晶圆盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆盒，涉及晶圆储存设备技术领域。晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽。使用本实用新型专利技术晶圆盒时不易放偏晶圆载具，不会划伤产品，保证了产品的质量，提高了工作效率。

Wafer box

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒
本技术涉及晶圆储存设备
，具体涉及一种晶圆盒。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。现有的晶圆盒如图7所示，盒体19内各个隔板2的前端面与盒体19两侧板1的前端面平齐，在放置晶圆载具16时易导致晶圆载具16放错插槽3，进而划伤产品。
技术实现思路
针对现有技术存在的以上缺陷，本技术提供一种晶圆盒，使用该晶圆盒时不易放偏晶圆载具，不会划伤产品，保证了产品的质量，提高了工作效率。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽。其中，所述盒体上设置有用于对所述晶圆载具进行限位的限位结构。其中，所述限位结构包括相对设置在两所述侧板内侧的限位块，两所述限位块竖向设置在所述隔板的内表面。其中，所述盒体的前端设置有用于对所述晶圆载具进行挡料的挡料机构。其中，所述挡料机构包括挡杆，所述挡杆包括上转动部、上连接部、挡料部、下连接部和下转动部，所述上转动部和所述下转动部均与所述挡料部平行设置，所述上连接部垂直连接在所述上转动部与所述挡料部之间，所述下连接部垂直连接在所述下转动部与所述挡料部之间；安装孔，所述安装孔包括相对设置的上安装孔和下安装孔，所述上安装孔设置在所述侧板的上端，所述下安装孔设置在所述侧板的下端，所述上转动部转动设置在所述上安装孔内，所述下转动部转动设置在所述下安装孔内；弹性件，所述弹性件用于给所述上转动部提供弹性回复力，所述弹性件设置在所述上安装孔内并位于所述上安装孔的孔底与所述上转动部之间；第一卡槽，所述第一卡槽沿所述下安装孔的径向设置且横向设置在所述侧板的下端，当所述下连接部转动至所述第一卡槽的位置并卡入所述第一卡槽内时，所述挡料部对所述晶圆载具进行挡料。其中，所述挡料机构还包括第二卡槽，所述第二卡槽沿所述下安装孔的径向设置，当所述下连接部转动至所述第二卡槽的位置并卡入所述第二卡槽时，所述挡料部解除对所述晶圆载具的挡料。其中，各所述隔板前端的内侧均设置有倒角。其中，所述盒体的顶部铰接有把手。其中，所述盒体的顶部设置有用于放置所述把手的放置槽。其中，两所述侧板的上端设置有用于盒体叠放时的定位销，所述盒体的底部设置有用于盒体叠放时的定位孔。采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：本技术提供的晶圆盒，由于盒体两侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻的两个隔板分别延伸至齿状结构的齿顶和齿状结构的齿槽，采用这样的结构，两侧的隔板错落有致，所形成的插槽能够明显区分，工作人员在放置晶圆载具时能够准确地放入相应的插槽内，不易放偏晶圆载具，进而不会划伤产品，因此，能够保证产品的质量，提高工作效率。附图说明图1是本技术晶圆盒的使用状态示意图；图2是本技术晶圆盒的结构示意图；图3是图2中A部的放大图；图4是图2中挡料机构的部分剖视图；图5是本技术晶圆盒的结构示意图；图6是图5中B部分放大图；图7是现有技术中晶圆盒的结构示意图；图中：1-侧板，11-齿状结构，110-齿顶，111-齿槽，2-隔板，21-倒角，3-插槽，4-限位块，51-上转动部，52-上连接部，53-挡料部，54-下连接部，55-下转动部，6-上安装孔，7-下安装孔，8-弹性件，9-第一卡槽，10-第二卡槽，12-把手，13-放置槽，14-定位销，15-定位孔，16-晶圆载具，17-UV膜，18-晶圆，19-盒体。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。为了便于描述本技术晶圆盒的结构，将晶圆盒的方位表述为前、后、上、下、左和右，挡料机构所在的方位为前，限位结构所在的方位为后，把手12所在的方位为上，隔板2所在的方位为下，两个侧板1所在的分别为左和右，其中，前后方向为纵向，上下方向为竖向，左右方向为横向，该方位的表述并不构成对保护范围的限定。