一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及冷却装置领域，具体涉及一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置。包括水冷底盘，水冷底盘呈环形迷宫状，上部与水冷盖板相连，下部与防护罩相连；防护罩底部连接冷却盘安装板，冷却盘安装板下端面与底板相连，底板外缘通过轴承连接竖向的导向轴；升降气缸伸缩杆端部与底板相连；直线导轨有两根，平行安装在底座上；底座上安装电动机，电动机和丝杆相连，支撑架安装在直线导轨上，支撑架侧部连接水平的手臂杆，手臂杆前端安装挂板，冷却组件设于挂板旁侧；丝杆与最末端的支撑架通过丝杠螺母相连。本实用新型专利技术分级冷却，连续降温，缓和了冷却不均匀的现象；节约成本，并且更节约时间；可同时冷却多个陶瓷盘，加快了冷却速度，提高了生产效率。

A cooling device for ceramic plate

【技术实现步骤摘要】
一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置
本技术是关于冷却装置领域，具体涉及一种陶瓷盘贴片的冷却装置。
技术介绍
硅片常用于半导体、光伏等产业，特别是伴随着5G、AI时代的到来，其使用需求进一步扩大。而硅片的加工工艺中，在硅片抛光工艺前必须进行贴片，通过蜡使硅片均匀平整地固定在陶瓷盘上，然后抛光机进行抛光加工。但在贴片工艺时，蜡的温度经加热达到100度，整体呈液态，即使经过贴片后温度稍有下降，蜡仍无法完全凝固。这会导致抛光过程中，高速运转下的硅片移动，影响抛光效果，更甚者导致硅片报废。市场上常在两者之间添加一个冷却室以达到冷却目的。但在生产中存在冷却速度慢、生产效率低、冷却不均匀等问题。由于存在以上弊端，急需提供一种冷却均匀、冷却速度快的冷却装置，以提高生产效率。
技术实现思路
本技术的主要目的是，为解决当前冷却效率不高的问题，提供一种高效的陶瓷盘冷却装置。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置，包括冷却组件和移动组件；冷却组件包括水冷底盘、升降气缸、导向轴和底板；水冷底盘呈环形迷宫状，在开始端和结束端分别有一个圆形开口，用于进水和排水；水冷底盘上部与水冷盖板相连，下部与防护罩相连，水冷盖板上端面贴设有导热硅橡胶；防护罩底部连接冷却盘安装板，冷却盘安装板下端面通过冷却盘支柱与底板相连，底板外缘通过轴承连接竖向的导向轴；导向轴底端连接升降板，升降气缸设于升降板下方，气缸伸缩杆穿过升降板，端部与底板相连；移动组件包括支撑架、直线导轨、手臂杆、电动机和丝杆；直线导轨有两根，平行安装在底座上；底座上安装电动机，电动机通过联轴器和丝杆相连，丝杆平行于直线导轨；支撑架有多个，通过滑块安装在直线导轨上，两两支撑架之间通过连接杆相连；支撑架侧部连接水平的手臂杆，手臂杆前端安装挂板，冷却组件有多个，设于挂板旁侧；丝杆与最末端的支撑架通过丝杠螺母相连。作为进一步的改进，升降气缸上安装浮动接头和定位块。作为进一步的改进，导向轴与底板间通过法兰型直线轴承连接。作为进一步的改进，水冷盘安装板上安装有光电传感器支架和反射板支架，其上分别安装有光电传感器和反射板。作为进一步的改进，底座上安装限位开关，限位开关安装在直线导轨首末位置，配合的限位开关挡板安装在第一个和最后一个支撑架上。作为进一步的改进，底座四周设有防护板。本技术的的原理为分级冷却，连续降温，提高冷却效率。具体实施中，可根据实际需要更改冷却组件数量和温度范围。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.多个冷却装置相连，分级冷却，连续降温，缓和了冷却不均匀的现象。2.只需在最后一个工位添加测温仪，相比较传统几个冷却室就需要几个测温仪而言节约成本，并且更节约时间。3.可同时冷却多个陶瓷盘，加快了冷却速度，提高了生产效率。附图说明图1为本技术的陶瓷盘冷却组件示意图。图2为本技术的陶瓷盘移动组件示意图。图中的附图标记为：1-反射板；2-水冷盖板；3-水冷底盘；4-防护罩；5-冷却盘支柱；6-底板；7-导向轴；8-升降板；9-升降气缸；10-法兰型直线轴承；11-冷却盘安装板；12-导热硅橡胶；13-光电传感器；14-挂板；15-手臂杆；16-防护板；17-底座；18-电动机；19-丝杆；20-支撑架；21-直线导轨；22-连接杆；23-限位开关。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本技术。在阅读了本技术之后，其他技术人员对本专利技术的各种等价形式的修改均属于本申请所附权利要求所限定的范围。提供一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置，包括冷却组件和移动组件。其中冷却组件结构相同，冷却的温度范围不同，沿移动组件方向呈一列分布。如图1所示，冷却组件包括水冷底盘3、水冷盖板2、升降气缸9、升降板8、导向轴7、底板6。水冷底盘3呈环形迷宫状，在开始端和结束端分别有一个圆形开口，用来进水和排水。该水冷底盘3上部与水冷盖板2相连，下部与防护罩4相连。水冷盖板2上连接导热硅橡胶12。防护罩4安装在水冷盘安装板11上。防护罩4底部连接接头，排出水冷底盘3渗漏的水。升降气缸9安装在升降板8上，轴端与底板6相连。升降板6上安装导向轴7；导向轴7连接底板6；底板6上安装冷却盘支柱5；冷却盘支柱5连接冷却盘安装板11。如图2所示，移动组件包括支撑架20、直线导轨21、手臂杆15、电动机18、丝杆19。移动组件包含多个完全相同的支撑架20，支撑架20之间通过连接杆22两两相连；支撑架20安装在直线导轨21上；支撑架20上连接细长的手臂杆15；手臂杆15前端安装挂板14。直线导轨21有两根，平行安装在底座17上；底座17四周安装防护板16；底座17上安装电动机18；电动机18通过联轴器和丝杆19相连；丝杆19与最后一个冷却组件配合的支撑架20相连。升降气缸9上安装浮动接头和定位块。浮动接头能够补偿径向载荷，消除误差，使运动平稳、保护气缸。定位块能防止气缸缩回行程过多时，上端陶瓷盘撞到手臂杆。导向轴7与底板6之间的连接使用法兰型直线轴承10。水冷盘安装板11上安装有光电传感器支架和反射板支架，其上分别安装有光电传感器13和反射板1。冷却组件上没有陶瓷盘时，光电传感器13照射的光会被反射板1反射回来；有陶瓷盘时，光电传感器13接收不到自己发出的光信号，从而检测到陶瓷盘已到位。防止陶瓷盘未到位时，冷却装置的启动，造成安全事故。底座17上安装限位开关23。限位开关23安装在直线导轨21首末位置，配合的限位开关挡板安装在第一个和最后一个支撑架20上。限位开关23限定支撑架20的最大移动距离，防止电动机18故障时，支撑架20撞向两端。附图中冷却组件为四个，而冷却组件数量也可以为其他数量。由于本技术的原理为分级冷却，连续降温，提高冷却效率。具体实施中，可根据实际需要更改冷却组件数量和温度范围。工作过程：当贴片完成后，陶瓷盘被前一个工位的机械手移动到冷却组件上方。升降气缸9缩回，导向轴7超出导热硅橡胶12表面，接触到陶瓷盘。机械手缩回，升降气缸9伸长，导向轴7向下移动，带动陶瓷盘移动到导热硅橡胶12表面。水冷底盘3呈环形迷宫状，在开始端和结束端分别有一个圆形开口，连接接头用来进水和排水。冷却水从进水口进入，沿着水冷底盘3内部路径流通，不断吸热，然后从排水口排出。这一过程，陶瓷盘的热量通过导热硅橡胶12传递给冷却水，实现降温的目的。经过时间设定，陶瓷盘降低一部分温度后，升降气缸9缩回，带动连接的升降板8向上移动，进而使导向轴7向上移动，顶起陶瓷盘。移动组件的电动机18转动，带动丝杆19转动，使支撑架20移动。等挂板14移动到陶瓷盘下，升降气缸9伸长，导向轴7向下移动，使陶瓷盘移动到挂板14上。然后移动组件的电动机18反向转动，带动丝杆19转动，使支撑架20移动到第二个冷却组件位置。接着升降气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置，其特征在于，包括冷却组件和移动组件；/n所述冷却组件包括水冷底盘、升降气缸、导向轴和底板；/n所述水冷底盘呈环形迷宫状，在开始端和结束端分别有一个圆形开口，用于进水和排水；水冷底盘上部与水冷盖板相连，下部与防护罩相连，水冷盖板上端面贴设有导热硅橡胶；/n所述防护罩底部连接冷却盘安装板，冷却盘安装板下端面通过冷却盘支柱与底板相连，底板外缘通过轴承连接竖向的导向轴；导向轴底端连接升降板，升降气缸设于升降板下方，气缸伸缩杆穿过升降板，端部与底板相连；/n所述移动组件包括支撑架、直线导轨、手臂杆、电动机和丝杆；/n所述直线导轨有两根，平行安装在底座上；底座上安装电动机，电动机通过联轴器和丝杆相连，丝杆平行于直线导轨；所述支撑架有多个，通过滑块安装在直线导轨上，两两支撑架之间通过连接杆相连；支撑架侧部连接水平的手臂杆，手臂杆前端安装挂板；/n所述冷却组件有多个，结构相同，沿移动组件方向呈一列分布并设于挂板旁侧；所述丝杆与最末端的支撑架通过丝杠螺母相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置，其特征在于，包括冷却组件和移动组件；
所述冷却组件包括水冷底盘、升降气缸、导向轴和底板；
所述水冷底盘呈环形迷宫状，在开始端和结束端分别有一个圆形开口，用于进水和排水；水冷底盘上部与水冷盖板相连，下部与防护罩相连，水冷盖板上端面贴设有导热硅橡胶；
所述防护罩底部连接冷却盘安装板，冷却盘安装板下端面通过冷却盘支柱与底板相连，底板外缘通过轴承连接竖向的导向轴；导向轴底端连接升降板，升降气缸设于升降板下方，气缸伸缩杆穿过升降板，端部与底板相连；
所述移动组件包括支撑架、直线导轨、手臂杆、电动机和丝杆；
所述直线导轨有两根，平行安装在底座上；底座上安装电动机，电动机通过联轴器和丝杆相连，丝杆平行于直线导轨；所述支撑架有多个，通过滑块安装在直线导轨上，两两支撑架之间通过连接杆相连；支撑架侧部连接水平的手臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，周锋，刘文涛，钟莉敏，刘小琴，高红刚，郑猛，曹建伟，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33