测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法制造方法及图纸

本申请实施例提供一种测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法，其中，测距装置包括：两个单色光源，以测距装置的主光轴为对称轴呈轴对称排布；两个单色光源同向发光，发出的中心光线与主光轴平行；透镜组件，其光轴与主光轴重合，位于单色光源的发光侧；标志物，设置在主光轴上，位于透镜组件与单色光源之间；图像采集器，其光轴与主光轴重合，位于透镜组件远离单色光源的一侧；透镜组件将标志物在焦平面所呈的像映射到图像采集器的第一区域，将标志物在透镜组件的像平面所呈的像映射到图像采集器的第二区域；根据第二区域与第一区域边界之间的差确定焦平面与像平面之间的距离。本申请实施例提供的测距装置具有较高的测量精度，且成本较低。

Ranging device, electron microscope and method of object distance adjustment of microscope

【技术实现步骤摘要】
测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法
本申请涉及光学测距技术，尤其涉及一种测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法。
技术介绍
光学测距是一种非接触式的测距方法，能够实现远距离测量，且适用的领域较广。光学测距的方法主要包括：脉冲法、相位法、透镜成像法和三角测量法。其中，脉冲法是通过计算激光从发射到接收的时间来计算距离，适合远距离测量，但精度不高。相位法是在脉冲法的基础上，通过调制光的相位来计算距离，相位法所采用的测量设备成本较高。透镜成像法是利用凸透镜成像原理，根据像距、物距、像高与物高之间的对应关系进行测距，但需采用激光发生器作为测量光源，其成本较高。三角测量法是激光发生器的光轴与图像采集器的光轴之间呈锐角，通过待测物的位移变化与图像采集器上的位移变化之间的对应关系来进行测距，采用激光发生器也会导致成本较高。
技术实现思路
本申请实施例提供一种测距装置、电子显微镜及显微镜物距调节方法，具有较高的测量精度，还能够降低成本。本申请第一方面实施例提供一种测距装置，包括：两个单色光源，以测距装置的主光轴为对称轴呈轴对称排布；两个单色光源同向发光，发出的中心光线与主光轴平行；透镜组件，其光轴与主光轴重合，位于所述单色光源的发光侧；标志物，设置在所述主光轴上，位于所述透镜组件与单色光源之间；图像采集器，其光轴与主光轴重合，位于所述透镜组件远离单色光源的一侧；所述透镜组件将所述标志物在焦平面所呈的像映射到图像采集器的第一区域，将所述标志物在透镜组件的像平面所呈的像映射到图像采集器的第二区域；根据第二区域与第一区域边界之间的差确定焦平面与像平面之间的距离本申请第二面实施例提供一种电子显微镜，包括：如上所述的测距装置；所述标志物为探针，所述探针用于承载待观测物。本申请第三方面实施例提供一种采用如上所述测距装置的显微镜物距调节方法，其特征在于，包括：根据图像采集器采集到的图像确定物距调节差值；所述物距调节差值为透镜组件的焦平面与标志物像平面之间的距离；根据所述物距调节差值调节显微镜的物距，直至所述焦平面与像平面重合。本申请实施例所提供的技术方案，通过沿主光轴依次设置单色光源、标志物、透镜组件和图像采集器，单色光源的数量为两个，以主光轴为对称轴呈轴对称排布，其余各部件的中心或光轴均与主光轴重合；单色光源同向发光，发光方向与主光轴平行；标志物位于单色光源与透镜组件之间，图像采集器位于透镜组件远离单色光源的一侧；透镜组件将标志物在焦平面所呈的像映射到图像采集器的第一区域，将标志物在透镜组件的像平面所呈的像映射到图像采集器的第二区域，根据第二区域与第一区域边界之间的差就可以确定焦平面与像平面之间的距离，以根据焦平面与像平面之间的距离来调节标志物的位置，直至焦平面与像平面重合，此时在图像采集器上呈现标志物最清晰的像。本实施例所提供的上述方案，利用光的直线传播原理以及透镜成像原理来测量焦平面与像平面之间的距离，具有较高的测量精度，而且结构较为简单，采用单色光源能大幅度降低成本。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为本申请实施例一提供的测距装置的结构示意图；图2为本申请实施例二提供的测距方法的流程图。附图标记：1-单色光源；2-标志物；3-透镜组件；31-焦平面；32-像平面；4-图像采集器；41-第一区域；42-第二区域；5-滤光片。具体实施方式为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。实施例一本实施例提供一种利用光学器件进行测距的装置，能够应用于电子显微镜中，对待测物的偏差距离进行测量，以根据该偏差距离调整待测物的位置，当调整到位后能够得到清晰的图像。与已有的几种测距方式相比，本实施例所提供的测距装置具有测量精度高、成本低、结构简单等优点。图1为本申请实施例一提供的测距装置的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的测距装置包括：单色光源1、标志物2、透镜组件3和图像采集器4。装置具有一个主光轴，以上各器件沿着主光轴延伸的方向依次设置。其中，单色光源1的数量为两个，设置在主光轴的最左侧。两个单色光源1以主光轴为对称轴呈轴对称排布，即：两个单色光源1分别设置在主光轴的上下两侧，两个单色光源1之间具有一定的距离。两个单色光源1均朝向右侧发光，发出的中心光线与主光轴平行。中心光线即沿单色光源1的中心线方向出射的光线。透镜组件3的光轴与主光轴重合，透镜组件3位于单色光源1的发光侧，即：位于单色光源1的右侧。透镜组件3的功能是改变光线的传播方向，对发散的光线进行汇聚，光线穿过透镜组件3之后的传播方向上下颠倒。标志物2设置在透镜组件3与单色光源1之间，即位于透镜组件3的物方侧。透镜组件3的焦点所在的平面为焦平面31，标志物2具体位于单色光源1与焦平面31之间。标志物2的截面可以为圆形、方形、椭圆形或其他形状，其中心位于焦平面31上。本实施例中，标志物2以主光轴为对称轴呈上下轴对称。图像采集器4设置在透镜组件3远离单色光源1的一侧，即：透镜组件3的像方侧，也即透镜组件3的右侧。图像采集器4的光轴与主光轴重合。两个单色光源1发出的光照射在标志物2上，在标志物2的右侧会出现本影区和半影区。本影区和半影区在焦平面31上所成的像通过透镜组件3折射后映射在图像采集器4上，在图像采集器4上显示为第一区域41。透镜组件3的像平面32也位于标志物2与透镜组件3之间。本影区和半影区在像平面32上所成的像通过透镜组件3折射后映射在图像采集器4上，在图像采集器4上显示为第二区域42。根据第二区域42与第一区域41边界之间的差就可以确定焦平面31与像平面32之间的距离。焦平面31与像平面32之间的距离作为偏差距离，根据该偏差距离调节标志物2的位置，直至调整到焦平面31与像平面32重合，此时在图像采集器4上能够得到标志物最清晰的图像。将上述技术方案应用在电子显微镜中，标志物2为探针，探针为细长条的圆柱形结构，其上附着有待观测物。通过移动探针的位置，调节探针与透镜组件3之间的距离来调节图像采集器4上图像的清晰度。当标志物2移动至使焦平面31与像平面32重合时，此时在图像采集器4上能够得到待观测物最清晰的图像。本实施例所提供的技术方案，通过沿主光轴依次设置单色光源、标志物、透镜组件和图像采集器，单色光源的数量为两个，以主光轴为对称轴呈轴对称排布，其余各部件的中心或光轴均与主光轴重合；单色光源同向发光，发光方向与主光轴平行；标志物位于单色光源与透镜组件之间，图像采集器位于透镜组件远离单色光源的一侧；透镜组件将标志物在焦平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测距装置，其特征在于，包括：/n两个单色光源，以测距装置的主光轴为对称轴呈轴对称排布；两个单色光源同向发光，发出的中心光线与主光轴平行；/n透镜组件，其光轴与主光轴重合，位于所述单色光源的发光侧；/n标志物，设置在所述主光轴上，位于所述透镜组件与单色光源之间；/n图像采集器，其光轴与主光轴重合，位于所述透镜组件远离单色光源的一侧；所述透镜组件将所述标志物在焦平面所呈的像映射到图像采集器的第一区域，将所述标志物在透镜组件的像平面所呈的像映射到图像采集器的第二区域；根据第二区域与第一区域边界之间的差确定焦平面与像平面之间的距离。/n

