涂胶显影设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种涂胶显影设备包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，第一工艺模块和第二工艺模块的一端与片盒模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块的另一端与接口模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块可以相互独立工作，节约了维护时间，提高了生产效率，第一工艺模块和第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，第一层间工艺机械手、第二层间工艺机械手和层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数，能够实现多个晶圆的搬运，提高了生产效率。

Gluing developing equipment

【技术实现步骤摘要】
涂胶显影设备
本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种涂胶显影设备。
技术介绍
现有半导体加工的光刻工艺中，涂胶设备、光刻设备和显影设备分别完成光刻胶涂布工艺流程、光刻工艺流程以及显影工艺流程。随着半导体加工工艺水平的提升，市场主流将涂胶显影设备与光刻设备连接在一起从而完成整套光刻工艺流程，其中通常把涂胶工艺流程和显影工艺流程集成在同一设备上，同时需要涂胶显影设备的产能大于光刻设备的产能，而涂胶显影设备的产能由工艺单元瓶颈产能和机器人瓶颈产能决定。传统的设备机器人形式固定，机器人速度已经接近极限，提高设备的机器人的瓶颈产能，只能通过增加机器人的数量来实现，而增加机器人数量则会导致显影设备的占地面积变大，占地面积变大则成为限制产能的另一限制条件。因此，有必要提供一种新型的涂胶显影设备以解决现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种涂胶显影设备，在同等机器人数量及机器人速度的前提下提高显影设备的工作效率。为实现上述目的，本技术的所述涂胶显影设备，包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的一端与所述片盒模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的另一端与所述接口模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，所述第一层间工艺机械手、所述第二层间工艺机械手和所述层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组所述末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数。本技术的有益效果在于：所述第一工艺模块和所述第二工艺模块并排设置于所述片盒模块和所述接口模块之间，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块可以相互独立工作，节约了维护时间，提高了生产效率；所述第一层间工艺机械手、所述第二层间工艺机械手和所述层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组所述末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数，一个方向上能够实现多个晶圆的同时搬运，提高了生产效率。优选地，所述层内工艺机械手组自下而上分别包括结构相同的第一层内工艺机械手、第二层内工艺机械手和第三层内工艺机械手。其有益效果在于：所述第一层内工艺机械手、所述第二层内工艺机械手和所述第三层内工艺机械手可用于所述第一工艺模块和所述第二工艺模块内不同位置晶圆的搬运，独立运行提高生了产效率，并且在下而上设置，充分利用了竖直上的空间，节约了占地面积。进一步优选地，所述第一层内工艺机械手包括第一竖直滑部、第一水平滑部和第一执行器台座，所述第一竖直滑部设置于所述第一水平滑部的上侧，且所述第一竖直滑部与所述第一水平滑部滑动连接，所述第一执行器台座设置于所述第一竖直滑部的一侧。其有益效果在于：便于所述第一执行器台座在水平和竖直方向上运动。进一步优选地，所述第一执行器台座包括连接部、第一执行部和第二执行部。进一步优选地，所述连接部包括承载部和竖直连接部，所述竖直连接部设置于所述承载部的一侧，所述竖直连接部与所述第一竖直滑部滑动连接。进一步优选地，所述承载部的上侧设有执行部滑轨，所述执行部滑轨垂直于所述竖直连接部，所述第一执行部和所述第二执行部设置于所述执行部滑轨的上侧，且所述第一执行部、所述第二执行部均与所述竖直连接部平行，所述第二执行部与所述执行部滑轨固定连接，所述第一执行部下侧设有执行部滑块，且所述执行部滑块与所述执行部滑轨滑动连接。