线锯装置制造方法及图纸

目的是在线锯装置中提供用来在各种各样的切断条件下可靠地实现由遮蔽板带来的浆液的飞散防止的装置结构。一种线锯装置，具备：多条金属线群，在离开间隔的多个辊间，将金属线并列地张架；工件保持部，保持工件，并向将工件相对于多条金属线群推入的方向移动；及喷嘴，至少从比将工件向多条金属线群推入的路径更靠多条金属线群的行进方向上游侧向多条金属线群供给浆液；将沿着多条金属线群的并列方向延伸的长方形的遮蔽板至少配置在相对于工件的推入路径靠多条金属线群的行进方向上游侧且多条金属线群的上方；遮蔽板以一边为转动轴以该一边的对边侧向工件的推入路径侧的工件倒入的朝向转动，转动轴以一端为固定点而另一端能够向工件侧水平移动。

【技术实现步骤摘要】
线锯装置
本专利技术涉及一种例如从硅锭、化合物半导体等锭切出许多晶片的线锯装置，特别提供一种实现高品质的晶片的切出的装置构造。
技术介绍
成为半导体基板的晶片是将硅锭或化合物半导体等锭那样的坯材切片而制造的，但随着近年来的锭的大型化，从以往的内刃切片机的切断处理，转移为借助线锯装置的大量的同时切片处理来制造的方法。另外，以下包括这些锭将受到由线锯装置进行的切断处理的部件称作工件。线锯装置如在专利文献1中记载那样，是以下这样的装置：使卷绕在辊上的金属线高速行进，从喷嘴排出浆液，一边将浆液向该金属线施加一边将金属线推抵在工件上，从而将工件切断，同时切出许多晶片。这里，说明通常的线锯装置的概要。线锯装置主要由用来将工件切断的金属线、将该金属线可行进地张架的多个辊、用来对金属线赋予张力的机构、将工件向下方送出的工件保持部、和在切断时对金属线供给浆液的机构构成。将金属线从一方的线轴抽出，经由横移装置，经过由粉末离合器或张力调节辊等构成的张力赋予机构，向辊送入。通过将金属线跨越多个辊以共计300～400圈左右进行螺旋卷绕，构成在辊间沿轴向排列的多条金属线群。此外，辊是将聚氨酯树脂压入到钢制圆筒的周围且在其表面上以一定的间距切割出槽的结构，能够将被卷绕的金属线借助驱动用马达以预先决定的周期往复驱动。另外，在工件的切断时，保持着工件的工件保持机构向多条金属线群侧移动，将工件向以预先被编程的进给速度行进的多条金属线群推入。并且，在多条金属线群的附近设置有喷嘴，在切断时，能够从浆液罐对于多条金属线群供给由磨粒及分散剂构成的浆液。此外，在浆液罐上连结着浆液冷却器，能够调整供给的浆液的温度。并且，使用这样的线锯装置，对金属线使用金属线张力赋予机构赋予适当的张力，一边借助驱动用马达使多条金属线群往复行进一边将锭切片。但是，在这样的线锯装置中，被供给到金属线上的浆液在锭的借助金属线的切断时使锭的温度变化，结果，晶片表面的起伏成分增大，有得到的晶片的品质下降的问题。作为表面起伏成分，可以举出0.2～几十mm的凸凹成分的纳米形貌、晶片面内的最大翘曲量的Warp（弯曲）等，而特别是纳米形貌的增大对晶片的品质影响较大。另外，该纳米形貌是取出了波长比Warp短且λ=0.2～几十mm的波长成分的结构。该纳米形貌据说会给设备制造中的STI（ShallowTrenchIsolation；浅沟道隔离）工序的成品率带来影响。纳米形貌在晶片的加工工序（切片～研磨）中发生，其中，将起因于线锯/切片的纳米形貌（即，切片起伏）分类为突发性地发生的成分、在切断开始或结束部分中发生的成分及具有周期性的成分这三种。其中，在晶片的切断开始/结束部分中发生的成分在纳米形貌的数值判定中成为不合格的比率较高。特别是，切断结束部分的纳米形貌比切断开始部分的纳米形貌大，在晶片面内成为使纳米形貌的数值最恶化的部位，在数值判定中成为不良的频度较高。作为其对策，在专利文献2中公开了一种线锯装置，其通过控制浆液的供给温度，控制锭的温度变化，抑制起因于锭的温度变化的纳米形貌的增大。浆液的温度的控制只是控制从喷嘴供给的浆液的温度，所以能够原样挪用已有的线锯装置的基本结构，所以没有成本的大幅的增大。或者，作为其他的对策，在专利文献3中公开了一种线锯装置，其在将浆液划分为切断用浆液和调温用浆液的两个系统后，通过独立地控制它们的温度，更细致地控制切断时的锭的温度变化，更有效地抑制了起因于锭的温度变化的纳米形貌的增大。但是，专利文献3中记载的线锯装置由于设置有两个喷嘴，必须控制从各自的喷嘴喷出的浆液的温度，所以装置结构较复杂，装置本身变得昂贵。此外，如果使用在专利文献2及3中公开那样的线锯装置将锭切断，则在锭的切断时浆液飞散而附着到锭上表面。附着在锭上表面的浆液因切断热等而水分蒸发，所以粘度增大。该粘性增大的浆液被供给到工件的已经被金属线切入的部位，向进行切出作业的部位流入，所以切出的精度恶化。此外，由于飞散到锭上表面的浆液被再次供给，所以浆液被过量供给，难以适当地控制锭的温度，纳米形貌及Warp增大，晶片的品质下降。作为解决上述问题的手段，在专利文献4中，公开了一种线锯装置，其具备将从喷嘴供给并飞散的浆液捕集的捕集部件。该捕集部件被组装并固定在工件保持部上。