【技术特征摘要】
1.一种测距装置，其特征在于，包括：
两个单色光源，以测距装置的主光轴为对称轴呈轴对称排布；两个单色光源同向发光，发出的中心光线与主光轴平行；
透镜组件，其光轴与主光轴重合，位于所述单色光源的发光侧；
标志物，设置在所述主光轴上，位于所述透镜组件与单色光源之间；
图像采集器，其光轴与主光轴重合，位于所述透镜组件远离单色光源的一侧；所述透镜组件将所述标志物在焦平面所呈的像映射到图像采集器的第一区域，将所述标志物在透镜组件的像平面所呈的像映射到图像采集器的第二区域；根据第二区域与第一区域边界之间的差确定焦平面与像平面之间的距离。


2.根据权利要求1所述的测距装置，其特征在于，所述单色光源为长条形状，所述单色光源的长度方向垂直于主光轴；两个单色光源之间留有间隙。


3.根据权利要求2所述的测距装置，其特征在于，所述标志物的截面为圆形，所述标志物的直径小于所述单色光源的长度，也小于单色光源与主光轴之间的距离。


4.根据权利要求3所述的测距装置，其特征在于，根据第二区域与第一区域边界之间的差确定焦平面与像平面之间的距离，具体为根据如下公式来确定焦平面与像平面之间的距离：



其中，ΔD'为第二区域与第一区域边界之间的差，ω为所述透镜组件的光学放大倍数，L1为所述单色光源的长度，L2为所述单色光源与标志物之间的距离，Δd为所述焦平面和像平面之间的距离。


5.根据权利要求1所述的测距装置，其特征在于，还包括：
滤光片，设置在透镜组件与...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志龙，潘红九，商学谦，郭灵犀，孙宝亮，张鹏宇，郑宇，马鸣，
申请(专利权)人：北京临近空间飞行器系统工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11