一种自动探针台的标记装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动探针台的标记装置，包括安装在探针台上的工作台，设置在工作台上方的标记组件，所述标记组件包括打点标记件、测试探针和用于固定测试探针的固定架，所述打点标记件包括探头、压力传感器、标记探针，所述打点标记件设置有至少3个，所述测试探针与所述打点标记件一一匹配，每一所述测试探针与标记探针之间的距离为一个待测件的长度。本实用新型专利技术可解决传统的标记装置，对针困难，且一对一的对针方式，影响了工作效率的问题。

A marking device of automatic probe table

【技术实现步骤摘要】
一种自动探针台的标记装置
本技术属于探针台
，尤其涉及一种自动探针台的标记装置。
技术介绍
全自动探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及电子元器件的质量测试。随着科技的发展，电子元器件的体积越来越小，通常将多个电子元器件集成于一片状的底板上以形成待测件，方便后续进行检测。自动探针台为半导体测试专用设备，使用探针接触晶圆片上特定点进行探针测试；探针接触晶圆片上特定点的前提需要手动或自动将两者一一对应。传统的校准系统，采取人工通过显微镜辅助观察，控制移动工作台使晶圆片上的特定点与其上方探针卡上的探针一一对应(探针卡置于工作台上方，而显微镜位于探针卡上方)这种传统的对针方式，由于显微镜视场有限，对探针分布较多的探针卡对针困难，对针精度及接触高度完全有人工掌控，效率低，而且在测试件进行标记时，一般只有一个探针对一个测试件标记之后再对下一个测试件进行标记，由此，影响了工作效率低，增加了生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于：针对上述传统的标记装置，对针困难，且一对一的对针方式，影响了工作效率的问题，本技术提供一种自动探针台的标记装置。本技术采用的技术方案如下：一种自动探针台的标记装置，包括安装在探针台上的工作台，设置在工作台上方的标记组件，所述标记组件包括打点标记件、测试探针和用于固定测试探针的固定架，所述打点标记件包括探头、压力传感器、标记探针，所述打点标记件设置有至少3个，所述测试探针与所述打点标记件一一匹配，每一所述测试探针与标记探针之间的距离为一个待测件的长度。工作原理：本技术在使用时，工作台上相对应于所述标记组件设置有待测件放置区，将待测件放置好之后，标记装置对待测件进行打点标记，打点标记件设置有多个，可同时对多个待测件进行测试，传给相连接的测试设备，如果多个待测件都是合格的，工作台移动相应多个待测件的距离，打点标记件不动作，然后进行下一组测试；如果待测件第一个芯片测试不合格，工作台移动距离为单个待测件的距离，测试程序测试不动，只进行打点动作再移动一个待测件的距离进行下一组测试；如果第二个待测件不合格，工作台移动距离为两个待测件的距离，测试程序测试不动，进行打点动作同时测试探针进行下一组测试；如果多个待测件同时测试不合格，工作台移动一个待测件的距离，标记探针打点，程序不测试，再移动一个待测件的距离对第二个待测件打点；同时测试探针进行下一组测试；因产品测试良率在98％以上，所以整个运动过程几乎不会因程序判断时间影响整体设备运行效率。同时在测试过程中通过工作台与探头的接触高度和待测件与探头的接触高度，将数据传送至外部连接的电脑，计算出两者的高度差从而计算出产品厚度，保证探针与待测件良好接触；提高整个标记装置的可靠性，此外探头连接有外部的高倍镜，使得成像清晰度高，实现精密定位标记。作为一种优选的方式，所述打点标记件设置有6个。通过设置多个打点标记件，可同时对多个待测件进行标记打点，避免了一对一的对针打点方式，从而加快了工作进度，提高了工作效率。作为一种优选的方式，多个所述打点标记件等距设置。所述工作台上相对应于所述标记组件设置有待测件放置区，通过将多个打点标记件等距设置，方便探针台对标记装置的调控，便于对待测件进行更精准的对针，提高了标记的精准度。作为一种优选的方式，所述标记探针的直径为1mm～2mm。作为一种优选的方式，所述探头上设有调整标记探针位置的旋钮。作为一种优选的方式，所述旋钮包括分别调整标记探针三个方向位置的X向旋钮、Y向旋钮和Z向旋钮。通过调节X向旋钮和Y向旋钮，使标记探针处于待测件的正上方；当需要对待测件进行标记时，调节Z向旋钮使标记探针向下移动与待测件表面接触，即可完成标记；当需要对下一个待测件进行测试时，探针会始终处在待测件的正上方，而不需要再调节X向旋钮和Y向旋钮，从而使得标记装置更好的与待测件进行匹配对针。