材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法，材料供应装置包括：存储装置，其上设置信息存储部件，记录有存储装置中供应材料的追踪信息；相连通的缓冲装置、抽取装置及喷涂装置；信息识别部件，识别信息存储部件内的追踪信息；控制装置，获取信息存储部件的追踪信息并和目标供应材料的目标信息进行比较，判断二者是否匹配。本发明专利技术通过信息存储部件及信息识别部件的作用，获取存储装置中供应材料的追踪信息，通过控制装置获取上述追踪信息及目标供应材料的目标信息，并进行比较以判断操作人员准备的存储装置是否正确，减少操作人员误判断带来的损害，防止错误的材料应用到制备工艺中，同时防止错误的材料造成供应系统的污染。

Material supply device, material supply system and material supply method

【技术实现步骤摘要】
材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法
本专利技术属于半导体制造
，特别涉及一种材料供应装置、材料供应系统以及材料供应方法。
技术介绍
半导体器件广泛用于各种电子产品中，诸如个人电脑、手机、数码相机和其他电子设备。在半导体制造工艺过程中通常会使用到多种不同种类的耗材，例如光刻工艺中的光刻胶，抗反射涂层等。当机台中的光刻胶消耗完毕时，需要对机台中的光刻胶进行补充，补充方式为把装满光刻胶的容器安装到供应装置中，将报空的目标容器替下。然而，在补充的过程中，经常会因为各种原因导致安装上装有与机台报空光刻胶不同种类的光刻胶的容器，导致错误的光刻工艺，同时导致设备的污染。除光刻胶的补充外，还有多种类似材料的供应存在上述问题。因此，如何提供一种安全可靠的材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法，以解决现有技术中的上述问题实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法，用于解决现有技术中发生的材料补充错误，以及错误的材料对供应装置的污染等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种材料供应装置，包括：存储装置，与气体输入管路相连通，所述存储装置用于存储供应材料，所述存储装置上设置有信息存储部件，所述信息存储部件内记录有所述存储装置中所述供应材料的追踪信息；缓冲装置，通过第一管路与所述存储装置相连通，所述缓冲装置用于接收并暂存所述存储装置中存储的所述供应材料；抽取装置，通过第二管路与所述缓冲装置相连通，所述抽取装置用于抽取并输出所述缓冲装置中暂存的所述供应材料；喷涂装置，通过第三管路与所述抽取装置相连通，所述喷涂装置用于接收所述抽取装置输出的所述供应材料并喷涂所述供应材料；信息识别部件，用于识别所述存储装置上的所述信息存储部件内的所述追踪信息；以及控制装置，与所述信息识别部件相连接，并通过所述信息识别部件获取其识别的所述追踪信息，且所述控制装置还接收报空的目标供应材料的目标信息，其中，所述控制装置将所述追踪信息与所述目标信息进行比较，依据比较结果判断所述存储装置中所存储的所述供应材料是否匹配所述目标供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，所述材料供应装置还包括报警装置，所述报警装置与所述控制装置相连接，用于依据所述控制装置的所述比较结果发出提示信息，其中，所述报警装置至少在所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，提醒操作人员核查所述存储装置中的所述供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，所述气体输入管路上设置有气体阀门，所述气体阀门与所述控制装置相连接，其中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述气体阀门。作为本专利技术的一种可选方案，所述控制装置与机台总阀门相连接，其中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述机台总阀门。作为本专利技术的一种可选方案，所述信息存储部件内记录的所述供应材料的所述追踪信息包括供应材料名称、供应材料批次代码、供应材料系列编号、供应材料保质期所构成的群组中的至少一种。作为本专利技术的一种可选方案，所述抽取装置与所述喷涂装置之间的所述第三管路上还设置有过滤装置。作为本专利技术的一种可选方案，所述供应材料包括光刻胶、抗反射涂层、填充层以及掩膜层材料中的任意一种。本专利技术还提供一种材料供应系统，所述材料供应系统包括多个如上述任一方案所述的材料供应装置，不同的所述材料供应装置对应不同种类的所述供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，所述材料供应系统还包括报警装置，所述报警装置与所述控制装置相连接，用于依据所述控制装置的所述比较结果发出提示信息，其中，所述报警装置至少在所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，则提醒操作人员核查所述存储装置中的所述供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，各所述材料供应装置共用同一所述控制装置，其中，所述控制装置将所述信息识别部件识别的各所述存储装置中所述供应材料的所述追踪信息分别与对应的所述材料供应装置中所需要的所述目标供应材料的所述目标信息进行比较，以依据比较结果判断所述存储装置中的所述供应材料是否匹配对应的所需要的所述目标供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，各所述材料供应装置中的所述存储装置分别与不同的所述气体输入管路相连通，且各所述气体输入管路上均设置有气体阀门，所述控制装置与各所述气体阀门均相连接，其中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死对应所述气体输入管路上的所述气体阀门。作为本专利技术的一种可选方案，所述控制装置与气体总阀门相连接，其中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述气体总阀门。作为本专利技术的一种可选方案，所述信息存储部件上记录的所述供应材料的所述追踪信息包括供应材料名称、供应材料批次代码、供应材料系列编号、供应材料保质期所构成的群组中的至少一种；所述供应材料包括光刻胶、抗反射涂层、填充层及掩膜层材料中的至少一种。本专利技术还提供一种材料供应方法，包括如下步骤：1)提供如上述所述的材料供应装置，所述存储装置存储有所述供应材料；2)通过所述信息识别部件识别所述存储装置上所述信息存储部件内的所述追踪信息；及3)所述控制装置获取所述信息识别部件识别的所述追踪信息，且所述控制装置中还存储所需要的所述目标供应材料的所述目标信息，所述控制装置将所述追踪信息与所述目标信息进行比较；以及4)通过步骤3)得到的比较结果判断所述存储装置中所存储的所述待供应材料是否匹配所述目标供应材料，若所述追踪信息与所述目标信息相匹配，则操作人员继续进行后续操作，若所述追踪信息与所述目标信息不匹配，则核查所述存储装置中的所述供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，步骤3)中，所述控制装置于机台发出所需要的所述目标供应材料的所述目标信息的同时接收并存储所述目标信息。作为本专利技术的一种可选方案，所述材料供应装置还包括与所述控制装置相连接的报警装置，步骤3)中还包括：所述报警装置依据所述控制装置的所述比较结果发出提示信息，其中，所述报警装置至少在所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，提醒操作人员核查所述存储装置中的所述供应材料。作为本专利技术的一种可选方案，所述气体输入管路上设置有气体阀门，所述气体阀门与所述控制装置相连接，其中，步骤3)中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述气体阀门。作为本专利技术的一种可选方案，所述控制装置与气体总阀门相连接，其中，步骤4)中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述气体总阀门。作为本专利技术的一种可选方案，所述信息存储部件上记录的对应的所述供应材料的所述追踪信息包括供应材料名称、供应材料批次代码、供应材料系列编号、供应材料保质本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种材料供应装置，其特征在于，包括：/n存储装置，与气体输入管路相连通，所述存储装置用于存储供应材料，所述存储装置上设置有信息存储部件，所述信息存储部件内记录有所述存储装置中所述供应材料的追踪信息；/n缓冲装置，通过第一管路与所述存储装置相连通，所述缓冲装置用于接收并暂存所述存储装置中存储的所述供应材料；/n抽取装置，通过第二管路与所述缓冲装置相连通，所述抽取装置用于抽取并输出所述缓冲装置中暂存的所述供应材料；/n喷涂装置，通过第三管路与所述抽取装置相连通，所述喷涂装置用于接收所述抽取装置输出的所述供应材料并喷涂所述供应材料；/n信息识别部件，用于识别所述存储装置上的所述信息存储部件内的所述追踪信息；及/n控制装置，与所述信息识别部件相连接，并通过所述信息识别部件获取其识别的所述追踪信息，其中，所述控制装置将所述追踪信息与目标供应材料的目标信息进行比较，依据比较结果判断所述存储装置中所存储的所述供应材料是否匹配所述目标供应材料。/n

