一种翻舟装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种翻舟装置，包括翻舟紧固装置，夹持装置及翻转装置；紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；翻转装置包括设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；本发明专利技术能保证翻舟在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能使花篮及花篮内的硅片不会掉落，通过移动板的上下移动达到全方位固定花篮的目的；在夹紧装置启动时，能从多方位保证花篮是被稳定夹紧的，且夹紧速度快；且本发明专利技术设置传动结构实现翻舟的翻转，并通过设置定位装置控制翻转的角度，在传送时，花篮为水平状态，煅烧时花篮为竖立状态，既保证了传送安全，又保证了煅烧充分。

A boat turning device

【技术实现步骤摘要】
一种翻舟装置
本专利技术涉及一种翻舟装置。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。在半导体或光伏材料加工过程中，花篮是需要被传输的，这种传输包括从上一个工位移动至下一个工位，而传输的方向也会多样，例如，平行移动、上下移动或者是转动等，这个传输会根据需求的不同而作调整的，但是不管是哪种方式上的传输，在传输的途中都需要保证花篮其稳定性，防止花篮在传输途中发生花篮脱落等情况。
技术实现思路
本专利技术为了克服现有技术的不足，提供一种翻舟装置。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种翻舟装置，其特征在于，一种翻舟装置，包括翻舟固定装置、翻舟夹持装置，翻舟紧固装置和翻舟翻转装置；其中，所述翻舟固定装置包括固定板和用于固定花篮的移动台,固定板和移动台之间设置有传动机构，使得移动台能够相对于固定板移动；翻舟夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；机架上设置有滑轨，夹持装置能沿着滑轨前后移动；翻舟紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；移动部能够相对基准部位移；翻舟翻转装置包括翻舟、翻转装置以及设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；翻舟固定住花篮，夹持装置控制花篮的加紧或者松开，翻舟设置在翻转装置上；所述传动结构能够使翻转装置带动翻舟转动。进一步地，所述传动机构包括传动块和传动块的驱动装置，传动块设置在固定板和移动台之间，传动块通过转动轴与固定板转动连接；传动块包括传动杆、导向杆和传动板，传动杆、导向杆均垂直设置于传动板的两侧；固定板上设置有第一腰型孔，传动杆和转动轴的安装方向相同，传动杆能够从第一腰形孔中穿出，并连接到驱动装置；移动台上设置有第二腰型孔，导向杆能在第二腰型孔内滑动；固定板上设置有第一导轨，移动台上固接有能沿着第一导轨滑动的第一滑块。进一步地，第一腰型孔为弧形；第二腰型孔为直条型；移动台的边缘还设置有Z型固定块；传动板为L型，转动轴设置在传动板的交点处，转动轴垂直于传动板；传动杆到转动轴的距离小于导向杆到转动轴的距离；传动板上设置有U形槽，该U形槽能与活塞头卡接。进一步地，夹持装置包括驱动装置、活塞杆、通过驱动装置控制且沿着滑轨前后移动的夹持件，活塞杆的端部设置有活塞头，夹持件上设置有传动板，活塞头与传动板传动连接；夹持件还包括带有夹持开口的夹持台，开口的内壁上设置有弧面和夹持面，夹持面与开口的底面向内倾斜设置；夹持件还包括移动底座，移动底座包裹着滑轨移动；移动底座上还设置有导向条，导向条上设置有能与滑轨配合的导向槽；底面与滑轨平行；活塞头的截面呈工字型；活塞头包括第一连接块、第二连接块和连接柱，第一连接块一侧与活塞杆连接，另一侧通过连接柱与第二连接块，连接柱能穿出传动板上的U形槽，U形槽与活塞头间隙配合。进一步地，基准部包括第一基准板和第二基准板；沿着第二基准板的短边方向设置有能限定移动部移动路径的第二导轨；移动部包括与第二基准板平行的第二移动板和与第一基准板平行的第一移动板；第二移动板上设置有能与第二导轨配合的第二滑块；基准板上设置有能够推动移动架移动的驱动件，移动部上设置有能与驱动件配合的连接件；第一移动板的两侧设置有用于支撑花篮的支撑柱，且两侧的支撑柱对称设置；支撑柱包括底座、支撑件和支撑头；底座固定于第一移动板上，支撑件位于底座上部，且支撑件顶面的宽度大于底座的宽度；支撑头在远离第二移动板的一侧设有弧度面；弧度面能与花篮的立柱相配合；第一移动板上还设置有挡条；挡条的长度大于两支撑住的间距；进一步地，连接件上设置有开口，该开口卡设置在驱动件的活塞头上，驱动件能通过活塞头带动连接件往复运动；底座上设有卡口，支撑件能够被卡接在卡口上，支撑件具有用于安装支撑头的表面，支撑头固定连接在支撑件的该表面上，支撑件的该表面可以延伸至超出底座的宽度范围。进一步地，所述翻转装置包括基架、电机；所述基架包括两块竖板以及一块顶板；所述两块竖板平行设置，两块竖板之间设置顶板；所述顶板设置于竖板的一端；所述翻舟设置于两块竖板之间；所述传动结构包括连杆机构；所述连杆机构具体为三连杆机构，所述连杆机构设置于翻转装置外侧；所述连杆机构包括一级连架杆、连杆、二级连架杆；所述电机的输出轴设置一级连架杆；所述翻舟与基架的连接部位向基架外侧延伸，靠近传动结构一端的延伸部位设置二级连架杆；所述一级连架杆与二级连架杆之间设置连杆；所述三连杆机构为曲柄摇杆机构；所述一级连架杆为曲柄，二级连架杆为摇杆。进一步地，所述一级连架杆与电机输出轴连接的部位设置卡位结构，电机的输出轴设置卡位凸起，一级连架杆设置卡位槽；所述二级连架杆与翻舟连接的部位设置卡位结构。进一步地，还包括定位装置，所述定位装置包括圆盘以及槽形感应器；定位装置设置于翻舟以及翻转装置的外侧；所述槽形感应器设置于圆盘正上方；所述翻舟与基架的连接部位向基架外侧延伸，靠近定位装置一端的延伸部位设置圆盘；所述圆盘设置缺口，所述缺口为长条形缺口，缺口指向与圆心并且与圆盘的边缘垂直；所述槽形感应器包括两端，槽形感应器的两端分别设置于圆盘的两侧；槽形感应器通电后一端发出光束，另一端感应光束。进一步地，所述翻舟与基架连接的部位设置轴承；所述连杆与一级连架杆的连接部位设置轴承，连杆与二级连接杆的连接部位设置轴承，所述翻舟用于固定石英花篮；所述传动结构能够实现翻舟在竖直与水平之间来回翻转。本专利技术的有益效果是：(1)本专利技术能保证翻舟机构在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落；通过传动块和第一腰型孔、第二腰型孔配合，能达到占用空间小但拉动移动台距离大的效果；通过移动台的左右移动；能从竖直方向上固定花篮，通过移动板的上下移动，能从横向上固定花篮，从而达到全方位固定花篮的目的。(2)本专利技术通过夹持装置的松开或者夹紧完成了花篮的夹紧或者放开；本专利技术的装置结构稳定，在夹紧装置启动时，能从多方位保证花篮是被稳定夹紧的，且夹紧速度快；另外一方面，活塞头和传动板的传动连接，能延长本装置的使用寿命，而滑轨和导向条的滑动连接能保证夹紧装置在夹紧或者松开的过程中始终保持直线运动。(3)本专利技术设置电机以及传动结构实现翻舟的翻转，进而控制石英花篮的翻转，传送时，石英花篮为水平状态，煅烧时石英花篮为竖立状态，既保证了传送安全，又保证了煅烧充分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种翻舟装置，其特征在于，一种翻舟装置，包括翻舟固定装置、翻舟夹持装置，翻舟紧固装置和翻舟翻转装置；/n其中，所述翻舟固定装置包括固定板和用于固定花篮的移动台,固定板和移动台之间设置有传动机构，使得移动台能够相对于固定板移动；/n翻舟夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；机架上设置有滑轨，夹持装置能沿着滑轨前后移动；/n翻舟紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；移动部能够相对基准部位移；/n翻舟翻转装置包括翻舟、翻转装置以及设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；翻舟固定住花篮，夹持装置控制花篮的加紧或者松开，翻舟设置在翻转装置上；所述传动结构能够使翻转装置带动翻舟转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种翻舟装置，其特征在于，一种翻舟装置，包括翻舟固定装置、翻舟夹持装置，翻舟紧固装置和翻舟翻转装置；
其中，所述翻舟固定装置包括固定板和用于固定花篮的移动台,固定板和移动台之间设置有传动机构，使得移动台能够相对于固定板移动；
翻舟夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；机架上设置有滑轨，夹持装置能沿着滑轨前后移动；
翻舟紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；移动部能够相对基准部位移；
翻舟翻转装置包括翻舟、翻转装置以及设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；翻舟固定住花篮，夹持装置控制花篮的加紧或者松开，翻舟设置在翻转装置上；所述传动结构能够使翻转装置带动翻舟转动。


