一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪制造技术

技术编号:23757142 阅读:51 留言:0更新日期:2020-04-11 15:42
本发明专利技术涉及测量技术领域,更具体地说,它涉及一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,该透可见光且反紫外光工件影像测量仪包括机台、光源和用于对待测量件成像的物镜;所述光源和物镜均设置在机台上;所述透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括载物机构,所述载物机构设置在机台上、且为可吸收紫外光线的载物机构,所述载物机构用于承载待测量件;所述光源包括紫外光源,所述紫外光源用于发出紫外光,为所述载物机构上的待测量件提供照明。根据本发明专利技术提供的技术方案,本发明专利技术的影像测量仪可以对高光透反紫外光工件比如ITO膜进行测量,测量精度较高。

An image measuring instrument for visible and anti UV workpieces

【技术实现步骤摘要】
一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪
本专利技术涉及测量
,特别涉及一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪。
技术介绍
光电影像测量技术具有非接触、适应能力强、精度高、检测速度快、可靠性高等其他类别检测仪器无法超越的优势,在现代工业检测的质量控制中使用广泛。其中,影像测量仪是光电影像测量技术中常用的一种检测设备。如图1所示,现有的影像仪包括透光板1´、可见光源2´和物镜3´,可见光源2´位于透光板1´的下方,物镜3´位于透光板1´的上方。待测工件4´放在透光板1´上,可见光源2´从下方照射待测工件4´,物镜3´对准待测工件4´,以对待测工件4´成像。当利用上述的影像仪对高可见光透光率、且能够反射紫外光的工件比如ITO膜进行测量时,由于ITO膜具有较高的可见光透光率,在测量时物镜3´中观察到的ITO膜的轮廓边界较模糊,导致对ITO膜的测量精度降低。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,主要所要解决的技术问题是如何提高透可见光且反紫外光工件在影像测量仪上的测量精度。为达到上述目的,本专利技术主要提供如下技术方案:本专利技术的实施例提供一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,包括机台、光源和用于对待测量件成像的物镜;所述光源和物镜均设置在机台上;所述透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括载物机构,所述载物机构设置在机台上、且为可吸收紫外光线的载物机构,所述载物机构用于承载待测量件;所述光源包括紫外光源,所述紫外光源用于发出紫外光,为所述载物机构上的待测量件提供照明。通过采用上述的技术方案:当光源发出紫外光照射到高光透反紫外光工件上时,待测量工件可以反射紫外光,并且载物机构可以吸收紫外光线,通过这种吸收与反射的相互作用,使物镜对待测量工件所成的像可以清楚地显示出待测量工件在载物机构上的轮廓边界,从而方便对高光透反紫外光工件进行测量,测量精度较高。本专利技术进一步设置为:所述载物机构包括可吸收紫外光线的载物片,以通过所述载物片承载所述待测量件。通过采用上述的技术方案:相对于其他复杂的可吸收紫外光线的载物结构,载物片由于呈片状,其结构相对较简单,加工较方便,成本较低。本专利技术进一步设置为:所述载物片为黑色硅胶片。通过采用上述的技术方案:黑色硅胶片的反射紫外光性能较好,使物镜对高光透反紫外光工件所成的像的轮廓边界更加清晰。本专利技术进一步设置为:所述机台上设有载物板,所述载物板具有用于承载待测量件的承载区域,所述载物机构可分离地放置在所述载物板上;所述光源还包括可见光源,所述可见光源用于对所述承载区域上的待测量件提供照明。通过采用上述的技术方案:本专利技术的影像测量仪不仅可以对高光透反紫外光工件进行测量,也可以对非高可见光透光率的工件进行测量,其对待测量工件的适用范围更广,从而实用性能更佳。本专利技术进一步设置为:所述载物板为透光板,所述可见光源位于所述透光板的下方,所述紫外光源位于所述透光板的上方。通过采用上述的技术方案:通过将可见光源设置在透光板的下方,其与现有技术中其他影像测量仪的设置方式相同,从而在现有影像测量仪的基础上只需要增加紫外光源和载物机构即可得到本专利技术的影像测量仪。其中,通过上述的方案设计,方便对现有的影像测量仪进行改装,改装成本较小。本专利技术进一步设置为:所述机台上设有用于承载物镜的活动机头,所述紫外光源设置在所述活动机头上。通过采用上述的技术方案:由于现有技术中的影像测量仪也具有活动机头,从而在对现有技术中的影像测量仪进行改装时,只需将紫外光源安装在活动机头上即可,无需额外单独设计对紫外光源进行支撑的结构,使得对现有影像测量仪的改动成本较低。本专利技术进一步设置为:所述紫外光源发出的紫外光的波长为415.8nm-424.2nm。