一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法技术

本发明专利技术公开了一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法，使用弥散管夹取器，该弥散管夹取器具有两个夹取臂，两个夹取臂铰接形成两个夹取前臂和两个手持后臂，夹取前臂端部分别连接夹取头，手持后臂端部分别连接把手；两个夹取臂可围绕铰接部位转动；该方法包括以下步骤：(1)打开LPCVD炉，将包括石英舟及基座的附属配件取出，用弥散管夹取器将已损坏弥散管从弥散管支撑架上取出，然后将新弥散管重新安装在弥散管支撑架上；(2)调整弥散管与炉管的间距；(3)安装包括石英舟及基座的附属配件；(4)对炉体进行极限真空检测，以及漏率检测，确认无误后可直接生产。本发明专利技术可有效地提升弥散管更换效率并降低弥散管的更换成本。

A method of replacing dispersion tube in LPCVD furnace at high temperature

【技术实现步骤摘要】
一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法
本专利技术涉及一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法。
技术介绍
硅材料是制造超大规模集成电路的主要衬底材料，随着半导体行业的飞速发展，对设备的要求也越来越高，越来越严格。设备的维护与维修也成为了硅片产业重要的一部分。对于设备的维修方面更快更有效的使设备能够运行起来才是提高产量的重要途径之一，由于LPCVD沉积多晶硅过程中腔体弥散管表面也会附着大量多晶硅，使之产生较大的应力，随着多晶硅层的厚度不断增加，应力将逐步增大，因此，在弥散管使用中期时降温会导致弥散管损坏，从而必须更换整套弥散管，这大大增加了生产成本，以及降低生产效率。传统的更换弥散管的方法就是将弥散管从600℃缓慢降至室温，进行更换，其中还包括更换TC，然后再进行升温至600℃，还需要进行工艺验证以及腔体净化，这样下来更换一套弥散管需要将近48小时的时间甚至更久，而且更换完成后升温过程中还有可能导致其它未损坏弥散管被损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法，可以有效地提升弥散管更换效率以及大幅降低弥散管的更换成本。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法，该方法中使用弥散管夹取器，该弥散管夹取器具有两个夹取臂，两个夹取臂铰接形成两个夹取前臂和两个手持后臂，夹取前臂端部分别连接夹取头，手持后臂端部分别连接把手；两个夹取臂可围绕铰接部位转动，根据杠杆原理控制夹取头的松开和夹紧；该方法包括以下步骤：(1)打开LPCVD炉，将包括石英舟及基座的附属配件取出，用弥散管夹取器将已损坏弥散管从弥散管支撑架上取出，然后用弥散管夹取器将新弥散管重新安装在弥散管支撑架上；(2)调整弥散管与炉管的间距，使之紧贴内管；(3)安装包括石英舟及基座的附属配件，并检查石英舟是否与弥散管支撑架发生摩擦；(4)对炉体进行极限真空检测，以及漏率检测，确认无误后可直接生产。优选地，所述弥散管夹取器的夹取头为可活动夹取头，该夹取头通过活动头销钉与夹取前臂连接，可相对于夹取前臂活动。优选地，所述弥散管夹取器的夹取头具有与弥散管接触的弥散管固定部分和与所述活动头销钉连接的夹取头旋转轴部分，所述弥散管固定部分的张开角度为120°。本专利技术的优点在于：采用本专利技术的方法，取弥散管时不需要注意它的位置是否正确，放新的弥散管时，用弥散管夹取器将弥散管夹紧后慢慢深入背封炉炉内管，调整好位置后将弥散管缓慢放置在弥散管支撑架上即可，简化了更换流程，节约了成本和时间。为了不让炉体降温导致弥散管(内外石英管)出现裂纹或者破碎，在采用本专利技术的方法更换弥散管的整个过程无需降温，避免在其他弥散管在未到使用寿命之前由于降温导致破损。本专利技术利用了杠杆原理，可以活动的夹取头避免了传统杠杆只有一点受力的弊端，大大加固了弥散管夹取器的稳定性。