一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法技术

本发明专利技术提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法，左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于两个阀门侧壁用于在阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于两个阀门侧壁的导电PFA管；流量调节旋钮与第一旋钮上分别设有金属阀杆；流量调节旋钮上的金属阀杆、第一旋钮上的金属阀杆分别与track机台外壳之间连接有接地导线。将阀门单次打开的时间缩短，将阀门两次打开的间隔时间增加；在流量调节阀金属阀杆与机台外壳之间形成保护接地；将机台管路替换成导电PFA管，并在大量排液前，在阀门两端进行保护接地。有效改善了阀门损坏的现象，从而有效地减少了公司因阀门内漏产生的经济损失。

A kind of flow valve of track machine and its use method to prevent damage

【技术实现步骤摘要】
一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法。
技术介绍
TELtrack机台在更换过滤器、故障处置、移机等方面，需要对管路内的化学品进行大量的排液动作。由于化学管道和阀门主要材质为PFA，当流道内产生静电时，无法安全释放。造成流量阀膜片被静电击穿，流量阀内漏。受流体纯度要求，PFA相比于金属具有无材质析出的优点，半导体有机溶液走的均为超洁净的PFA管路。受制于PFA无法导电的特性，当流体在流道内流速过高时，流体冲刷膜片较容易产生静电现象。由于TELtrack机台内化学管路大部分为1/8-3/8英寸的细管，所对应的流量阀体积较小，膜片本身较薄。长期的静电现象导致流量阀膜片逐渐变薄，最终出现击穿，产生流量阀内漏。由于机台无法有效监控内漏，产品因此大量受损。因此，需要提出一种新的track机台流量阀及防止其损坏的使用方法来解决上述问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法，用于解决现有技术中对track机台管路中的大量液体排放过程中出现的流量阀膜片被静电击穿，流量阀内漏，从而造成产品受损的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种track机台流量阀，至少包括：左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁用于在所述阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁的导电PFA管，其中一个所述导电PFA管为进液管，另一个所述导电PFA管为排液管；所述流量调节旋钮与所述第一旋钮上分别设有金属阀杆；所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆分别与所述track机台外壳之间连接有接地导线。优选地，位于所述两个阀门侧壁的所述第一旋钮上分别设有用于在所述阀门开启前调节回吸的第二旋钮。优选地，分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮，其分别控制所述两个阀门的不同流量。优选地，所述导电PFA管的外表面设有一层导电材料，所述导电PFA管的内壁与液体接触的部分为氟树脂软管。优选地，所述阀门为耐腐蚀金属隔膜阀。优选地，所述阀门的材料为蒙乃尔合金或哈氏合金。本专利技术还提供一种防止所述track机台流量阀损坏的使用方法，该方法包括以下步骤：步骤一、提供需要进行排液操作的所述track机台流量阀；步骤二、排液前，分别在所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆与所述track机台外壳之间连接接地导线，形成保护接地；步骤三、打开所述阀门30秒，期间通过所述流量调节旋钮调节排液流量的大小；步骤四、当所述阀门内的液体经过所述进液管后，从所述排液管排出后，关闭所述阀门；步骤五、调节所述第一旋钮，将剩余的液体吸回阀门。优选地，该方法还包括：在步骤三打开所述阀门前，调节所述第二旋钮，将液体吸回所述阀门。优选地，该方法还包括步骤六、再次打开所述阀门，该次打开所述阀门与步骤三中打开所述阀门的间隔时间为10秒。如上所述，本专利技术的track机台流量阀及防止其损坏的使用方法，具有以下有益效果：将阀门单次打开的时间从99秒缩短至30秒；将阀门两次打开的间隔时间从3秒增加至10秒；将接地引线连接在流量调节阀金属阀杆与机台外壳之间，形成保护接地；将机台原有的PFA化学管路，替换成导电PFA管，并在大量排液前，在阀门两端进行保护接地。有效改善了阀门损坏的现象，从而有效地减少了公司因阀门内漏产生的经济损失。附图说明图1显示为本专利技术的track机台流量阀的结构示意图；图2显示为本专利技术的接地导线图；图3显示为本专利技术的导电PFA管图；图4显示为本专利技术的防止所述track机台流量阀损坏的使用方法流程示意图。