中频宽幅线性大气等离子清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了中频宽幅线性大气等离子清洗机，包括腔体，所述腔体的内部设置有正电极，所述正电极的一端设置有中频信号发生器，所述中频信号发生器位于腔体的外侧，所述腔体的外侧对称贯穿有与中频信号发生器电性连接的负电极，且所述腔体的一侧设置有工艺气体罐。本实用新型专利技术采用独特的油浸式变压器，电压可达15KV，过载能力出众。具有出色的冷却和绝缘效果，可通过内部循环散热，避免温度过高导致的烧坏电源等故障。处理温度可以达到60℃以下，确保对样品表面不造成热影响，极大的提高了电极使用寿命，可以满足生产长时间持续工作的需求。用气量减少40％，降低生产成本，使用及维护非常便捷。

Medium frequency wide range linear atmospheric plasma cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
中频宽幅线性大气等离子清洗机
本技术属于等离子清洗机
，具体涉及中频宽幅线性大气等离子清洗机。
技术介绍
目前，市面上的中频宽幅线性大气等离子清洗机都会出现以下问题，中频电源技术不成熟，采用干式变压器，工艺气体浪费。中频电源技术不成熟会导致功率持续输出稳定性差，且输出功率低，一般只可达到3KW。使用干式变压器，容量和电压都受到了极大的限制，电压一般只能达到10KV，冷却和绝缘的效果也比较差，无法通过内部循环进行散热，容易导致热量堆积，温度过高，产生烧坏电源等问题。而在长时间的持续工作下，电极容易出现温度过高，使用寿命急剧缩短，无形中增大了生产成本。现市面上的中频宽幅线性大气等离子清洗机用气量大，用气量普遍在800L/MIN，极大的造成工艺气体的浪费。为此我们提出中频宽幅线性大气等离子清洗机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供中频宽幅线性大气等离子清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出目前现有的中频宽幅线性大气等离子清洗机出现的中频电源技术不成熟，采用干式变压器，工艺气体浪费等问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：中频宽幅线性大气等离子清洗机，包括腔体，所述腔体的内部设置有正电极，所述正电极的一端设置有中频信号发生器，所述中频信号发生器位于腔体的外侧，所述腔体的外侧对称贯穿有与中频信号发生器电性连接的负电极，且所述腔体的一侧设置有工艺气体罐，工件位于负电极的正下方。优选的，所述正电极的外侧设置有护套，所述护套位于腔体的内部。优选的，所述中频信号发生器的一端连接有电源。<br>优选的，所述工艺气体罐与腔体之间通过通气管连接，所述通气管的管道上设置有压力表。优选的，所述负电极与腔体之间通过胶粘固定。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术采用一款采用新型中频电源技术，结合独特的油浸式变压器和低温处理方案。输出功率范围在0-4.5KW，保证功率持续输出稳定性强，处理效果好。采用独特的油浸式变压器，电压可达15KV，过载能力出众。具有出色的冷却和绝缘效果，可通过内部循环散热，避免温度过高导致的烧坏电源等故障。处理温度可以达到60℃以下，确保对样品表面不造成热影响，极大的提高了电极使用寿命，可以满足生产长时间持续工作的需求。用气量减少40％，降低生产成本，使用及维护非常便捷。附图说明图1为本技术的结构示意图；图中：1、工艺气体罐；2、中频信号发生器；3、腔体；4、正电极；5、护套；6、负电极；7、工件。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术提供一种技术方案：中频宽幅线性大气等离子清洗机，包括腔体3，所述腔体3的内部设置有正电极4，所述正电极4的一端设置有中频信号发生器2，所述中频信号发生器2位于腔体3的外侧，所述腔体3的外侧对称贯穿有与中频信号发生器2电性连接的负电极6，且所述腔体3的一侧设置有工艺气体罐1，工件7位于负电极6的正下方。所述正电极4的外侧设置有护套5，所述护套5位于腔体3的内部，所述中频信号发生器2的一端连接有电源，所述工艺气体罐1与腔体3之间通过通气管连接，所述通气管的管道上设置有压力表，所述负电极6与腔体3之间通过胶粘固定。需要说明的是，本技术为中频宽幅线性大气等离子清洗机，如：图1为本技术的结构示意图。本技术在使用时，启动电源，通过中频信号发生器2，让正电极4和负电极6通电，打开工艺气体罐1的阀门，让工艺气体进入腔体3的内部，工艺气体在正电极4和负电极6产生放电反应，产生的等离子体可均匀的清洗工件7。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.中频宽幅线性大气等离子清洗机，包括腔体(3)，其特征在于：所述腔体(3)的内部设置有正电极(4)，所述正电极(4)的一端设置有中频信号发生器(2)，所述中频信号发生器(2)位于腔体(3)的外侧，所述腔体(3)的外侧对称贯穿有与中频信号发生器(2)电性连接的负电极(6)，且所述腔体(3)的一侧设置有工艺气体罐(1)，工件(7)位于负电极(6)的正下方。/n

【技术特征摘要】
1.中频宽幅线性大气等离子清洗机，包括腔体(3)，其特征在于：所述腔体(3)的内部设置有正电极(4)，所述正电极(4)的一端设置有中频信号发生器(2)，所述中频信号发生器(2)位于腔体(3)的外侧，所述腔体(3)的外侧对称贯穿有与中频信号发生器(2)电性连接的负电极(6)，且所述腔体(3)的一侧设置有工艺气体罐(1)，工件(7)位于负电极(6)的正下方。


2.根据权利要求1所述的中频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述正电极(4)的外侧设置有护套(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：冼健威，
申请(专利权)人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44