适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，属于电子工业洁净室领域。包括无级调速直流无刷新风机组、集中控制器、电动调节阀、风压传感器、无级调速直流无刷支路风机、压差传感器、压差控制器。从调试阶段分为工作模式和值班模式，两种模式初始设置为各自的调试状态。洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点。本实用新型专利技术具有较高的控制精度和节能性，控制逻辑清晰，工程适应性强。

Differential pressure control system for Mau + FFU + DCC electronic clean room

【技术实现步骤摘要】
适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统
本技术属于电子工业洁净室领域，涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统。
技术介绍
电子产品已渗透到各行各业，电子信息产业对社会变化影响力日益加大，被全球各主要国家作为战略性发展产业。随着以平板电视、智能手机等为代表的市场热点产品的发展，速度进一步加快，2018年1-2月，规模以上电子信息制造业增加值同比增长12.1％，快于全部规模以上工业增速4.9个百分点，在制造业细分行业中增速排名居前列。洁净室是电子工业的基础，对于保障电子产品生产质量具有非常重要的作用。MAU+FFU+DCC洁净系统是电子工业洁净室中应用得十分广泛的洁净形式。压差是电子洁净室的重要控制参数之一，对于保证电子洁净室的室内空气环境具有十分重要的作用。动态压差控制对于保障洁净室洁净度和降低运行成本意义明显，当前，关于洁净室压差控制的研究相对较少，而且大都集中设计工况(稳态)下送风量与压差的对应关系上，而关于运行状态下动态压差控制的研究更少，且停留在定性研究层面，工程适应性和可操作性均较差。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制问题。为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。进一步，所述新风机组风机与支路风机均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定，以适应洁净室压差从欠压、正常、超压不同情况下的风量变化，既保证压差控制效果，又降低风机运行能耗。本技术的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组风机、电动调节阀、支路风机会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；工作模式调试时，各洁净室处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为工作模式调试状态；值班模式调试时，让各洁净室处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为值班模式调试状态。新风机组的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比各洁净室的支路风管上的风压传感器所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。工作模式的压差控制包括以下步骤：S1：系统启动进入工作模式，将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度初始设置为工作模式调试状态；S2：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机的运转速度与电动调节阀的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机的运转速度与电动调节阀的开度状态维持不变；S3：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到上限值时，将支路风机的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机运转速度与电动调节阀阀位状态维持不变；S4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。值班模式的控制方式为：将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。本技术的有益效果在于：本技术从调试阶段即分为工作模式和值班模式，两种控制模式的初始设置均设为各自的调试状态。各洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再行调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点；本技术明确了新风机组风机与支路风机的选型风量、工作模式与值班模式的压差调试方法、工作模式的压差控制步骤、值班模式的压差控制方法。本技术具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制问题。本技术的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本技术的实践中得到教导。本技术的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。附图说明为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作优选的详细描述，其中：图1为本技术所述适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统结构示意图；图2为本技术所述末端压差控制装置结构示意图。附图标记：新风机组1、末端压差控制装置2、压差传感器3、集中控制器4、电动调节阀5、风压传感器6、支路风机7、压差控制器8。具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接；/n所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接；
所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华廷，陈家冰，李强，
申请(专利权)人：中机中联工程有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50