附图说明图1为弥散管夹取器的整体结构示意图。图2为弥散管夹取器活动夹取头的结构示意图。图3为采用弥散管夹取器夹取弥散管时的结构示意图。具体实施方式下面通过具体实施方式对本专利技术做进一步说明，但并不意味着对本专利技术保护范围的限制。如图1所示，本专利技术的方法中使用本专利技术设计的特定的弥散管夹取器，该弥散管夹取器具有两个夹取臂，两个夹取臂铰接形成两个夹取前臂2和两个手持后臂3，夹取前臂端部分别连接夹取头1，手持后臂端部分别连接把手8；两个夹取臂可围绕铰接部位4转动，根据杠杆原理控制夹取头1的松开和夹紧。弥散管夹取器的夹取头1通过活动头销钉9与夹取前臂2连接，可相对于夹取前臂活动，即为可活动夹取头。如图2所示，该可活动夹取头具有与弥散管接触的弥散管固定部分11和与活动头销钉9连接的夹取头旋转轴部分12；该弥散管固定部分11的张开角度为120°，设计为120°的目的，一是为了加工的方便，二是为了在夹取过程中受力使弥散管受力更加均匀，更好保护弥散管。与活动头销钉9连接的夹取头旋转轴部分12可围绕活动头销钉9转动，它的主要作用是保证使用者只要将弥散管夹住固定，就可以保证弥散管始终与弥散管夹取器整体保持在一条直线上，更方便使用者更换弥散管。如图3所示，使用该弥散管夹取器在高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的过程如下：1、当弥散管损坏时，打开LPCVD炉7，无需降温，将石英舟、底座等拆除，用本专利技术设计的弥散管夹取器将已损坏弥散管取出，取弥散管时不需要注意它的位置是否正确，此时注意炉体未降温，需注意远离炉口，正确使用弥散管夹取器，手握住弥散管手持后臂端部的把手8；将损坏弥散管取出后不可用手直接接触已损坏弥散管，需用弥散管夹取器将已损坏弥散管放置在远离易燃物的安全位置。2、将新弥散管6拆封后使用弥散管夹取器夹取弥散管的底部，用弥散管夹取器将弥散管夹紧后慢慢深入背封炉炉内管，调整好位置后将弥散管缓慢放置在弥散管支撑架5上，此时注意弥散管位置是否完全落入弥散管支撑架5的底座上。可活动夹取头1均为间隙配合，可以随意调整方向，更方便稳定的将弥散管6重新装在炉体内的弥散管支撑架5上。3、确认无误后将石英舟与底座重新安装后进行真空检测，确认无误后便可继续生产。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法，其特征在于，该方法中使用弥散管夹取器，该弥散管夹取器具有两个夹取臂，两个夹取臂铰接形成两个夹取前臂和两个手持后臂，夹取前臂端部分别连接夹取头，手持后臂端部分别连接把手；两个夹取臂可围绕铰接部位转动，根据杠杆原理控制夹取头的松开和夹紧；该方法包括以下步骤：/n(1)打开LPCVD炉，将包括石英舟及基座的附属配件取出，用弥散管夹取器将已损坏弥散管从弥散管支撑架上取出，然后用弥散管夹取器将新弥散管重新安装在弥散管支撑架上；/n(2)调整弥散管与炉管的间距，使之紧贴内管；/n(3)安装包括石英舟及基座的附属配件，并检查石英舟是否与弥散管支撑架发生摩擦；/n(4)对炉体进行极限真空检测，以及漏率检测，确认无误后可直接生产。/n

【技术特征摘要】
1.一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法，其特征在于，该方法中使用弥散管夹取器，该弥散管夹取器具有两个夹取臂，两个夹取臂铰接形成两个夹取前臂和两个手持后臂，夹取前臂端部分别连接夹取头，手持后臂端部分别连接把手；两个夹取臂可围绕铰接部位转动，根据杠杆原理控制夹取头的松开和夹紧；该方法包括以下步骤：
(1)打开LPCVD炉，将包括石英舟及基座的附属配件取出，用弥散管夹取器将已损坏弥散管从弥散管支撑架上取出，然后用弥散管夹取器将新弥散管重新安装在弥散管支撑架上；
(2)调整弥散管与炉管的间距，使之紧贴内管；...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴迪，姜振虎，赵晶，陈信，梁雨东，邓建忠，曲翔，
申请(专利权)人：有研半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11