【技术特征摘要】
1.一种材料供应装置，其特征在于，包括：
存储装置，与气体输入管路相连通，所述存储装置用于存储供应材料，所述存储装置上设置有信息存储部件，所述信息存储部件内记录有所述存储装置中所述供应材料的追踪信息；
缓冲装置，通过第一管路与所述存储装置相连通，所述缓冲装置用于接收并暂存所述存储装置中存储的所述供应材料；
抽取装置，通过第二管路与所述缓冲装置相连通，所述抽取装置用于抽取并输出所述缓冲装置中暂存的所述供应材料；
喷涂装置，通过第三管路与所述抽取装置相连通，所述喷涂装置用于接收所述抽取装置输出的所述供应材料并喷涂所述供应材料；
信息识别部件，用于识别所述存储装置上的所述信息存储部件内的所述追踪信息；及
控制装置，与所述信息识别部件相连接，并通过所述信息识别部件获取其识别的所述追踪信息，其中，所述控制装置将所述追踪信息与目标供应材料的目标信息进行比较，依据比较结果判断所述存储装置中所存储的所述供应材料是否匹配所述目标供应材料。


2.根据权利要求1所述的材料供应装置，其特征在于，所述材料供应装置还包括报警装置，所述报警装置与所述控制装置相连接，用于依据所述控制装置的所述比较结果发出提示信息，其中，所述报警装置至少在所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，提醒操作人员核查所述存储装置中的所述供应材料。


3.根据权利要求1或2所述的材料供应装置，其特征在于，所述气体输入管路上设置有气体阀门，所述气体阀门与所述控制装置相连接，其中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述气体阀门。


4.根据权利要求1或2所述的材料供应装置，其特征在于，所述控制装置与气体总阀门相连接，其中，当所述控制装置的所述比较结果指示所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，所述控制装置控制锁死所述气体总阀门。


5.根据权利要求1所述的材料供应装置，其特征在于，所述信息存储部件内记录的所述供应材料的所述追踪信息包括供应材料名称、供应材料批次代码、供应材料系列编号、供应材料保质期所构成的群组中的至少一种。


6.根据权利要求1所述的材料供应装置，其特征在于，所述抽取装置与所述喷涂装置之间的所述第三管路上还设置有过滤装置。


7.根据权利要求1所述的材料供应装置，其特征在于，所述供应材料包括光刻胶、抗反射涂层、填充层以及掩膜层材料中的任意一种。


8.一种材料供应系统，其特征在于，所述材料供应系统包括多个如权利要求1所述的材料供应装置，其中，不同的所述材料供应装置对应不同种类的所述供应材料。


9.根据权利要求8所述的材料供应系统，其特征在于，所述材料供应系统还包括报警装置，所述报警装置与所述控制装置相连接，用于依据所述控制装置的所述比较结果发出提示信息，其中，所述报警装置至少在所述追踪信息与所述目标信息不匹配时，提醒操作人员核查所述存储装置中的所述供应材料。


10.根据权利要求8或9所述的材料供应系统，其特征在于，各所述材料供应装置共用同一所述控制装置，其中，所述控制装置将所述信息识别部件识别的各所述存储装置中所述供应材料的所述追踪信息分别与对应的所述材料供应装置中所需要的所述目标供应材料的所述目标信息进行比较，依据比...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34