具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图4。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。如图1所示，图1显示为本专利技术的track机台流量阀的结构示意图。本专利技术提供一种track机台流量阀，本实施例中，该track机台流量阀包括：左右对称且相互拼接的两个阀门01，本实施例中，所述两个阀门的形状为如图1所示的长方体。本专利技术进一步地，所述阀门为耐腐蚀金属隔膜阀。更进一步地，所述阀门的材料为蒙乃尔合金或哈氏合金。在生物制药、危化行业，大部分化学药业均使用耐腐蚀金属(如蒙乃尔合金、哈氏合金等)隔膜阀作为流量调节阀，该阀门具有无积液滞留和精度较高的优点。本专利技术的所述track机台流量阀还包括：分别位于所述两个阀门01顶部的流量调节旋钮02，亦即所述两个阀门01的顶部各设有一个所述流量调节旋钮02。所述流量调节旋钮02用于控制所述阀门的排液流量大小。本专利技术进一步地，分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮，其分别控制所述两个阀门的不同流量。分别位于所述两个阀门01侧壁用于在所述阀门01关闭后调节回吸的第一旋钮03；当所述阀门01被关闭后，调节所述第一旋钮03，将剩余液体吸回所述阀门内。本专利技术进一步地，位于所述两个阀门01侧壁的所述第一旋钮03上分别设有用于在所述阀门开启前调节回吸的第二旋钮04。本专利技术的所述track机台流量阀还包括：分别位于所述两个阀门01侧壁的导电PFA管05，其中一个所述导电PFA管05为进液管，另一个所述导电PFA管05为排液管；如图1所示，本实施例中，所述导电PFA管05位于所述阀门01侧壁的所述第一旋钮03的下方位置。其中所述进液管设在左边的所述阀门01上，所述排液管设在右边的所述阀门01上。本专利技术进一步地，如图3所示，图3显示为本专利技术的导电PFA管图，所述导电PFA管的外表面设有一层导电材料(导电PFA材料)，所述导电PFA管的内壁与液体接触的部分为氟树脂软管(PFA-HG材料)。所述流量调节旋钮02与所述第一旋钮03上分别设有金属阀杆；所述流量调节旋钮02上的金属阀杆、所述第一旋钮03上的金属阀杆分别与所述track机台外壳之间连接有接地导线。亦即所述调节旋钮02上的金属阀杆与所述track机台外壳之间连接有接地导线，所述第一旋钮03上的金属阀杆与所述track机台外壳之间连接有接地导线。如图2所示，图2显示为本专利技术的接地导线图。本专利技术还提供防止所述track机台流量阀损坏的使用方法，如图4所示，图4显示为本专利技术的防止所述track机台流量阀损坏的使用方法流程示意图。该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种track机台流量阀，其特征在于，至少包括：/n左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁用于在所述阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁的导电PFA管，其中一个所述导电PFA管为进液管，另一个所述导电PFA管为排液管；所述流量调节旋钮与所述第一旋钮上分别设有金属阀杆；所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆分别与所述track机台外壳之间连接有接地导线。/n

【技术特征摘要】
1.一种track机台流量阀，其特征在于，至少包括：
左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁用于在所述阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁的导电PFA管，其中一个所述导电PFA管为进液管，另一个所述导电PFA管为排液管；所述流量调节旋钮与所述第一旋钮上分别设有金属阀杆；所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆分别与所述track机台外壳之间连接有接地导线。


2.根据权利要求1所述的track机台流量阀，其特征在于：位于所述两个阀门侧壁的所述第一旋钮上分别设有用于在所述阀门开启前调节回吸的第二旋钮。


3.根据权利要求1所述的track机台流量阀，其特征在于：分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮，其分别控制所述两个阀门的不同流量。


4.根据权利要求1所述的track机台流量阀，其特征在于：所述导电PFA管的外表面设有一层导电材料，所述导电PFA管的内壁与液体接触的部分为氟树脂软管。


5.根据权利要求1所述的track机台流量阀，其特征在于：所述阀门为耐腐蚀金属隔膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝君，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31