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：1.本技术标记装置，通过设置标记组件，使得对待测件标记简便，准确率高，可快速高效进行标记，可实现精密定位标记，可靠性高，提高了工作效率；2.本技术通过设置多个打点标记件，可同时对多个待测件进行标记打点，避免了一对一的对针打点方式，从而加快了工作进度，提高了工作效率；3.本技术所述工作台上相对应于所述标记组件设置有待测件放置区，通过将多个打点标记件等距设置，方便探针台对标记装置的调控，便于对待测件进行更精准的对针，提高了标记的精准度；4.本技术通过调节X向旋钮和Y向旋钮，使标记探针处于待测件的正上方；当需要对待测件进行标记时，调节Z向旋钮使标记探针向下移动与待测件表面接触，即可完成标记；当需要对下一个待测件进行测试时，探针会始终处在待测件的正上方，而不需要再调节X向旋钮和Y向旋钮，从而使得标记装置更好的与待测件进行匹配对针。附图说明本技术将通过例子并参照附图的方式说明，其中：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的俯视图。附图标记：1-旋钮，2-打点标记件，201-探头，202-压力传感器，203-标记探针，3-测试探针，4-固定架，5-工作台。具体实施方式本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。下面结合图1、图2对本技术作详细说明。实施例1一种自动探针台的标记装置，包括安装在探针台上的工作台5，设置在工作台5上方的标记组件，所述标记组件包括打点标记件2、测试探针3和用于固定测试探针3的固定架4，所述打点标记件2包括探头201、压力传感器202、标记探针203，所述打点标记件2设置有至少3个，所述测试探针3与所述打点标记件2一一匹配，每一所述测试探针3与标记探针203之间的距离为一个待测件的长度。工作原理：本技术在使用时，工作台5上相对应于所述标记组件设置有待测件放置区，将待测件放置好之后，标记装置对待测件进行打点标记，打点标记件2设置有多个，可同时对多个待测件进行测试，传给相连接的测试设备，如果多个待测件都是合格的，工作台5移动相应多个待测件的距离，打点标记件2不动作，然后进行下一组测试；如果待测件第一个芯片测试不合格，工作台5移动距离为单个待测件的距离，测试程序测试不动，只进行打点动作再移动一个待测件的距离进行下一组测试；如果第二个待测件不合格，工作台5移动距离为两个待测件的距离，测试程序测试不动，进行打点动作同时测试探针3进行下一组测试；如果多个待测件同时测试不合格，工作台5移动一个待测件的距离，标记探针203打点，程序不测试，再移动一个待测件的距离对第二个待测件打点；同时测试探针3进行下一组测试；因产品测试良率在98％以上，所以整个运动过程几乎不会因程序判断时间影响整体设备运行效率。同时在测试过程中通过工作台5与探头201的接触高度和待测件与探头201的接触高度，由压力传感器2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动探针台的标记装置，包括安装在探针台上的工作台(5)，设置在工作台(5)上方的标记组件，其特征在于，所述标记组件包括打点标记件(2)、测试探针(3)和用于固定测试探针(3)的固定架(4)，所述打点标记件(2)包括依次连接的探头(201)、压力传感器(202)、标记探针(203)，所述打点标记件(2)设置有至少3个，所述测试探针(3)与所述打点标记件(2)一一匹配，每一所述测试探针(3)与标记探针(203)之间的距离为一个待测件的长度。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动探针台的标记装置，包括安装在探针台上的工作台(5)，设置在工作台(5)上方的标记组件，其特征在于，所述标记组件包括打点标记件(2)、测试探针(3)和用于固定测试探针(3)的固定架(4)，所述打点标记件(2)包括依次连接的探头(201)、压力传感器(202)、标记探针(203)，所述打点标记件(2)设置有至少3个，所述测试探针(3)与所述打点标记件(2)一一匹配，每一所述测试探针(3)与标记探针(203)之间的距离为一个待测件的长度。


2.根据权利要求1所述的一种自动探针台的标记装置，其特征在于，所述打点标记件(2)设置有6个。

【专利技术属性】
技术研发人员：刘召满，
申请(专利权)人：成都汉芯国科集成技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51