，包括横梁式支撑脚，横梁式支撑脚上设有钢构地板，钢构地板和横梁式支撑脚通过固定螺栓连接，钢构地板上设有螺纹孔，螺纹孔两排为一组，螺纹孔横向设有如干组，每组螺纹孔之间设有间距，钢构地板上设有支撑板，支撑板上设有水泥板，本实用进过多层减震结构，能够有效的减少外界对机台的影响，同时也能保证机台稳定的运行。

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【技术实现步骤摘要】
一种集成电路无尘车间机台载重基座
本技术涉及载重基座领域，具体为一种集成电路无尘车间机台载重基座。
技术介绍
载重基座能承重基座的重量，同时进行隔离震动减少外界环境对机台的影响，尤其是进行集成电路等精加工时，为了保证加工的精度必须进行隔离震动，同时加工的机器较重时能分担重量，避免地板下陷。在建造基座的过程中遇到了一些问题；一、基座设计结构单一，只有一种或两种结构进行承重和隔离震动，无法有效的对震动进行隔离，导致机器晃动造成加工误差；二、各种定位件通常以垫片为基底，安装麻烦且费力，无法有效的保证几套的定位效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种集成电路无尘车间机台载重基座，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种集成电路无尘车间机台载重基座，包括横梁式支撑脚，所述横梁式支撑脚上设有钢构地板，所述钢构地板和横梁式支撑脚通过固定螺栓连接，所述钢构地板上设有螺纹孔，所述螺纹孔两排为一组，所述螺纹孔横向设有若干组，每组所述螺纹孔之间设有间距，所述钢构地板上设有支撑板，所述支撑板上设有水泥板。优选的，所述支撑板两侧设有凹槽，所述凹槽为阶梯形，所述凹槽的位置和钢构地板上的螺纹孔相匹配，两个所述凹槽中间设有螺纹孔，所述凹槽内设有固定螺栓，所述固定螺栓上设有垫圈，所述固定螺栓的螺头直径大于阶梯形凹槽下半部分小于上半部分，所述固定螺栓螺头的高度小于凹槽上半部分，所述固定螺栓的螺杆能贯穿凹槽下半部分和钢构地板上的螺纹孔连接。优选的，所述支撑板上设有固定片，所述固定片为L形，所述固定片的一端设有两个螺纹孔，所述固定片上的螺纹孔位置和支撑板上的螺纹孔能配合连接，所述固定片的另一侧设有定位螺栓，所述定位螺栓贯穿固定片到达楔形板处，所述楔形板前端设有阻隔板。优选的，所述水泥板结构为T形，所述水泥板两侧镶嵌有钢板，所述水泥板下端设有钢筋，所述钢筋纵向、横向及垂直向相交搭接，所述钢板下方由钢筋搭建成凸台，所述凸台设有若干组，所述凸台之间之间设有间距，所述水泥板其余部分填充水泥。与现有技术相比，本技术的有益效果是：一、本技术通过加入多层减震结构，横梁式支撑脚和地面连接，横梁式支撑脚上方安装有钢构地板，钢构地板对机台提供支撑作用，钢构地板上用固定螺栓连接有支撑板，支撑板上设有水泥板，通过多层次的减震结构对震动层层消减，保证机台不受外界环境的影响；二、支撑板上通过固定螺栓固定连接有固定片，固定片上安装有定位螺栓，定位螺栓前有楔形板，楔形板前设有阻隔板，通过定位螺栓移动楔形板，楔形板推动阻隔板对水泥板进行定位固定，添加楔形板可以让阻隔板在移动的时候受力更加均匀，使得定位更加准确；水泥板内镶嵌有钢板，使得机台支撑更加平稳，避免机台过重将水泥板压陷。附图说明图1为基座立体结构示意图；图2为支撑板立体结构示意图；图3为固定板连接示意图；图4为凹槽形状示意图；图5为水泥板结构示意图。图中：1横梁式支撑脚、2钢构地板、3螺纹孔、4支撑板、5水泥板、6钢板、7凹槽、8固定片、9定位螺栓、10固定螺栓、11垫圈、12楔形板、13阻隔板、14钢筋、15凸台。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种集成电路无尘车间机台载重基座，包括横梁式支撑脚1，横梁式支撑脚1上设有钢构地板2，钢构地板2和横梁式支撑脚1通过固定螺栓10连接，钢构地板2上设有螺纹孔3，螺纹孔3两排为一组，螺纹孔3横向设有若干组，每组螺纹孔3之间设有间距，钢构地板2上设有支撑板4，支撑板4上设有水泥板5。