一种装片定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种装片定位装置，包括：基座；片槽，设置在所述基座上；定位槽，设置在所述基座上，所述定位槽与所述片槽对应设置；信号采集装置，设置在所述基座上方，用于确定所述定位槽的位置，所述定位槽的位置用于确定待装片的片槽的位置。通过在基座上设置与片槽相对应的定位槽，并通过信号采集装置采集定位槽的位置，通过定位槽的位置确定片槽的位置，能更精确的确定片槽位置，避免装片时装偏。

A positioning device for loading

【技术实现步骤摘要】
一种装片定位装置
本技术涉及自动化
，尤其涉及一种装片定位装置。
技术介绍
CVD多片机台由于旋转系统故障频出，导致机台在装片过程中总是出现装偏现象。目前机台装片过程是，在整个装片过程中，计算机只识别原点位置，中间的所有位置都是靠脉冲数控制的，一般情况下是没有问题的，但是在旋转系统不稳定，或装配有误差，或者调整slope后都会造成微小偏差，从而造成装片时装偏。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种装片定位装置，旨在解决目前多片机台装片时容易装偏的问题。本技术实施例提供了一种装片定位装置，包括：基座；片槽，设置在所述基座上；定位槽，设置在所述基座上，所述定位槽与所述片槽对应设置；信号采集装置，设置在所述基座上方，用于确定所述定位槽的位置，所述定位槽的位置用于确定待装片的片槽的位置。在本申请的实施例中，所述定位槽设置在所述片槽的圆心与所述基座的圆心的连线上。在本申请的实施例中，所述定位槽的中心点与所述基座的中心点的距离大于所述片槽的中心点与所述基座的中心点的距离。在本申请的实施例中，所有的定位槽的中心点与所述基座的中心点的距离都相同。在本申请的实施例中，所述信号采集装置包括测距传感器。在本申请的实施例中，所述信号采集装置还包括气缸，所述气缸与所述测距传感器相连。在本申请的实施例中，所述定位槽为方形槽、圆形槽或三角形槽。在本申请的实施例中，当所述定位槽为方形槽时，所述定位槽的深度为2mm，长度为10mm，宽度为6mm。在本申请的实施例中，所述片槽为多个，每个片槽对应的定位槽的形状一致。本技术通过在基座上设置与片槽相对应的定位槽，并通过信号采集装置采集定位槽的位置，通过定位槽的位置确定片槽的位置，能更精确的确定片槽位置，避免装片时装偏。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一个实施例提供的装片定位装置的结构示意图。其中，1、基座；2、片槽；3、定位槽；4、测距传感器；5、气缸。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本方案，下面将结合本方案实施例中的附图，对本方案实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本方案一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本方案中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本方案保护的范围。本方案的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及其他任何变形，是指“包括但不限于”，意图在于覆盖不排他的包含。此外，术语“第一”和“第二”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。以下结合具体附图对本技术的实现进行详细地描述：图1示出了本技术一实施例所提供的一种装片定位装置，为了便于说明，仅示出了与本技术实施例相关的部分，详述如下：如图1所示，本技术实施例所提供的一种装片定位装置，包括：基座1；片槽2，设置在所述基座1上；定位槽3，设置在所述基座1上，所述定位槽3与所述片槽2对应设置；信号采集装置，设置在所述基座1上方，用于确定所述定位槽3的位置，所述定位槽3的位置用于确定待装片的片槽2的位置。在本实施例中，一个片槽2对应一个定位槽3，也可以片槽2的中心点与基座1的中心点在同一直线上的几个片槽2共用一个定位槽3。