【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料研磨液生产用补液釜
本技术涉及半成品补液附属装置的
,特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用补液釜。
技术介绍
众所周知,半导体材料研磨液生产用补液釜是一种用于半导体材料研磨液生产过程中,对半成品进行盛放混合,使其更好进行后续补液的辅助装置,其在半成品补液的领域中得到了广泛的使用;现有的半导体材料研磨液生产用补液釜包括底板和工作箱,工作箱安装在底板顶端,工作箱内部设置有工作腔,工作箱顶端连通设置有进料口,并在进料口处盖装有进料盖,工作箱前侧下方密封设置有卸料管,并在卸料管上设置有卸料阀;现有的半导体材料研磨液生产用补液釜使用时,将其整体放置在平面上,通过进料口将半成品原材均导入至工作腔内,手动摇晃工作箱使其进行混合,并通过卸料管将其全部倒出即可;现有的半导体材料研磨液生产用补液釜使用中发现,其卸料管卸料时不能方便卸干净,导致其实用性较差;并且其整体安装固定方式较为单一,导致其适应能力较差;而且不能方便对工作箱内部进行观察,从而导致其实用性较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供一种其卸料管卸料时能够方便卸干净,提高其实用性;并且可以增加其整体安装固定方式,提高其适应能力;而且能够方便对工作箱内部进行观察,从而提高其实用性的半导体材料研磨液生产用补液釜。本技术的一种半导体材料研磨液生产用补液釜,包括底板和工作箱,工作箱内部设置有工作腔,工作箱顶端连通设置有进料口,并在进料口处盖装有进料盖,工作箱前侧下方密封设置有卸料管,并在卸料管上设置有卸料阀;底板包括上板体、下板 ...
【技术保护点】
1.一种半导体材料研磨液生产用补液釜,包括底板和工作箱(1),工作箱(1)内部设置有工作腔,工作箱(1)顶端连通设置有进料口,并在进料口处盖装有进料盖(2),工作箱(1)前侧下方密封设置有卸料管(3),并在卸料管(3)上设置有卸料阀;其特征在于,底板包括上板体(4)、下板体(5)、支撑柱(6)和万向球(7),支撑柱(6)底端安装在下板体(5)顶端,支撑柱(6)顶端与万向球(7)连接,上板体(4)底端设置有球形槽,万向球(7)位于球形槽内部,且万向球(7)可相对球形槽旋转,工作箱(1)安装在上板体(4)顶端;还包括安装板(8)、挂板(9)、夹板(10)、第一套簧(11)和第一可伸缩管,安装板(8)前端与工作箱(1)后侧上方连接,挂板(9)安装在安装板(8)后端,第一套簧(11)后侧与挂板(9)前侧连接,夹板(10)安装在第一套簧(11)前侧,第一可伸缩管后侧与挂板(9)前侧连接,夹板(10)安装在第一可伸缩管前侧,第一套簧(11)套装在第一可伸缩管外侧;进料盖(2)顶端连通设置有观察孔,并在观察孔处设置有透明观察板(12),进料盖(2)顶端左侧设置有前后向连通口,还包括滑块(13)、带动 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体材料研磨液生产用补液釜,包括底板和工作箱(1),工作箱(1)内部设置有工作腔,工作箱(1)顶端连通设置有进料口,并在进料口处盖装有进料盖(2),工作箱(1)前侧下方密封设置有卸料管(3),并在卸料管(3)上设置有卸料阀;其特征在于,底板包括上板体(4)、下板体(5)、支撑柱(6)和万向球(7),支撑柱(6)底端安装在下板体(5)顶端,支撑柱(6)顶端与万向球(7)连接,上板体(4)底端设置有球形槽,万向球(7)位于球形槽内部,且万向球(7)可相对球形槽旋转,工作箱(1)安装在上板体(4)顶端;还包括安装板(8)、挂板(9)、夹板(10)、第一套簧(11)和第一可伸缩管,安装板(8)前端与工作箱(1)后侧上方连接,挂板(9)安装在安装板(8)后端,第一套簧(11)后侧与挂板(9)前侧连接,夹板(10)安装在第一套簧(11)前侧,第一可伸缩管后侧与挂板(9)前侧连接,夹板(10)安装在第一可伸缩管前侧,第一套簧(11)套装在第一可伸缩管外侧;进料盖(2)顶端连通设置有观察孔,并在观察孔处设置有透明观察板(12),进料盖(2)顶端左侧设置有前后向连通口,还包括滑块(13)、带动柱(14)、带动板(15)、连接板(16)和海绵擦(17),带动柱(14)顶端与滑块(13)连接,带动柱(14)底端穿过前后向连通口并伸入至工作箱(1)内部与带动板(15)顶端左方连接,海绵擦(17)安装在连接板(16)顶端,海绵擦(17)贴紧透明观察板(12)底侧壁。
2.如权利要求1所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜,其特征在于,还包括两组辅振弹簧、两组辅振板(18)和两组防水振荡器(19),两组辅振弹簧的外端分别安装在工作箱(1)内侧壁左侧和右侧,两组辅振弹簧的内端分别与两组辅振板(18)连接,两组防水振荡器(19)分别安装在两组辅振板(18)上,并且两组防水振荡器(19)均自带供电模块。
3.如权利要求2所述的一种半导体材料研磨液生产用补液釜,其特征在于,还包括四组上连接块、四组第二套簧(20)、四组第二可伸缩管和四组下连接块,四组第二套簧(20)的一端分别与四组上连接块连接,四组第二套簧(20)的另一端分别与四组下连接块连接,四组第二可伸缩管的一端分别与四组上连接块连接,四组第二可伸缩管的另一端分别与四组下连接块连接,四组第二套簧(20)分别套装在四组第二可伸缩管外侧,四组上连接块和四组下连接块均设置为铁质块,还包括四组上吸铁石块和四组下吸铁石块(21),四组上连接块分别吸附在四组上吸铁石块底端,四组下连接块分别吸附在四组下吸...
【专利技术属性】
技术研发人员:仵靖,石志成,齐维达,周少伟,
申请(专利权)人:石家庄优士科电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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