一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，包括辊本体、连接轴、轴承、轴承座，连接轴一端部与辊本体同轴连接、另一端部与轴承连接，轴承设置在轴承座内，辊本体的端部开设有沿着其轴心线方向延伸的连接孔，连接孔内设置有绝缘轴套，连接轴的端部穿设在绝缘轴套内，连接孔的口部扣设有用于将连接孔与外界隔离的绝缘罩，连接轴通过连接螺钉与辊本体固定连接，连接螺钉与连接轴之间设置有绝缘螺钉轴套，轴承座和轴承之间设置有绝缘轴承套。辊本体、连接轴、轴承座两两之间都有被绝缘材料所阻隔、不会导通，避免因此所产生的玻璃表面缺陷，有效降低废品发生率并提高了生产效率。

A kind of transfer roller in vacuum magnetron sputtering coating equipment

【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊
本技术涉及一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊。
技术介绍
真空磁控溅射镀膜玻璃是利用真空磁控溅射原理在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求的玻璃产品。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为热反射玻璃、低辐射玻璃、导电膜玻璃等。在连续生产过程中，用于传送玻璃的传送辊道受到工艺溅射物的沉积累积，且在真空腔室中处于离子状态，此时会在玻璃与传送辊道之间形成电势差，当电势差积累到一定程度时，将会使传送辊道被击穿导通，产生产品放电现象，造成玻璃表面缺陷，形成废品。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其各个主要零件之间相互绝缘，能够有效降低放电现象的发生频率。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，包括辊本体、连接轴、轴承、轴承座，所述连接轴一端部与所述辊本体同轴连接、另一端部与所述轴承连接，所述轴承设置在所述轴承座内，所述辊本体的端部开设有沿着其轴心线方向延伸的连接孔，所述连接孔内设置有绝缘轴套，所述连接轴的端部穿设在所述绝缘轴套内，所述连接孔的口部扣设有用于将所述连接孔与外界隔离的绝缘罩，所述连接轴通过连接螺钉与所述辊本体固定连接，所述连接螺钉与所述连接轴之间设置有绝缘螺钉轴套，所述轴承座和轴承之间设置有绝缘轴承套。优选地，所述连接孔包括沿轴向依次远离所述辊本体端部的固定段和连接段，所述固定段的直径大于所述连接段的直径，所述连接轴具有能够设置在所述固定段内的法兰部，所述绝缘轴套包括沿轴向依次设置的法兰段和套筒段，所述绝缘轴套的套筒段配合地设置在所述连接孔的连接段内，所述法兰段设置在所述法兰部与所述辊本体之间。进一步优选地，所述连接轴的法兰部开设有平行于轴向的连接通孔，每个所述连接通孔内都配合地设置有所述绝缘螺钉轴套，所述连接螺钉穿设在所述绝缘螺钉轴套内。进一步优选地，所述法兰部的直径小于所述固定段的内径。优选地，所述绝缘罩为环形，所述绝缘罩的外圈与所述连接孔的内壁配合地连接、所述绝缘罩的内壁与所述连接轴的外壁配合地连接。优选地，所述轴承座设有用于隔离所述轴承座与机架的轴承座绝缘套。优选地，所述轴承为陶瓷轴承。优选地，所述连接孔在所述辊本体的轴向贯穿。优选地，所述绝缘罩通过绝缘螺钉与所述辊本体相连接。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：辊本体、连接轴、轴承座两两之间都有被绝缘材料所阻隔、不会导通，因此即使长时间使用该传动辊也不会发生放电现象，降低了磁控溅射设备的维护频率，避免因此所产生的玻璃表面缺陷，有效降低废品发生率并提高了生产效率。附图说明附图1为真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊的正视图；附图2为图1在A-A处的剖视图的局部放大视图；其中：1、辊本体；11、连接孔；111、固定段；112、连接段；2、连接轴；21、连接螺钉；22、法兰部；3、轴承；4、轴承座；5、绝缘轴套；51、法兰段；52、套筒段；6、绝缘罩；7、绝缘螺钉轴套；8、绝缘轴承套；9、绝缘螺钉；10、轴承座绝缘垫。具体实施方式下面结合附图来对本技术的技术方案作进一步的阐述。