本技术实施例中，通过在基座1上设置与片槽2相对应的定位槽3，并通过信号采集装置采集定位槽3的位置，通过定位槽3的位置确定片槽2的位置，能更精确的确定片槽2位置，避免装片时装偏。在本技术的实施例中，定位槽3设置在所述片槽2的圆心与所述基座1的圆心的连线上。在本实施例中，找到定位槽3就能确定定位槽3的中心点。在本技术的实施例中，定位槽3的中心点与所述基座1的中心点的距离大于所述片槽2的中心点与所述基座1的中心点的距离。在本技术的实施例中，所有的定位槽3的中心点与所述基座1的中心点的距离都相同。在本实施例中，为了使信号采集装置在移动到定位槽3所在位置后就不用再移动，只移动一次就好，所以将所有的定位槽3设置在定位槽3的中心点与所述基座1的中心点的距离都相同的位置上，也就是所有的定位槽3的中心点在同一个圆周上。在本实施例中，定位槽3的中心点与所述基座1的中心点的距离也可以小于所述片槽2的中心点与所述基座1的中心点的距离。在本技术的实施例中，信号采集装置包括测距传感器4。在本技术的实施例中，信号采集装置还包括气缸5，所述气缸5与所述测距传感器4相连。在本实施例中，气缸5可以设置在基座1的边上，只要信号采集装置设置在定位槽3上即可，会气缸5将信号采集装置推进到定位槽3上方。在本实施例中，使用气缸5可以将信号采集装置推进到定位槽3的位置。在本技术的实施例中，定位槽3为方形槽、圆形槽或三角形槽。在本实施例中，定位槽3的形状可以是多种多样的，但是定位槽3不应该过大，否则会不利于确定定位槽3的中心点的位置。在本技术的实施例中，当所述定位槽3为方形槽时，所述定位槽3的深度为2mm，长度为10mm，宽度为6mm。在本技术的实施例中，片槽2为多个，每个片槽2对应的定位槽3的形状一致。在本技术的实施例中，还包括：控制装置，分别与所述信号采集装置和所述基座1相连，用于根据所述信号采集装置采集的位置为定位槽3的位置时，控制所述基座1停止转动。在使用时：调整好基座1并找到原点，气缸5开始动作，测距传感器4移动到定位槽3所在的圆周上的位置后，基座1开始转动(开始加速，快到原始设定的脉冲数之前——可提前50个脉冲时，减速到0.1转每分钟)，当测距传感器4测到的数值突变时(因为定位槽3是一个槽，向内凹陷的，所以测距传感器4到基座1的距离要小于测距传感器4到定位槽3的距离)，控制装置控制基座1停止转动，这时的位置就是片槽21的位置，片槽21找准后，后面的片槽2就可以按照固定脉冲加速、减速，每一个片槽2的都是测距传感器4测量的数值突变，基座1停止后确定的片槽2的位置。根据片槽21的位置可以调整好机械手的位置，用机械手进行装片。每一个片槽2都能精准定位，从而规避了片槽2定位不准确的问题。以上所述，以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装片定位装置，其特征在于，包括：/n基座；/n片槽，设置在所述基座上；/n定位槽，设置在所述基座上，所述定位槽与所述片槽对应设置；/n信号采集装置，设置在所述基座上方，用于确定所述定位槽的位置，所述定位槽的位置用于确定待装片的片槽的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种装片定位装置，其特征在于，包括：
基座；
片槽，设置在所述基座上；
定位槽，设置在所述基座上，所述定位槽与所述片槽对应设置；
信号采集装置，设置在所述基座上方，用于确定所述定位槽的位置，所述定位槽的位置用于确定待装片的片槽的位置。


2.如权利要求1所述的装片定位装置，其特征在于，所述定位槽设置在所述片槽的圆心与所述基座的圆心的连线上。


3.如权利要求1所述的装片定位装置，其特征在于，所述定位槽的中心点与所述基座的中心点的距离大于所述片槽的中心点与所述基座的中心点的距离。


4.如权利要求1所述的装片定位装置，其特征在于，所有的定位槽的中心点与...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏桂忠，陈秉克，薛宏伟，刘福海，任丽翠，
申请(专利权)人：河北普兴电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13