支撑板4两侧设有凹槽7，凹槽7为阶梯形，凹槽7的位置和钢构地板2上的螺纹孔3相匹配，两个凹槽7中间设有螺纹孔3，凹槽7内设有固定螺栓10，固定螺栓10上设有垫圈11，固定螺栓10的螺头直径大于阶梯形凹槽7下半部分小于上半部分，固定螺栓10螺头的高度小于凹槽7上半部分，固定螺栓10的螺杆能贯穿凹槽7下半部分和钢构地板2上的螺纹孔3连接，固定螺栓10贯穿支撑板4和钢构地板2上的螺纹孔3连接，凹槽7使得固定螺栓10位于支撑板4内部，同时也能根据机台安放位置进行调整，避免螺纹孔3之间位置不匹配，垫圈11增大受力面积。支撑板4上设有固定片8，固定片8为L形，固定片8的一端设有两个螺纹孔3，固定片8上的螺纹孔3位置和支撑板4上的螺纹孔3能配合连接，固定片8的另一侧设有定位螺栓9，定位螺栓9贯穿固定片8到达楔形板12处，楔形板12前端设有阻隔板13，通过定位螺栓9移动楔形板12，楔形板12推动阻隔板13对水泥板5进行定位固定，添加楔形板12可以让阻隔板13在移动的时候受力更加均匀，使得定位更加准确。水泥板5结构为T形，水泥板5两侧镶嵌有钢板6，水泥板5下端设有钢筋14，钢筋14纵向、横向及垂直向相交搭接，钢板6下方由钢筋14搭建成凸台15，凸台15设有若干组，凸台15之间之间设有间距，水泥板5其余部分填充水泥，使得机台支撑更加平稳，避免机台过重将水泥板5压陷，钢筋14之间相交搭接使得水泥之间连接更加稳固，凸台15对钢板6进行支撑。工作原理：将横梁式支撑脚1安装在地面，再将钢构地板2通过固定螺栓10安装在横梁式支撑脚1上，根据机台所需的位置进行安装支撑板4，固定螺栓10贯穿支撑板4和钢构地板2上的螺纹孔3连接，凹槽7使得固定螺栓10位于支撑板4内部，同时也能根据机台安放位置进行调整，避免螺纹孔3之间位置不匹配，垫圈11增大受力面积，通过定位螺栓9移动楔形板12，楔形板12推动阻隔板13对水泥板5进行定位固定，添加楔形板12可以让阻隔板13在移动的时候受力更加均匀，钢板6能避免机台过重将水泥板5压陷，钢筋14之间相交搭接使得水泥之间连接更加稳固，凸台15对钢板6进行支撑。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路无尘车间机台载重基座，包括横梁式支撑脚(1)，其特征在于：所述横梁式支撑脚(1)上设有钢构地板(2)，所述钢构地板(2)和横梁式支撑脚(1)通过固定螺栓(10)连接，所述钢构地板(2)上设有螺纹孔(3)，所述螺纹孔(3)两排为一组，所述螺纹孔(3)横向设有若干组，每组所述螺纹孔(3)之间设有间距，所述钢构地板(2)上设有支撑板(4)，所述支撑板(4)上设有水泥板(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成电路无尘车间机台载重基座，包括横梁式支撑脚(1)，其特征在于：所述横梁式支撑脚(1)上设有钢构地板(2)，所述钢构地板(2)和横梁式支撑脚(1)通过固定螺栓(10)连接，所述钢构地板(2)上设有螺纹孔(3)，所述螺纹孔(3)两排为一组，所述螺纹孔(3)横向设有若干组，每组所述螺纹孔(3)之间设有间距，所述钢构地板(2)上设有支撑板(4)，所述支撑板(4)上设有水泥板(5)。


2.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间机台载重基座，其特征在于：所述支撑板(4)两侧设有凹槽(7)，所述凹槽(7)为阶梯形，所述凹槽(7)的位置和钢构地板(2)上的螺纹孔(3)相匹配，两个所述凹槽(7)中间设有螺纹孔(3)，所述凹槽(7)内设有固定螺栓(10)，所述固定螺栓(10)上设有垫圈(11)，所述固定螺栓(10)的螺头直径大于阶梯形凹槽(7)下半部分小于上半部分，所述固定螺栓(10)螺头的高度小于凹槽(7)上半部分，所述固定螺栓(10)的螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：商富祥，商富彬，
申请(专利权)人：江苏瑞鑫集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32