直立式精密金属掩模板激光清洗系统技术方案

一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元均包括第一移动组件及第一导向组件，且侧面挡板中部对应第一移动组件开设有开口；清洁单元还包括激光供应组件、激光剥离组件、吹风组件及出风组件；清洗单元还包括冲洗组件；干燥单元还包括干燥模组；检测出料单元还包括设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件。如此能够自动移动并清洗精密金属掩模板，且剥离的有机材料不会重新落到精密金属掩模板上，提高了清洗效率及清洗效果，减少了有机溶剂的使用量，降低了成本。

Laser cleaning system of vertical precision metal mask

【技术实现步骤摘要】
直立式精密金属掩模板激光清洗系统
本技术涉及显示面板生产
，特别是一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统。
技术介绍
请参考图22，在有机发光二极管(OLED)显示面板的生产过程中，需要将发光有机材料蒸镀至玻璃面板200上，在蒸镀过程中，玻璃面板200在精密金属掩模板100的上方，有机材料蒸镀源300在精密金属掩模板100的下方。在蒸镀过程中精密金属掩模板朝向有机材料蒸镀源300的一面会一直累积有机材料。在累积到一定厚度后，会产生粉尘微粒，并被吸附到玻璃面板200上，降低产品的良品率。因此精密金属掩模板在累积一定的有机材料后，需要脱机进行清洗，清洗干净后才能重新导入蒸镀生产线。精密金属掩模板100的底部是一个金属框架(Frame)，目前基本上采用殷钢(Invar，也叫不胀钢)制作，厚度在5cm左右，大小一般根据有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体(AMOLED)生产线上玻璃面板200的大小来定制金属框架的大小，目前AMOLED面板的主流生产线已经进入第六代(玻璃基板尺寸为1500mmx1850mm)，就算是四分之一切大小的精密金属掩模板100的框架也要大于750mmx925mm，重量也达到上百公斤。金属框架的上方具有掩模板(Mask)，掩模板的厚度一般在50微米以下，也是采用殷钢制作，目前普遍采用带状结构，两端绷紧焊接在金属框架上。由于精密金属掩模板100非常精密且容易损伤，传统的清洗方式是以人力操作，先将精密金属掩模板100浸泡在有机溶剂槽中，静置到有机材料溶解后取出，再以有机溶剂喷淋，去除残余有机材料。但这方法的有机溶剂耗损大，设备占地面积大，操作时间长，通常洗一块要数个小时，容易损坏精密金属掩模板100，而且有机溶剂对工人健康有害，不环保。特别是AMOLED面板的主流生产线已经进入第六代，其玻璃基板的尺寸为1500mmx1850mm，就算是四分之一切大小的精密金属掩模板100的重量也达到上百公斤，无法以人工清洗，急需自动化设备来达到快速清洗的目标。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种能够自动移动并清洗精密金属掩模板的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，以解决上述问题。一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元包括第一底座、第一顶盖、连接第一底座及第一顶盖的同一侧边的第一正面挡板、与第一正面挡板相对设置且连接于第一底座与第一顶盖之间的第一背面挡板、分别设置于第一正面挡板或第一背面挡板两侧的两个第一侧面挡板、设置于第一顶盖底面上的第一移动组件、设置于第一底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件，第一侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第一开口；清洁单元包括第二底座、第二顶盖、连接第二底座及第二顶盖的同一侧边的第二正面挡板、与第二正面挡板相对设置且连接于第二底座与第二顶盖之间的第二背面挡板、分别设置于第二正面挡板或第二背面挡板两侧的两个第二侧面挡板、设置于第二顶盖底面上的第一移动组件、设置于第二底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第二顶盖上的激光供应组件、设置于第二正面挡板的内侧的激光剥离组件、设置于第二顶盖上的两个吹风组件及设置于第二底座上的出风组件，第二侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第二开口；清洗单元包括第三底座、第三顶盖、连接第三底座及第三顶盖的同一侧边的第三正面挡板、与第三正面挡板相对设置且连接于第三底座与第三顶盖之间的第三背面挡板、分别设置于第三正面挡板或第三背面挡板两侧的两个第三侧面挡板、设置于第三顶盖底面上的第一移动组件、设置于第三底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第三顶盖上的两个冲洗组件，第三侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第三开口；干燥单元包括第四底座、第四顶盖、连接第四底座及第四顶盖的同一侧边的第四正面挡板、与第四正面挡板相对设置且连接于第四底座与第四顶盖之间的第四背面挡板、分别设置于第四正面挡板或第四背面挡板两侧的两个第四侧面挡板、设置于第四顶盖底面上的第一移动组件、设置于第四底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、两个分别设置于第一移动组件两侧的干燥模组，第四侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第四开口；检测出料单元包括第五底座、第五顶盖、连接第五底座及第五顶盖的同一侧边的第五正面挡板、与第五正面挡板相对设置且连接于第五底座与第五顶盖之间的第五背面挡板、分别设置于第五正面挡板或第五背面挡板两侧的两个第五侧面挡板、设置于第五顶盖底面上的第一移动组件、设置于第五底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件，第五侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第五开口。