其有益效果在于：便于调节所述第一执行部和所述第二执行部之间的装配误差。进一步优选地，所述第一执行部背向所述第二执行部的一侧设有第一上滑道和第一下滑道，所述第一上滑道上设有第一上弯折板，所述第一上弯折板与所述第一上滑道滑动连接，所述第一下滑道上设有第一下弯折板，所述第一下弯折板与所述第一下滑道滑动连接，所述第一上弯折板和所述第一下弯折板上侧设置有第一上固定板，所述第一上固定板的一侧设有第一组末端执行器。其有益效果在于：所述第一上弯折板和所述第一下弯折板共同固定所述第一上固定板，能保证所述第一上固定板的稳定性，防止出现晃动。进一步优选地，所述第二执行部背向所述第一执行部的一侧设有第二上滑道和第二下滑道，所述第二上滑道上设有第二上弯折板，所述第二上弯折板与所述第二上滑道滑动连接，所述第二下滑道上设有第二下弯折板，所述第二下弯折板与所述第二下滑道滑动连接，所述第二上弯折板和所述第二下弯折板上侧设有有第二上固定板，所述第二上固定板的一侧设有第二组末端执行器。其有益效果在于：所述第二上弯折板和所述第二下弯折板共同固定所述第二上固定板，能保证所述第二上固定板的稳定性，防止出现晃动。进一步优选地，所述第一执行部背向所述第二执行部的一侧设有第一上滑道和第一下滑道，所述第一上滑道上设有第一上弯折板，所述第一上弯折板与所述第一上滑道滑动连接，所述第一下滑道上设有第一下弯折板，所述第一下弯折板与所述第一下滑道滑动连接，所述第一上弯折板和所述第一下弯折板上侧设置有第一上固定板，所述第一上固定板的一侧设有第一组末端执行器，所述第二执行部背向所述第一执行部的一侧设有第二上滑道和第二下滑道，所述第二上滑道上设有第二上弯折板，所述第二上弯折板与所述第二上滑道滑动连接，所述第二下滑道上设有第二下弯折板，所述第二下弯折板与所述第二下滑道滑动连接，所述第二上弯折板和所述第二下弯折板上侧设有有第二上固定板，所述第二上固定板的一侧设有第二组末端执行器，所述第一组末端执行器的延伸方向与所述第二组末端执行器的延伸方向相反，且所述第一组末端执行器与所述第二组末端执行器之间具有第一高度差。其有益效果在于：所述第一组末端执行器与所述第二组末端执行器之间具有高度差，所述第一组末端执行器与所述第二组末端执行器在竖直方向上可以重叠，节约了在水平面上的占用面积。进一步优选地，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间具有第二高度差，所述第一高度差等于所述第二高度差。其有益效果在于：所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间的高度差与所述第一组末端执行器和所述第二组末端执行器之间的高度差相同，使得所述第一组末端执行器和所述第二组末端执行器能够完成晶圆的抓取和放置。进一步优选地，所述第一组末端执行器包括第一末端执行器和第二末端执行器，所述第二组末端执行器包括第三末端执行器和第四末端执行器。进一步优选地，所述第一层间工艺机械手和所述第二层间工艺机械手结构相同，所述第一层间工艺机械手包括第二竖直滑部和第二执行器台座，且所述第二执行器台座与所述第一执行器台座的结构相同。优选地，所述片盒模块包括片盒机械手和片盒组，所述片盒机械手设置于所述片盒组和所述第一工艺模块之间。其有益效果在于：便于所述片盒机械手将晶圆从所述片盒搬运到所述第一工艺模块内。进一步优选地，所述片盒机械手包括n个朝向相同的所述末端执行器，n为大于或等于2的自然数。其有益效果在于：便于同时从所述片盒组搬运多个晶圆。进一步优选地，所述接口模块内置有接口机械手，所述接口机械手与所述片盒机械手本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的一端与所述片盒模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的另一端与所述接口模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，所述第一层间工艺机械手、所述第二层间工艺机械手和所述层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组所述末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数。/n

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的一端与所述片盒模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块的另一端与所述接口模块连接，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，所述第一层间工艺机械手、所述第二层间工艺机械手和所述层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组所述末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数。


