蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统技术方案

本发明专利技术公开了一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统。蒸镀预加热方法包括：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。本发明专利技术公开的蒸镀预加热方法通过对蒸镀材料分批次进行预加热，能够有效地对蒸镀腔室内的真空度进行管控，进而可以提高蒸镀质量，提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统
本专利技术属于显示
，尤其涉及一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示具有成本低、视角宽、驱动电压低、响应速度快、发光色彩丰富、制备工艺简单、可实现大面积柔性显示等优点，被认为最具发展前景的显示技术之一。有机发光二极管包括对应每个像素区域层叠设置的阳极、有机发光层和阴极，阴极采用蒸镀的方式形成在有机发光层上。阴极所用的金属材料在量产前需要在位于蒸镀腔室内的蒸镀坩埚内进行预加热，以除去残留的水汽和新生氧化层，保证蒸镀材料的纯度，在该除杂过程中会释放大量的气体使蒸镀腔室内的真空度上升，超过管控范围，导致产线工艺无法保证，影响蒸镀质量，进而影响产品质量。因此，需要对蒸镀腔室的真空度进行管控，以提高蒸镀质量。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统，旨在对蒸镀腔室的真空度进行管控，以提高蒸镀质量。第一方面，本专利技术提供一种蒸镀预加热方法，包括：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。根据本专利技术的一个方面，加热批次序列中，根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次，包括：查询预设的性能指标库，确定与各蒸镀材料的类别相关联的稳定性指标，性能指标库内存储有多组相互关联的材料类别和稳定性指标；根据各蒸镀材料所对应的稳定性指标，对各蒸镀材料进行排序，得到至少两种待加热的蒸镀材料的加热批次。根据本专利技术的一个方面，稳定性指标包括水氧吸收性能指标。根据本专利技术的一个方面，按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热，包括：按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行持续目标时长的预加热。根据本专利技术的一个方面，按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行持续目标时长的预加热之前，预加热方法还包括：根据各蒸镀材料的类别和质量，确定各蒸镀材料所对应的目标时长；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行持续目标时长的预加热，进一步包括：按照所确定的加热批次，以所对应的目标时长对各蒸镀材料进行预加热。根据本专利技术的一个方面，按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热，包括：按照所确定的加热批次，启动对首加热批次的蒸镀材料的预加热；在检测到蒸镀材料所在蒸镀腔室的真空度回升后再下降至预设气压阈值时，启动下一加热批次的蒸镀材料的预加热。根据本专利技术的一个方面，蒸镀材料包括三种，三种蒸镀材料为银、镱和镁。根据本专利技术的一个方面，蒸镀材料银和镱在同一加热批次进行预加热。第二方面，本专利技术提供一种蒸镀预加热系统，包括：蒸镀腔室；至少两个蒸镀源，位于蒸镀腔室内，用于对至少两种蒸镀材料进行预加热；控制器，与至少两个蒸镀源耦合，用于：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。根据本专利技术的一个方面，蒸镀预加热系统还包括用于监测蒸镀腔室内真空度的真空度监测模块，控制器连接真空度监测模块并自真空度监测模块获取所监测到的真空度，控制器还用于：在确定所获取到的真空度回升后再下降至预设气压阈值时，启动下一加热批次的蒸镀材料的预加热。本专利技术实施例中，根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别确定各蒸镀材料的加热批次，再按照所确定的加热批次对各蒸镀材料进行预加热，相较于相关技术中对各蒸镀材料同时进行预加热，短时间内释放大量的气体，气体累积使蒸镀腔室的真空度超出管控范围，而影响蒸镀质量，本实施例的蒸镀预加热方法通过对至少两种蒸镀材料分批次进行预加热，能够有效地对蒸镀腔室内的真空度进行管控，进而可以提高蒸镀质量，提高产品良率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的一种蒸镀预加热方法的流程图；图2是本专利技术实施例提供的另一种蒸镀预加热方法的流程图；图3是本专利技术实施例提供的又一种蒸镀预加热方法的流程图；图4是本专利技术实施例提供的一种蒸镀腔室真空度变化的示意图；图5是本专利技术实施例提供的另一种蒸镀腔室真空度变化的示意图；图6是本专利技术实施例的一种蒸镀预加热系统的结构示意图。图中：10-蒸镀腔室；20-蒸镀源；30-可转动底座。具体实施方式下面将详细描述本专利技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本专利技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅被配置为解释本专利技术，并不被配置为限定本专利技术。对于本领域技术人员来说，本专利技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本专利技术的示例来提供对本专利技术更好的理解。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合图1至图6对本专利技术实施例的蒸镀材料的预加热方法及蒸镀系统进行详细描述。请参阅图1所示，图1是本专利技术实施例提供的一种蒸镀预加热方法的流程图。本专利技术实施例的蒸镀预加热方法包括如下步骤：步骤100，根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次。对于不同类别的蒸镀材料，其加热过程中所释放的气体的量不同，可以根据各蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次。可以理解的是，每个加热批次可以包括至少一种蒸镀材料。步骤200，按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。该步骤中，按照上一步骤中确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。通过对各蒸镀材料进行预加热，可以除去各蒸镀材料的水氧等杂质，提高蒸镀材料的纯度，同时为后续的蒸镀过程做准备。本实施例中，根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别确定各蒸镀材料的加热批次，再按照所确定的加热批次对各蒸镀材料进行预加热，相较于相关技术中对各蒸镀材料同时进行预加热，短时间内释放大量的气体，气体累积使蒸镀腔室的真空度超出管控范围，而影响蒸镀质量，本实施例的蒸镀预加热方法通过对至少两种蒸镀材料分批次本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀预加热方法，其特征在于，包括：/n根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各所述蒸镀材料的加热批次；/n按照所确定的所述加热批次，对各所述蒸镀材料进行预加热。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀预加热方法，其特征在于，包括：
根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各所述蒸镀材料的加热批次；
按照所确定的所述加热批次，对各所述蒸镀材料进行预加热。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各所述蒸镀材料的加热批次，包括：
查询预设的性能指标库，确定与各所述蒸镀材料的类别相关联的稳定性指标，所述性能指标库内存储有多组相互关联的材料类别和稳定性指标；
根据各所述蒸镀材料所对应的稳定性指标，对各蒸镀材料进行排序，得到所述至少两种待加热的蒸镀材料的加热批次。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述稳定性指标包括水氧吸收性能指标。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述按照所确定的所述加热批次，对各所述蒸镀材料进行预加热，包括：
按照所确定的所述加热批次，对各所述蒸镀材料进行持续目标时长的预加热。


5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述按照所确定的所述加热批次，对各所述蒸镀材料进行持续目标时长的预加热之前，所述预加热方法还包括：
根据各蒸镀材料的类别和质量，确定各所述蒸镀材料所对应的目标时长；
所述按照所确定的所述加热批次，对各所述蒸镀材料进行持续目标时长的预加热，进一步包括：
按照所确定的所述加热批次，以所对...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵迪，辛小刚，朱修剑，王宝友，孙飞，王卫卫，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32