2.根据权利要求1所述的一种翻舟装置，其特征在于，所述传动机构包括传动块和传动块的驱动装置，传动块设置在固定板和移动台之间，传动块通过转动轴与固定板转动连接；传动块包括传动杆、导向杆和传动板，传动杆、导向杆均垂直设置于传动板的两侧；固定板上设置有第一腰型孔，传动杆和转动轴的安装方向相同，传动杆能够从第一腰形孔中穿出，并连接到驱动装置；移动台上设置有第二腰型孔，导向杆能在第二腰型孔内滑动；固定板上设置有第一导轨，移动台上固接有能沿着第一导轨滑动的第一滑块。


3.根据权利要求2所述的一种翻舟装置，其特征在于，第一腰型孔为弧形；第二腰型孔为直条型；移动台的边缘还设置有Z型固定块；传动板为L型，转动轴设置在传动板的交点处，转动轴垂直于传动板；传动杆到转动轴的距离小于导向杆到转动轴的距离；传动板上设置有U形槽，该U形槽能与活塞头卡接。


4.根据权利要求3所述的一种翻舟装置，其特征在于，夹持装置包括驱动装置、活塞杆、通过驱动装置控制且沿着滑轨前后移动的夹持件，活塞杆的端部设置有活塞头，夹持件上设置有传动板，活塞头与传动板传动连接；夹持件还包括带有夹持开口的夹持台，开口的内壁上设置有弧面和夹持面，夹持面与开口的底面向内倾斜设置；夹持件还包括移动底座，移动底座包裹着滑轨移动；移动底座上还设置有导向条，导向条上设置有能与滑轨配合的导向槽；底面与滑轨平行；活塞头的截面呈工字型；活塞头包括第一连接块、第二连接块和连接柱，第一连接块一侧与活塞杆连接，另一侧通过连接柱与第二连接块，连接柱能穿出传动板上的U形槽，U形槽与活塞头间隙配合。


5.根据权利要求1所述的一种翻舟装置，其特征在于，基准部包括第一基准板和第二基准板；沿着第二基准板的短边方向设置有能限定移动部移动路径的第二导轨；移动部包括与第二基准板平行的第二移动板和与第一基准板平行的第一移动板；第二移...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘群，庞爱锁，林佳继，朱太荣，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44