微影系统及其操作方法技术方案

一种微影系统及其操作方法。提供了包括如下步骤的方法。朝向激发区域射出主液滴及卫星液滴。卫星液滴远离激发区域偏转。激光光束朝向激发区域发射以激发主液滴来产生极紫外光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，以使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。

Micro shadow system and its operation method

【技术实现步骤摘要】
微影系统及其操作方法
本揭露是关于一种微影系统及其操作方法。
技术介绍
集成电路(IC)的制造已经通过增加在半导体装置中形成的IC的密度来驱使。这通过实施更积极的设计规则以允许形成更大密度的IC装置来达成。尽管如此，增加的IC装置(诸如晶体管)的密度亦增加具有减小的特征大小的处理半导体装置的复杂性。
技术实现思路
根据本揭示的各个实施例，提供了一种方法。此方法包括如下步骤。朝向激发区域射出主液滴及卫星液滴。卫星液滴远离激发区域偏转。激光光束朝向激发区域发射以激发主液滴来产生极紫外光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，以使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。根据本揭示的各个实施例，提供一种方法。此方法包括如下步骤。第一液滴及第二液滴沿着相同的初始路径射出，并且第二液滴具有与第一液滴相比较轻的重量。将力施加在第一及第二液滴上，以使得第一及第二液滴分别沿着第一路径及与第一路径不同的第二路径移动。在第一路径上将激光光束发射到第一液滴以产生极紫外(EUV)光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。根据本揭示的各个实施例，一种微影系统包括收集器、激光产生器、液滴产生器、及液滴偏向器。收集器具有反射镜表面。激光产生器的目标为在收集器的反射镜表面前面的激发区域。液滴偏向器可操作以在液滴产生器与激发区域之间的一位置处施加力。附图说明当结合随附附图阅读时，自以下详细描述将很好地理解本揭示的态样。应注意，根据工业中的标准实务，各个特征并非按比例绘制。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各个特征的尺寸。图1图示根据本揭示的一些实施例的微影系统；图2是根据本揭示的一些实施例的制程的流程图；图3图示根据本揭示的一些实施例的图1的微影系统，图2的制程利用此微影系统实施；图4图示图3的微影系统的局部放大的视图；图5图示根据本揭示的一些实施例的图1的微影系统，图2的制程利用此微影系统实施；图6图示根据本揭示的一些实施例的微影系统；图7图示在操作期间的微影系统的局部放大的视图；图8图示根据本揭示的一些实施例的在操作期间的微影系统的局部放大的视图；图9图示根据本揭示的一些实施例的在操作期间的微影系统的局部放大的视图。【符号说明】100A微影系统102腔室104步进电动机110收集器112凹面镜表面113开口114焦点116对称轴118中心120激光产生器121光学路径122激发区域130液滴产生器131液滴路径131'未偏转液滴路径131f前段131r后段135液滴捕获器136液滴捕获器136a卫星液滴捕获器140入口端口142出口端口154光学反射器156光学反射器158光学反射器160光学反射器162光学反射器164光学反射器166光学反射器168光学反射器170光罩180液滴偏向器180a液滴偏向器181行进路径182第二位置190控制器191控制器192控制器194液滴偏向器194a液滴偏向器196A电极板196B电极板200制程300晶圆302光阻层311激光光束312燃料液滴312T燃料液滴314卫星液滴316高温电浆320A气体320B气体320C气体320D气体S210动作S220动作S230动作S240动作S250动作S260动作具体实施方式以下揭示内容提供许多不同实施例或实例，以便实施所提供标的的不同特征。下文描述部件及布置的具体实例以简化本揭示。当然，此等仅为实例且并不意欲为限制性。例如，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征及第二特征可不处于直接接触的实施例。另外，本揭示可在各个实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简便性及清晰的目的且本身并不指示所论述的各个实施例及/或配置之间的关系。另外，为了便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“在……之下”、“在……下方”、“下部”、“在……上方”、“上部”及类似者)来描述诸图中所示出的一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了诸图所描绘的定向外，空间相对性术语意欲包含使用或操作中装置的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)且由此可类似解读本文所使用的空间相对性描述词。在本揭示中描述的先进微影制程、方法、及材料可以在众多应用中使用，包括鳍型场效晶体管(FinFET)。例如，鳍部可经图案化以在特征之间产生相对紧密的间隔，上揭示内容很好地适用于此情况。另外，在形成FinFET的鳍部时使用的间隔件可根据以上揭示内容处理。图1图示根据本揭示的一些实施例的微影系统100A。微影系统100A包括腔室102、收集器110、激光产生器120、液滴产生器130、液滴捕获器135、入口端口140、出口端口142、光学反射器152、154、156、158、160、162、164、166、168、光罩170、液滴偏向器180、以及控制器190、191及192。微影系统100A是极紫外(EUV)曝光工具，此曝光工具可以执行用于曝光在腔室102内的晶圆300上涂布的光阻层302的曝光操作。例如，微影系统100A可包括在腔室102内设置的步进电动机104，并且其上涂布光阻层302的晶圆300在步进电动机104上安装。步进电动机104可在腔室102中移动，并且经构造为偏移晶圆300，使得晶圆300可以在合适位置处偏移来用于曝光。收集器110在腔室102内设置。在一些实施例中，将收集器110安装到支撑件(未在图1中图示)，此支撑件是微影系统100A的部分。收集器110具有凹面镜表面112。收集器110的凹面镜表面112可具有焦点114及对称轴116，此对称轴可以用作收集器110的光轴。更详细而言，收集器110的对称轴116连接反射镜表面112的中心118与焦点114。在一些实施例中，收集器110的反射镜表面112亦可以是任何合适结构及组成物的多层反射器。反射镜表面112可以包括由高折射率材料及低折射率材料的交替层形成的分散式布拉格(Bragg)反射器。例如，交替层可为Mo与Si或Mo与Be。在一些实施例中，反射镜表面112包括大于20对交替层。在一些实施例中，反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微影系统的操作方法，其特征在于，包含：/n朝向一激发区域射出一主液滴及一卫星液滴；/n使该卫星液滴远离该激发区域偏转；/n朝向该激发区域发射一激光光束以激发该主液滴来产生一极紫外光；/n使用一第一光学反射器将该极紫外光导引至一光罩上，以使得赋予该极紫外光具有该光罩的一图案；以及/n使用一第二光学反射器将具有该图案的该极紫外光导引至一晶圆上。/n

【技术特征摘要】
20180814 US 62/718,936;20190513 US 16/410,4261.一种微影系统的操作方法，其特征在于，包含：
朝向一激发区域射出一主液滴及一卫星液滴；
使该卫星液滴远离该激发区域偏转；
朝向该激发区域发射一激光光束以激发该主液滴来产生一极紫外光；
使用一第一光学反射器将该极紫外光导引至一光罩上，以使得赋予该极紫外光具有该光罩的一图案；以及
使用一第二光学反射器将具有该图案的该极紫外光导引至一晶圆上。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中执行发射该激光光束，使得该偏转的卫星液滴不由该激光光束激发。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中执行偏转该卫星液滴使得该主液滴偏转。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该激光光束从一收集器的一背侧发射到收集器的一前侧，并且该卫星液滴朝向该收集器的该背侧偏转。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该激光光束从一收集器的一背侧发送到收集器的一前侧，该卫星液滴远离该收集器的该前侧偏转。


6.一种微影系统的操作方法，其特征在于，包含：
沿着一相同初始路径射出一第一液滴及一第二液滴，该第二液...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖啟宏，吴旻政，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71