图1和图2所示为一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其包括辊本体1、连接轴2、轴承3、轴承座4，连接轴2一端部与辊本体1同轴连接、另一端部与轴承3连接，轴承3设置在轴承座4内，辊本体1的端部沿着其轴心线方向开设有连接孔11，该连接孔11内设置有绝缘轴套5，连接轴2的端部穿设在绝缘轴套5内，连接孔11的口部扣设有用于将连接孔11与外界隔离的绝缘罩6，连接轴2通过连接螺钉21与辊本体1固定连接，连接螺钉21与连接轴2之间设置有绝缘螺钉轴套7，防止连接轴2通过连接螺钉21与辊本体1导通。轴承座4和轴承3之间设置有绝缘轴承套8。上述的绝缘轴套5、绝缘罩6、绝缘螺钉轴套7、绝缘轴承套8都由绝缘材料制成，绝缘材料可以为绝缘塑料、绝缘橡胶等，如POM、尼龙、聚四氟乙烯等。辊本体1、连接轴2、轴承座4两两之间都有被绝缘材料所阻隔、不会导通，在多重绝缘零件的保护下，即使长时间使用该传动辊也不会发生放电现象，降低了磁控溅射设备的维护频率，避免因此所产生的玻璃表面缺陷，有效降低废品发生率并提高了生产效率，绝缘罩6进一步地将连接孔11与外界隔绝，避免连接孔11内部积累溅射物，导致连接轴2与辊本体1导通。参见图2所示，连接孔11包括沿轴向依次远离辊本体1端部的固定段111和连接段112，固定段111的直径大于连接段112的直径，固定段111的空间较大，便于连接轴2的拆装操作。连接轴2具有能够设置在固定段111内的法兰部22，法兰部22对连接轴2起到轴向定位的作用。绝缘轴套5包括沿轴向依次设置的法兰段51和套筒段52，绝缘轴套5的套筒段52配合地设置在连接孔11的连接段112内，法兰段51设置在法兰部22与辊本体1之间，因此绝缘轴套5实现了连接轴2与辊本体1之间的完全绝缘。具体地，连接轴2的法兰部22开设有平行于轴向的连接通孔，每个连接通孔内都配合地设置有绝缘螺钉轴套7，连接螺钉21穿设在绝缘螺钉轴套7内，连接螺钉21在连接孔11的固定段111处设置，因此连接轴2的拆装较为方便。法兰部22的直径小于固定段111的内径，以免法兰部11与辊本体1接触导通。绝缘罩6为环形，绝缘罩6的外圈与连接孔11的内壁配合地连接、绝缘罩6的内壁与连接轴2的外壁配合地连接。绝缘罩6将连接孔11与外界隔离，避免连接孔11内积累溅射物导致放电。绝缘罩6通过绝缘螺钉9与辊本体1相连接，这样，绝缘罩6较为稳固、且不会使辊本体1通过螺钉与外界导通，在本实施例中，绝缘螺钉9为尼龙螺钉。在真空磁控溅射设备中，轴承座4安装在机架上，为进一步提高传动辊的绝缘性，轴承座4设有用于隔离轴承座4与机架的轴承座绝缘垫10。同时，轴承3选用陶瓷轴承，也有利于提高传动辊的绝缘性。连接孔11在辊本体1的轴向贯穿，减轻辊本体1的重量，降低设备的负载，而且也利于辊本体1的安装。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，包括辊本体、连接轴、轴承、轴承座，所述连接轴一端部与所述辊本体同轴连接、另一端部与所述轴承连接，所述轴承设置在所述轴承座内，其特征在于：/n所述辊本体的端部开设有沿着其轴心线方向延伸的连接孔，所述连接孔内设置有绝缘轴套，所述连接轴的端部穿设在所述绝缘轴套内，所述连接孔的口部扣设有用于将所述连接孔与外界隔离的绝缘罩，所述连接轴通过连接螺钉与所述辊本体固定连接，所述连接螺钉与所述连接轴之间设置有绝缘螺钉轴套，所述轴承座和轴承之间设置有绝缘轴承套。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，包括辊本体、连接轴、轴承、轴承座，所述连接轴一端部与所述辊本体同轴连接、另一端部与所述轴承连接，所述轴承设置在所述轴承座内，其特征在于：
所述辊本体的端部开设有沿着其轴心线方向延伸的连接孔，所述连接孔内设置有绝缘轴套，所述连接轴的端部穿设在所述绝缘轴套内，所述连接孔的口部扣设有用于将所述连接孔与外界隔离的绝缘罩，所述连接轴通过连接螺钉与所述辊本体固定连接，所述连接螺钉与所述连接轴之间设置有绝缘螺钉轴套，所述轴承座和轴承之间设置有绝缘轴承套。


2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于：所述连接孔包括沿轴向依次远离所述辊本体端部的固定段和连接段，所述固定段的直径大于所述连接段的直径，所述连接轴具有能够设置在所述固定段内的法兰部，所述绝缘轴套包括沿轴向依次设置的法兰段和套筒段，所述绝缘轴套的套筒段配合地设置在所述连接孔的连接段内，所述法兰段设置在所述法兰部与所述辊本体之间。


3.根据权利要求2所述的真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊，其特征在于：所述连接轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴壮，张青涛，俞亚军，解孝辉，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32