2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述层内工艺机械手组自下而上分别包括结构相同的第一层内工艺机械手、第二层内工艺机械手和第三层内工艺机械手。


3.根据权利要求2所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一层内工艺机械手包括第一竖直滑部、第一水平滑部和第一执行器台座，所述第一竖直滑部设置于所述第一水平滑部的上侧，且所述第一竖直滑部与所述第一水平滑部滑动连接，所述第一执行器台座设置于所述第一竖直滑部的一侧。


4.根据权利要求3所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一执行器台座包括连接部、第一执行部和第二执行部。


5.根据权利要求4所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述连接部包括承载部和竖直连接部，所述竖直连接部设置于所述承载部的一侧，所述竖直连接部与所述第一竖直滑部滑动连接。


6.根据权利要求5所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述承载部的上侧设有执行部滑轨，所述执行部滑轨垂直于所述竖直连接部，所述第一执行部和所述第二执行部设置于所述执行部滑轨的上侧，且所述第一执行部、所述第二执行部均与所述竖直连接部平行，所述第二执行部与所述执行部滑轨固定连接，所述第一执行部下侧设有执行部滑块，且所述执行部滑块与所述执行部滑轨滑动连接。


7.根据权利要求6所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一执行部背向所述第二执行部的一侧设有第一上滑道和第一下滑道，所述第一上滑道上设有第一上弯折板，所述第一上弯折板与所述第一上滑道滑动连接，所述第一下滑道上设有第一下弯折板，所述第一下弯折板与所述第一下滑道滑动连接，所述第一上弯折板和所述第一下弯折板上侧设置有第一上固定板，所述第一上固定板的一侧设有第一组末端执行器。


8.根据权利要求6所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第二执行部背向所述第一执行部的一侧设有第二上滑道和第二下滑道，所述第二上滑道上设有第二上弯折板，所述第二上弯折板与所述第二上滑道滑动连接，所述第二下滑道上设有第二下弯折板，所述第二下弯折板与所述第二下滑道滑动连接，所述第二上弯折板和所述第二下弯折板上侧设有有第二上固定板，所述第二上固定板的一侧设有第二组末端执行器。


9.根据权利要求6所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一执行部背向所述第二执行部的一侧设有第一上滑道和第一下滑道，所述第一上滑道上设有第一上弯折板，所述第一上弯折板与所述第一上滑道滑动连接，所述第一下滑道上设有第一下弯折板，所述第一下弯折板与所述第一下滑道滑动连接，所述第一上弯折板和所述第一下弯折板上侧设置有第一上固定板，所述第一上固定板的一侧设有第一组末端执行器，所述第二执行部背向所述第一执行部的一侧设有第二上滑道和第二下滑道，所述第二上滑道上设有第二上弯折板，所述第二上弯折板与所述第二上滑道滑动连接，所述第二下滑道上设有第二下弯折板，所述第二下弯折板与所述第二下滑道滑动连接，所述第二上弯折板和所述第二下弯折板上侧设有有第二上固定板，所述第二上固定板的一侧设有第二组末端执行器，所述第一组末端执行器的延伸方向与所述第二组末端执行器的延伸方向相反，且所述第一组末端执行器与所述第二组末端执行器之间具有第一高度差。


10.根据权利要求9所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一工艺模块和所述第二工艺模块之间具有第二高度差，所述第一高度差等于所述第二高度差。


11.根据权利要求9所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一组末端执行器包括第一末端执行器和第二末端执行器，所述第二组末端执行器包括第三末端执行器和第四末端执行器。


12.根据权利要求3所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一层间工艺机械手和所述第二层间工艺机械手结构相同，所述第一层间工艺机械手包括第二竖直滑部和第二执行器台座，且所述第二执行器台座与所述第一执行器台座的结构相同。


13.根据权利要求1所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述片盒模块包括片盒机械手和片盒组，所述片盒机械手设置于所述片盒组和所述第一工艺模块之间。

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【专利技术属性】
技术研发人员：洪旭东，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21