本实用新型专利技术提供一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，与现有技术相比，本实用新型专利技术具有如下的有益效果：给工艺片的生长提供更好更洁净的本底，机台下侧灰尘清理便捷。
A new low pressure chemical vapor precipitation high vacuum system
【技术实现步骤摘要】
一种新型低压化学气相沉淀高真空系统
本技术是一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，属于低压化学气相沉淀工艺设备领域。
技术介绍
低压化学气相沉积（LPCVD）系统用于集成电路、分立器件、MEMS等不同尺寸晶圆的薄膜沉积及掺杂等工艺。目前，国内厂家生产的同类产品中，通用型设备的极限真空度大多在0.8Pa-1Pa左右的范围，工作真空度在1Pa-133Pa，真空腔室内的本底真空会直接影响到工艺片的生长环境，特别是会影响工艺片的颗粒度等指标，工作真空度的局限也导致产品性能得不到进一步的提升，同时集聚在机台下侧地面上的灰尘，因空间狭小较难清理。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，以解决上述
技术介绍
中提出真空腔室内的本底真空会直接影响到工艺片的生长环境，特别是会影响工艺片的颗粒度等指标，工作真空度的局限也导致产品性能得不到进一步的提升，同时集聚在机台下侧地面上的灰尘，因空间狭小较难清理的问题，本技术给工艺片的生长提供更好更洁净的本底，机台下侧灰尘清理便捷。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述慢抽阀另一端与真空管道一相连接，所述机台内部安装真空工艺腔，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述抽气法兰与真空工艺腔固定连接，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，所述条形板上端安插在U型条内，所述集灰板下端面通过胶水粘贴海绵垫。进一步地，所述慢抽阀为一种气动隔膜阀。进一步地，所述U型条左右两端面上侧边缘处均等距安装多组固定耳一，所述固定耳一通过螺丝与机台固定连接。进一步地，所述条形板左右两端面下侧边缘处均等距安装多组固定耳二，所述固定耳二通过螺丝与集灰板固定连接。进一步地，所述真空管道一远离罗茨泵的一端安装真空规管，所述真空规管设置在压力调节阀上侧。本技术的有益效果：本技术采用螺杆式干泵加罗茨泵的方式进行抽真空工作，将真空工艺腔的极限真空度提高到＜1.0×10-1Pa，给工艺片的生长提供了更好更洁净的本底，大大控制了工艺片的颗粒度问题，工作真空度达到0.1Pa-133Pa，使产品的性能指标大大得到提升，通过将条形板安插在机台上的U型条内，完成将集灰板铺设在机台下侧地面上，同时集灰板上的海绵垫与地面接触，进而利用集灰板遮挡机台下侧地面，继而灰尘集聚在集灰板上，将集灰板从机台下侧抽出后，实现便捷清理机台下侧灰尘的目的。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种新型低压化学气相沉淀高真空系统的结构示意图；图2为图1中A处放大图；图3为本技术一种新型低压化学气相沉淀高真空系统的后视图；图4为图3中B处放大图；图中：1-机组骨架、2-螺杆式干泵、3-罗茨泵、4-真空管道一、5-压力调节阀、6-抽气法兰、7-机台、8-冷阱、9-真空管道二、10-快抽阀、11-慢抽阀、12-真空规管、13-真空工艺腔、14-U型条、15-条形板、16-集灰板、17-海绵垫。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架1和机台7，机组骨架1内安装螺杆式干泵2，且机组骨架1上端面安装罗茨泵3，罗茨泵3通过管道与螺杆式干泵2相连接，且罗茨泵3上安装真空管道一4，真空管道一4另一端安装压力调节阀5，压力调节阀5用于自动控制系统的工作真空度，压力调节阀5另一端安装快抽阀10，快抽阀10另一端安装真空管道二9，真空管道二9另一端连接冷阱8出气口，且真空管道二9环形侧面上安装慢抽阀11，慢抽阀11另一端与真空管道一4相连接，机台7内部安装真空工艺腔13，冷阱8进气口安装抽气法兰6，抽气法兰6与真空工艺腔13固定连接，低压化学气相沉淀工艺过程重点在真空压力控制上面，在螺杆式干泵2与真空管道一4之间增加罗茨泵3，螺杆式干泵2的极限真空度达到5.0×10-1Pa，螺杆式干泵2抽真空达到800Pa以下，开启罗茨泵3，能够非常有效的解决本底真空度的问题，使本底极限真空度能到达到＜1.0×10-1Pa，给工艺片的生长提供了更好更洁净的本底，大大控制了工艺片的颗粒度问题，工作真空度达到0.1Pa-133Pa，使产品的性能指标大大得到提升，机台7下端面中部位置安装U型条14，且机台7下侧设置集灰板16，集灰板16上端面中间位置安装条形板15，条形板15上端安插在U型条14内，集灰板16下端面通过胶水粘贴海绵垫17，通过将条形板15安插在机台7上的U型条14内，完成将集灰板16铺设在机台7下侧地面上，同时集灰板16上的海绵垫17与地面接触，进而利用集灰板16遮挡机台7下侧地面，继而灰尘集聚在集灰板16上，将集灰板16从机台7下侧抽出后，实现便捷清理机台7下侧灰尘的目的。作为本技术的一个实施例：慢抽阀11为一种气动隔膜阀。作为本技术的一个实施例：U型条14左右两端面上侧边缘处均等距安装多组固定耳一，固定耳一通过螺丝与机台7固定连接，在U型条14上安装固定耳一，便于U型条14与机台7的拆装。作为本技术的一个实施例：条形板15左右两端面下侧边缘处均等距安装多组固定耳二，固定耳二通过螺丝与集灰板16固定连接，在条形板15上安装固定耳二，便于条形板15与集灰板16的拆装。作为本技术的一个实施例：真空管道一4远离罗茨泵3的一端安装真空规管12，真空规管12设置在压力调节阀5上侧，真空规管12安装在真空管道一4上，用于测量系统的真空度。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，其特征在于：所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述慢抽阀另一端与真空管道一相连接，所述机台内部安装真空工艺腔，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述抽气法兰与真空工艺腔固定连接，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，所述条形板上端安插在U型条内，所述集灰板下端面通过胶水粘贴海绵垫。/n
【技术特征摘要】
1.一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，其特征在于：所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述慢抽阀另一端与真空管道一相连接，所述机台内部安装真空工艺腔，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述抽气法兰与真空工艺腔固定连接，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，所述条形板上端安插在U型条内，所述集灰板下端面通过胶水粘贴海绵垫。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛华旗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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