如图1所示，晶圆18放置在UV膜17上，UV膜17贴在晶圆载具16上，晶圆18通过晶圆载具16放置在晶圆盒的盒体19内。如图1至图3共同所示，晶圆盒，包括盒体19，盒体19相对的两个侧板1的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板2，相邻两个隔板2之间形成用于容纳晶圆载具16的插槽3，两个侧板1的前端分别设置有齿状结构11，相邻两个隔板2分别延伸至齿状结构11的齿顶110和齿状结构11的齿槽111。通过将两个侧板1的前端设置为齿状结构11，能够使两侧的隔板2错落有致，所形成的插槽3能够明显区分，便于工作人员放置晶圆载具16。如图1、图2和图5共同所示，本实施例中盒体19设置有用于对晶圆载具16进行限位的限位结构，该限位结构包括相对设置在两个侧板1内侧的限位块4，两个限位块4竖向设置在隔板2的内表面。通过设置限位结构，防止晶圆载具16从盒体19的后端掉出。如图1、图2、图4、图5和图6共同所示，本实施例中盒体19的前端设置有用于对晶圆载具16进行挡料的挡料机构，挡料机构包括挡杆、安装孔、弹性件8、第一卡槽9和第二卡槽10。挡杆包括上转动部51、上连接部52、挡料部53、下连接部54和下转动部55，上转动部51和下转动部55均与挡料部53平行设置，上连接部52垂直连接在上转动部51与挡料部53之间，下连接部54垂直连接在下转动部55与挡料部53之间。安装孔包括相对设置的上安装孔6和下安装孔7，上安装孔6设置在侧板1的上端，下安装孔7设置在侧板1的下端，上转动部51转动设置在上安装孔6内，下转动部55转动设置在下安装孔7内，本实施例中安装孔设置在其中一块侧板1上，实际应用中也可以设置在两块侧板1上，可以根据实际需求自行设计，本实施例对此不作限制。本实施例中的弹性件8优选为弹簧，弹性件8用于给上转动部51提供弹性回复力，弹性件8设置在上安装孔6内并位于上安装孔6的孔底与上转动部51之间。第一卡槽9沿下安装孔7的径向设置且横向设置在侧板1的下端，当下连接部54转动至第一卡槽9的位置并卡入第一卡槽9内时，挡料部53对晶圆载具16进行挡料，防止在运输的过程中晶圆载具16从前端掉出。第二卡槽10沿下安装孔7的径向设置，当下连接部54转动至第二卡槽10的位置并卡入第二卡槽10时，挡料部53解除对晶圆载具16的挡料，此时便可正常取放晶圆载具16。如图1、图2、图3和图5共同所示，本实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，其特征在于，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽。/n

【技术特征摘要】
1.晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，其特征在于，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽。


2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体上设置有用于对所述晶圆载具进行限位的限位结构。


3.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述限位结构包括相对设置在两所述侧板内侧的限位块，两所述限位块竖向设置在所述隔板的内表面。


4.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体的前端设置有用于对所述晶圆载具进行挡料的挡料机构。


5.根据权利要求4所述的晶圆盒，其特征在于，所述挡料机构包括
挡杆，所述挡杆包括上转动部、上连接部、挡料部、下连接部和下转动部，所述上转动部和所述下转动部均与所述挡料部平行设置，所述上连接部垂直连接在所述上转动部与所述挡料部之间，所述下连接部垂直连接在所述下转动部与所述挡料部之间；
安装孔，所述安装孔包括相对设置的上安装孔和下安装孔，所述上安装孔设置在所述侧板的上端，所述下安装孔设置在所述侧板的下端，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：于培学，孟凡亮，
申请(专利权)人：歌尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37