进一步地，所述第一移动组件朝向清洁单元的第一开口处设置有第一活动门组件；清洁单元的两个第二开口处均设置有第二活动门组件；清洗单元的两个第三开口处均设置有第三活动门组件；干燥单元的两个第四开口处均设置有第四活动门组件；检测出料单元朝向干燥单元的第五开口处设置有第五活动门组件；第一至第五活动门组件均包括活动门及用于驱动活动门移动的活动门驱动器。进一步地，所述第一移动组件包括第一移动导轨、位于第一移动导轨一端的第一移动驱动单元、滑动设置于第一移动导轨上且由第一移动驱动单元驱动的第一移动电磁组件、固定设置于第一至第五顶盖中的任意一个的底面且位于第一移动导轨一端的一侧的第一固定电磁组件。进一步地，所述第一导向组件包括底部滚轮安装架、若干竖直转动地设置于底部滚轮安装架上的底部滚轮、设置于底部滚轮安装架两侧的侧面滚轮安装架、若干水平转动地设置于侧面滚轮安装架上的侧面滚轮，侧面滚轮的底部的高度大于底部滚轮的顶部的高度。进一步地，所述激光供应组件包括固定设置于第二顶盖顶部的激光发生器及第一反射器，第一反射器正对激光发生器的发射口，第二顶盖上于第一移动组件的两侧分别开设有第一通孔，第一反射器设置于一个第一通孔处；激光剥离组件包括两个第一竖直导轨、设置于第一竖直导轨一端的第二移动驱动单元、滑动设置于第一竖直导轨上且由第二移动驱动单元驱动的第一滑块、与两个第一竖直导轨上的第一滑块固定连接的第一水平导轨、设置于第一水平导轨一端的第三移动驱动单元、滑动设置于第一水平导轨上且由第三移动驱动单元驱动的第二滑块、与第二滑块固定连接的激光镜头、与第一水平导轨固定连接且与第一反射器相对设置的第二反射器。进一步地，所述吹风组件包括穿过第二顶盖的供风管、转动设置于第二顶盖的底面且与供风管连通的风刀结构及用于驱动风刀结构转动的第一转动驱动单元，两个吹风组件的风刀结构分别位于第一移动组件的两侧并呈镜像对称设置。进一步地，所述冲洗组件包括穿过第三顶盖的供水管、转动设置于第三顶盖的底面且与供水管连通的喷水条、等间隔设置于喷水条上的喷水头及用于驱动喷水条转动的第二转动驱动单元，两个冲洗组件的喷水条分别位于第一移动组件的两侧。进一步地，所述第三底座上设置有凹陷的集水槽，第三底座中设有溶剂回收装置。进一步地，所述干燥模组包括穿过第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元包括第一底座、第一顶盖、连接第一底座及第一顶盖的同一侧边的第一正面挡板、与第一正面挡板相对设置且连接于第一底座与第一顶盖之间的第一背面挡板、分别设置于第一正面挡板或第一背面挡板两侧的两个第一侧面挡板、设置于第一顶盖底面上的第一移动组件、设置于第一底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件，第一侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第一开口；清洁单元包括第二底座、第二顶盖、连接第二底座及第二顶盖的同一侧边的第二正面挡板、与第二正面挡板相对设置且连接于第二底座与第二顶盖之间的第二背面挡板、分别设置于第二正面挡板或第二背面挡板两侧的两个第二侧面挡板、设置于第二顶盖底面上的第一移动组件、设置于第二底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第二顶盖上的激光供应组件、设置于第二正面挡板的内侧的激光剥离组件、设置于第二顶盖上的两个吹风组件及设置于第二底座上的出风组件，第二侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第二开口；清洗单元包括第三底座、第三顶盖、连接第三底座及第三顶盖的同一侧边的第三正面挡板、与第三正面挡板相对设置且连接于第三底座与第三顶盖之间的第三背面挡板、分别设置于第三正面挡板或第三背面挡板两侧的两个第三侧面挡板、设置于第三顶盖底面上的第一移动组件、设置于第三底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第三顶盖上的两个冲洗组件，第三侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第三开口；干燥单元包括第四底座、第四顶盖、连接第四底座及第四顶盖的同一侧边的第四正面挡板、与第四正面挡板相对设置且连接于第四底座与第四顶盖之间的第四背面挡板、分别设置于第四正面挡板或第四背面挡板两侧的两个第四侧面挡板、设置于第四顶盖底面上的第一移动组件、设置于第四底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、两个分别设置于第一移动组件两侧的干燥模组，第四侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第四开口；检测出料单元包括第五底座、第五顶盖、连接第五底座及第五顶盖的同一侧边的第五正面挡板、与第五正面挡板相对设置且连接于第五底座与第五顶盖之间的第五背面挡板、分别设置于第五正面挡板或第五背面挡板两侧的两个第五侧面挡板、设置于第五顶盖底面上的第一移动组件、设置于第五底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件，第五侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第五开口。/n...