这样，通过具备捕集部件，飞散到锭的上表面侧的浆液虽然不完全但被捕集部件捕集，在这一点上是有利的，由此，抑制了上述那样的由浆液带来的纳米形貌及Warp增大的情况。此外，专利文献4中记载的线锯装置由于结构较简单，所以制造成本不会大幅地增加。另一方面，在专利文献5中，公开了一种线锯装置，其具备与工件的形状对应而水平运动或沿着圆轨道平行运动的板状或块状的飞散防止部件。由此，报告了能够抑制工件的波纹运动，能够改善晶片的Warp，所述工件的波纹运动是因附着在金属线上的浆液碰在工件的切入部上而飞散，从飞散部飞散的浆液向切入部再流入而产生的。但是，在专利文献4所记载的线锯装置的捕集部件中，有可能不能将从喷嘴喷出的浆液充分地完全捕集，浆液的一部分飞散到工件上表面，纳米形貌及Warp增大。此外，在专利文献5所记载的线锯装置的飞散防止部件中，必须经常监视工件位置与飞散防止部件位置的关系，与工件的形状对应而使飞散防止部件水平运动或沿着圆轨道平行运动，为了一边维持工件与飞散防止部件总是接触的状态一边使飞散防止部件上升移动，要求极其高度的控制，在现实中难以采用这样的装置结构。在过度地使飞散防止部件平行运动的情况下，也有飞散防止部件碰到工件外周面而使工件本身脱落的危险性。此外，为了做成能够一边维持工件与飞散防止部件总是接触的状态一边使飞散防止部件上升移动那样的精密的装置构造，成为非常昂贵的装置。因此，实际上需要在工件与飞散防止部件之间设置间隙，有可能没有将从喷嘴喷出的浆液完全遮断而浆液的一部分飞散到工件上表面，使纳米形貌及Warp恶化。即，如果浆液的一部分飞散到工件上表面，则飞散的浆液暴露在大气中，从而其温度下降，该低温化的浆液的一部分飞散到因切断加工的加工热而高温化的工件上表面，从而以该温度降低的浆液飞散的区域为中心发生工件的急剧的温度下降及伴随着它的热收缩。结果，发生了急剧的热收缩的部位处的纳米形貌及Warp恶化。作为解决上述以往的问题点的技术，开发了一种线锯装置，其有效地防止浆液向工件上表面的飞散，充分地抑制了纳米形貌及Warp的增大。即，在专利文献6中，提出了一种线锯装置，其将在前述的多条金属线群的并列方向上延伸的遮蔽板相对于将固接在前述工件保持部上的工件向前述多条金属线群推入的路径，以位于前述多条金属线群的行进方向上游侧且前述多条金属线群的上方的基点，能够绕该基点向前述工件的推入路径侧的前述工件倒入而设置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平9-262826号公报专利文献2：日本特开2008-78473号公报专利文献3：日本特开2008-302618号公报专利文献4：日本特开2007-273711号公报专利文献5：日本特开2009-11317本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线锯装置，具备：多条金属线群，在离开间隔的多个辊间，将金属线以能够在相对于辊轴方向正交的方向上行进的方式并列地张架；工件保持部，保持将被前述多条金属线群切断的工件，并向将前述工件相对于前述多条金属线群推入的方向移动；以及喷嘴，至少从比将前述工件向前述多条金属线群推入的路径更靠前述多条金属线群的行进方向上游侧向前述多条金属线群供给浆液；其特征在于，/n将沿着前述多条金属线群的并列方向延伸的长方形的遮蔽板至少配置在相对于前述工件的推入路径靠前述多条金属线群的行进方向上游侧且前述多条金属线群的上方；前述遮蔽板以一边为转动轴以该一边的对边侧向前述工件的推入路径侧的前述工件倒入的朝向转动，前述转动轴以一端为固定点而另一端能够向前述工件侧水平移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种线锯装置，具备：多条金属线群，在离开间隔的多个辊间，将金属线以能够在相对于辊轴方向正交的方向上行进的方式并列地张架；工件保持部，保持将被前述多条金属线群切断的工件，并向将前述工件相对于前述多条金属线群推入的方向移动；以及喷嘴，至少从比将前述工件向前述多条金属线群推入的路径更靠前述多条金属线群的行进方向上游侧向前述多条金属线群供给浆液；其特征在于，
将沿着前述多条金属线群的并列方向延伸的长方形的遮蔽板至少配置在相对于前述工件的推入路径靠前述多条金属线群的行进方向上游侧且前述多条金属线群的上方；前述遮蔽板以一边为转动轴以该一边的对边侧向前述工件的推入路径侧的前述工件倒入的朝向转动，前述转动轴以一端为固定点而另一端能够向前述工件侧水平移动。


2.如权利要求1所述的线锯装置，其特征在于，
在比前述推入路径更靠前述多条金属线群的行进方向下游侧，还具备向该多条金属线群供给浆液的喷嘴；在该多条金属线群及该下游侧的喷嘴的上...

【专利技术属性】
技术研发人员：二村公康，进藤良二，福田正树，
申请(专利权)人：胜高股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP