一种新型碳化硅晶体生长装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体；所述炉体上侧安装有上盖，所述上盖中间位置设置有通孔，所述上盖上侧设置有籽晶杆，且籽晶杆底端穿过通孔伸入炉体内部，所述炉体外侧设置有外壳，所述外壳外侧安装有陶瓷外壳，所述炉体内部安装有加热板，所述加热板设置为石墨烯板，所述加热板通过固定栓固定在外壳内部，所述加热板与控制开关电性连接，所述控制开关安装在陶瓷外壳外侧，所述炉体内部低端安装有隔板，所述隔板底端安装有热保护器，且热保护器的探头穿过隔板伸入炉体内部，热保护器与加热板以串联的方式将进行连接。该实用新型专利技术在加工过程中，通过热保护器维持炉内的温度稳定，方便快捷，并且灵敏度较高。

A new silicon carbide crystal growth device

【技术实现步骤摘要】
一种新型碳化硅晶体生长装置
本技术涉及碳化硅晶体生产设备
，具体为一种新型碳化硅晶体生长装置。
技术介绍
在晶体生长技术中，晶体的生长都是在晶体炉内生长，晶体生长方法主要有火焰法、提拉法、导模法、坩埚下降法、泡生法、定向凝固法等，故专利号为CN201720786631.X的中国专利设计了一种碳化硅晶体生长装置，但是该技术在使用过程中仍然存在不足之处，该装置对温度的控制方式价位复杂，且容易产生误差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型碳化硅晶体生长装置，以解决上述
技术介绍
中提出的的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体；所述炉体上侧安装有上盖，且上盖扣在炉体上侧，所述上盖中间位置设置有通孔，且通孔为圆台型设置，所述通孔贯穿上盖，所述上盖上侧设置有籽晶杆，且籽晶杆底端穿过通孔伸入炉体内部，所述籽晶杆外侧套有限位块和固定套，且固定套位于限位块上侧，所述固定套底端内部和限位块上端外侧均设置有螺纹，所述固定套与限位块之间通过螺纹旋转连接，所述炉体外侧设置有外壳，所述外壳外侧安装有陶瓷外壳，所述陶瓷外壳通过螺栓固定安装在外壳外侧，所述炉体内部安装有加热板，所述加热板设置为石墨烯板，所述加热板通过固定栓固定在外壳内部，所述加热板与控制开关电性连接，所述控制开关安装在陶瓷外壳外侧，所述炉体内部低端安装有隔板，所述隔板底端安装有热保护器，且热保护器的探头穿过隔板伸入炉体内部，热保护器与加热板以串联的方式将进行连接。优选的，所述限位块为圆台型设置，所述限位块嵌入通孔内部。优选的，所述外壳和陶瓷外壳之间设置有隔温层，且隔温层设置为真空保温层。优选的，所述外壳内部设置有锡箔层，且锡箔层附着在外壳内部。优选的，所述限位块与籽晶杆之间设置有弹垫，且弹垫一侧与限位块之间通过粘合胶相互粘贴。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该技术在加工过程中，通过热保护器维持炉内的温度稳定，热保护器是两片不同的合金组合在一起，由于两种不同的合金热膨胀系数不同，温度较高时，合金势必向一个方向弯曲，触点离开，就断了电，当温度降低时又会相互触碰进行通电，便于维持炉体内部的温度稳定，限位块圆台型设置能够增加与通孔的接触面积，避免大量的热量通过限位块与通孔的衔接处泄露出去，隔温层所使用的真空保温层，内部设置有真空隔层，具有较好的隔温、保温的效果，一方面避免温度泄露，以方便避免烫伤工作人员，锡箔层具有反射热量的效果，用于加快炉体内部的温度升高，通过固定套固定限位块时，限位块上端将会向内收缩，弹垫受到压力将会变形，对限位块与籽晶杆之间的空隙进行填充，使得限位块固定的更加的稳定。附图说明图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术的外壳切面结构示意图；图3为本技术的电路原理图。图中：1、炉体；2、加热板；3、上盖；4、籽晶杆；5、弹垫；6、固定套；7、限位块；8、通孔；9、控制开关；10、隔板；11、热保护器；12、隔温层；13、外壳；14、陶瓷外壳；15、固定栓；16、锡箔层。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-3，本技术提供的一种实施例：一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体1；炉体1上侧安装有上盖3，且上盖3扣在炉体1上侧，上盖3中间位置设置有通孔8，且通孔8为圆台型设置，通孔8贯穿上盖3，上盖3上侧设置有籽晶杆4，且籽晶杆4底端穿过通孔8伸入炉体1内部，籽晶杆4外侧套有限位块7和固定套6，且固定套6位于限位块7上侧，固定套6底端内部和限位块7上端外侧均设置有螺纹，固定套6与限位块7之间通过螺纹旋转连接，炉体1外侧设置有外壳13，外壳13外侧安装有陶瓷外壳14，陶瓷外壳14通过螺栓固定安装在外壳13外侧，炉体1内部安装有加热板2，加热板2设置为石墨烯板，加热板2通过固定栓15固定在外壳13内部，加热板2与控制开关9电性连接，控制开关9安装在陶瓷外壳14外侧，炉体1内部低端安装有隔板10，隔板10底端安装有热保护器11，且热保护器11的探头穿过隔板10伸入炉体1内部，热保护器11与加热板2以串联的方式将进行连接。进一步，限位块7为圆台型设置，限位块7嵌入通孔8内部，限位块7圆台型设置能够增加与通孔8的接触面积，避免大量的热量通过限位块7与通孔8的衔接处泄露出去。进一步，外壳13和陶瓷外壳14之间设置有隔温层12，且隔温层12设置为真空保温层，隔温层12所使用的真空保温层，内部设置有真空隔层，具有较好的隔温、保温的效果，一方面避免温度泄露，以方便避免烫伤工作人员。进一步，外壳13内部设置有锡箔层16，且锡箔层16附着在外壳13内部，锡箔层16具有反射热量的效果，用于加快炉体1内部的温度升高。进一步，限位块7与籽晶杆4之间设置有弹垫5，且弹垫5一侧与限位块7之间通过粘合胶相互粘贴，通过固定套6固定限位块7时，限位块7上端将会向内收缩，弹垫5受到压力将会变形，对限位块7与籽晶杆4之间的空隙进行填充，使得限位块7固定的更加的稳定。工作原理：加工时通过固定套6将限位块7固定在籽晶杆4上侧，固定套6固定限位块7时，限位块7上端将会向内收缩，弹垫5受到压力将会变形，对限位块7与籽晶杆4之间的空隙进行填充，使得限位块7固定的更加的稳定，将籽晶杆4通过通孔8伸入炉体1内部，限位块7圆台型设置能够增加与通孔8的接触面积，避免大量的热量通过限位块7与通孔8的衔接处泄露出去，开启控制开关9使得加热板2进行加热，当炉体1内部的温度较高时，热保护器11将会断开，加热板2将会形成断路，温度下降后热保护器11将会何合并，形成通路，使得加热板2持续对炉体1内部进行加热，方便炉体1内部温度的稳定。对于本领域技术人员而言，显然本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体(1)；其特征在于：所述炉体(1)上侧安装有上盖(3)，且上盖(3)扣在炉体(1)上侧，所述上盖(3)中间位置设置有通孔(8)，且通孔(8)为圆台型设置，所述通孔(8)贯穿上盖(3)，所述上盖(3)上侧设置有籽晶杆(4)，且籽晶杆(4)底端穿过通孔(8)伸入炉体(1)内部，所述籽晶杆(4)外侧套有限位块(7)和固定套(6)，且固定套(6)位于限位块(7)上侧，所述固定套(6)底端内部和限位块(7)上端外侧均设置有螺纹，所述固定套(6)与限位块(7)之间通过螺纹旋转连接，所述炉体(1)外侧设置有外壳(13)，所述外壳(13)外侧安装有陶瓷外壳(14)，所述陶瓷外壳(14)通过螺栓固定安装在外壳(13)外侧，所述炉体(1)内部安装有加热板(2)，所述加热板(2)设置为石墨烯板，所述加热板(2)通过固定栓(15)固定在外壳(13)内部，所述加热板(2)与控制开关(9)电性连接，所述控制开关(9)安装在陶瓷外壳(14)外侧，所述炉体(1)内部低端安装有隔板(10)，所述隔板(10)底端安装有热保护器(11)，且热保护器(11)的探头穿过隔板(10)伸入炉体(1)内部，热保护器(11)与加热板(2)以串联的方式将进行连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体(1)；其特征在于：所述炉体(1)上侧安装有上盖(3)，且上盖(3)扣在炉体(1)上侧，所述上盖(3)中间位置设置有通孔(8)，且通孔(8)为圆台型设置，所述通孔(8)贯穿上盖(3)，所述上盖(3)上侧设置有籽晶杆(4)，且籽晶杆(4)底端穿过通孔(8)伸入炉体(1)内部，所述籽晶杆(4)外侧套有限位块(7)和固定套(6)，且固定套(6)位于限位块(7)上侧，所述固定套(6)底端内部和限位块(7)上端外侧均设置有螺纹，所述固定套(6)与限位块(7)之间通过螺纹旋转连接，所述炉体(1)外侧设置有外壳(13)，所述外壳(13)外侧安装有陶瓷外壳(14)，所述陶瓷外壳(14)通过螺栓固定安装在外壳(13)外侧，所述炉体(1)内部安装有加热板(2)，所述加热板(2)设置为石墨烯板，所述加热板(2)通过固定栓(15)固定在外壳(13)内部，所述加热板(2)与控制开关(9)电性连接，所述控制开关(9)安装在陶瓷外壳(14)外侧，所述炉体(1)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭士贤，
申请(专利权)人：深圳市优越新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44