通过采用上述的技术方案:当待测量的工件为ITO膜时,经过实验发现ITO膜对波长为415.8nm-424.2nm的紫外线反射效果较佳,故紫外光源发出的紫外光的波长优选为415.8nm-424.2nm,使ITO膜可以尽可能多地将光线反射入物镜,这样观测到的ITO膜的清晰度会更佳。借由上述技术方案,本专利技术透可见光且反紫外光工件影像测量仪至少具有以下有益效果:1、本专利技术的影像测量仪可以对高光透反紫外光工件比如ITO膜进行测量,测量精度较高;2、本专利技术的影像测量仪对非高光透反紫外光工件也可以进行测量。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。附图说明图1是现有技术中一种影像测量仪的结构简图;图2是本专利技术的一实施例提供的一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪的结构简图;图3是本专利技术的一实施例提供的一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪的结构示意图。附图标记:1、机台;3、物镜;4、载物机构;5、载物板;6、活动机头;21、紫外光源;22、可见光源;41、载物片;10、待测量件。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。需要说明,若本专利技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……),则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。另外,若本专利技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。如图2和图3所示,本专利技术的一个实施例提出的一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,其包括机台1(如图3所示)、光源、物镜3和载物机构4。光源、物镜3和载物机构4均设置在机台1上。物镜3用于对待测量件10进行成像。其中,载物机构4为可吸收紫外光线的载物机构,载物机构4用于承载待测量件10。光源包括紫外光源21,该紫外光源21用于发出紫外光,为载物机构4上的待测量件10提供照明。上述的紫外光源21可以为紫外光发生器等。上述的待测量件10为高可见光透光率、且能够反射紫外光的工件,比如可以为ITO膜等。下面以ITO膜作为待测量工件对上述示例中测量仪的具体工作过程进行描述。如图2所示,首先将ITO膜放置在载物机构4上;然后打开紫外光源21,紫外光源21发出光照射到ITO膜上,为ITO膜提供照明;调整物镜3,物镜3对准ITO膜,以对ITO膜成像。其中,本专利技术的透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括摄像头和显示器。摄像头可以为CCD摄像头。摄像头通过物镜3获取ITO膜的图像,并可以将ITO膜的图像发送给显示器进行显示;然后对ITO膜进行测量,其对ITO膜的具体测量过程为现有技术中的常用技术,在此不再赘述。在上述示例中,当本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,包括机台(1)、光源和用于对待测量件(10)成像的物镜(3);所述光源和物镜(3)均设置在机台(1)上;其特征在于,/n所述透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括载物机构(4),所述载物机构(4)设置在机台(1)上、且为可吸收紫外光线的载物机构,所述载物机构(4)用于承载待测量件(10);/n所述光源包括紫外光源(21),所述紫外光源(21)用于发出紫外光,为所述载物机构(4)上的待测量件(10)提供照明。/n

【技术特征摘要】
1.一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,包括机台(1)、光源和用于对待测量件(10)成像的物镜(3);所述光源和物镜(3)均设置在机台(1)上;其特征在于,
所述透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括载物机构(4),所述载物机构(4)设置在机台(1)上、且为可吸收紫外光线的载物机构,所述载物机构(4)用于承载待测量件(10);
所述光源包括紫外光源(21),所述紫外光源(21)用于发出紫外光,为所述载物机构(4)上的待测量件(10)提供照明。


2.根据权利要求1所述的透可见光且反紫外光工件影像测量仪,其特征在于,
所述载物机构(4)包括可吸收紫外光线的载物片(41),以通过所述载物片(41)承载所述待测量件(10)。


3.根据权利要求2所述的透可见光且反紫外光工件影像测量仪,其特征在于,
所述载物片(41)为黑色硅胶片。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的透可见光且反紫外光工件影像测...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊亮张路平
申请(专利权)人:广东谨诺科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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