【技术特征摘要】
1.一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元包括第一底座、第一顶盖、连接第一底座及第一顶盖的同一侧边的第一正面挡板、与第一正面挡板相对设置且连接于第一底座与第一顶盖之间的第一背面挡板、分别设置于第一正面挡板或第一背面挡板两侧的两个第一侧面挡板、设置于第一顶盖底面上的第一移动组件、设置于第一底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件，第一侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第一开口；清洁单元包括第二底座、第二顶盖、连接第二底座及第二顶盖的同一侧边的第二正面挡板、与第二正面挡板相对设置且连接于第二底座与第二顶盖之间的第二背面挡板、分别设置于第二正面挡板或第二背面挡板两侧的两个第二侧面挡板、设置于第二顶盖底面上的第一移动组件、设置于第二底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第二顶盖上的激光供应组件、设置于第二正面挡板的内侧的激光剥离组件、设置于第二顶盖上的两个吹风组件及设置于第二底座上的出风组件，第二侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第二开口；清洗单元包括第三底座、第三顶盖、连接第三底座及第三顶盖的同一侧边的第三正面挡板、与第三正面挡板相对设置且连接于第三底座与第三顶盖之间的第三背面挡板、分别设置于第三正面挡板或第三背面挡板两侧的两个第三侧面挡板、设置于第三顶盖底面上的第一移动组件、设置于第三底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第三顶盖上的两个冲洗组件，第三侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第三开口；干燥单元包括第四底座、第四顶盖、连接第四底座及第四顶盖的同一侧边的第四正面挡板、与第四正面挡板相对设置且连接于第四底座与第四顶盖之间的第四背面挡板、分别设置于第四正面挡板或第四背面挡板两侧的两个第四侧面挡板、设置于第四顶盖底面上的第一移动组件、设置于第四底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、两个分别设置于第一移动组件两侧的干燥模组，第四侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第四开口；检测出料单元包括第五底座、第五顶盖、连接第五底座及第五顶盖的同一侧边的第五正面挡板、与第五正面挡板相对设置且连接于第五底座与第五顶盖之间的第五背面挡板、分别设置于第五正面挡板或第五背面挡板两侧的两个第五侧面挡板、设置于第五顶盖底面上的第一移动组件、设置于第五底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件，第五侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第五开口。


2.如权利要求1所述的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：所述第一移动组件朝向清洁单元的第一开口处设置有第一活动门组件；清洁单元的两个第二开口处均设置有第二活动门组件；清洗单元的两个第三开口处均设置有第三活动门组件；干燥单元的两个第四开口处均设置有第四活动门组件；检测出料单元朝向干燥单元的第五开口处设置有第五活动门组件；第一至第五活动门组件均包括活动门及用于驱动活动门移动的活动门驱动器。


3.如权利要求1所述的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：所述第一移动组件包...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖耀升，金渶桓，江建志，周俊强，
申请(专利权)人：恩利克浙江智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33