线切机过线轮调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种线切机过线轮调节装置，包括：长条形滑轨，所述长条形滑轨横向设置；横移滑块，所述横移滑块套设在所述长条形滑轨上且能够沿所述长条形滑轨滑动，所述横移滑块的一侧设有螺纹孔，所述横移滑块用于带动过线轮沿着所述长条形滑轨移动；紧固机构，所述紧固机构包括螺栓和压块，所述压块具有与所述长条形滑轨的外侧表面相配合的卡槽，所述螺栓螺合在所述横移滑块的螺纹孔内且其一端穿出所述横移滑块并与所述压块相连以将所述压块抵接在所述长条形滑轨上，所述压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形。根据本发明专利技术的线切机过线轮调节装置，能够增加过线轮调节的稳定性，保证过线轮的自由快捷移动调整定位，提高生产效率。

Adjustment device of wire wheel of wire cutter

【技术实现步骤摘要】
线切机过线轮调节装置
本专利技术涉及硅片制造领域，具体涉及一种线切机过线轮调节装置。
技术介绍
近年来，硅片切割行业传统的砂浆切割逐渐被金刚线切割所替代，其主要切割辅材金钢线线径由70微米逐步下降到50微米甚至更细，因此对硅棒加工工艺和设备提出了更高的要求。现有的线切机过线轮调节装置，在使用过程中，存在以下问题：1)过线轮上钢线的抖动；2)过线轮角度调整不精准；3)过线轮行程偏短。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种线切机过线轮调节装置，以解决过线轮上钢线抖动、过线轮角度调整不精准、及过线轮行程偏短的问题。为解决上述技术问题，根据专利技术提供一种线切机过线轮调节装置，包括：长条形滑轨，所述长条形滑轨横向设置；横移滑块，所述横移滑块套设在所述长条形滑轨上且能够沿所述长条形滑轨滑动，所述横移滑块的一侧设有螺纹孔，所述横移滑块用于带动过线轮沿着所述长条形滑轨移动；紧固机构，所述紧固机构包括螺栓和压块，所述压块具有与所述长条形滑轨的外侧表面相抵接的卡槽，所述螺栓螺合在所述横移滑块的螺纹孔内且其一端穿出所述横移滑块并与所述压块相连以将所述压块抵接在所述长条形滑轨上，所述压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形。进一步地，所述横移滑块包括相对设置的第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块通过紧固件连接，所述第二滑块上设有所述螺纹孔以与所述紧固机构相连接。进一步地，所述压块上形成有径向定位部，所述径向定位部与所述第二滑块相配合，所述径向定位部用于对所述压块进行径向定位。进一步地，所述径向定位部设置在所述压块的下部，所述径向定位部形成为平台。进一步地，所述螺栓为M10螺栓。进一步地，还包括：支架，所述支架上端与所述横移滑块相连，且所述支架的下端用于安装所述过线轮。进一步地，所述支架包括侧板，所述线切机过线轮调节装置还包括：调节板，所述调节板套设在所述长条形滑轨上且其端部与所述横移滑块相连，所述调节板上形成有弧形调节槽，所述支架的侧板可移动地连接在所述弧形调节槽中。进一步地，所述支架的侧板上设有螺杆，所述螺杆穿过所述弧形调整槽且其另一端配合有螺母。进一步地，所述支架的侧板还形成有安装轴，相应地所述调节板上形成有安装孔，所述安装轴配合在所述安装孔内，所述侧板能够以所述安装轴为中心进行转动。进一步地，还包括定位块，所述定位块位于所述第一滑块内且配合在所述长条形滑轨外侧，所述定位块与所述调节板相连，所述定位块用于所述调节板的定位。本专利技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：根据本专利技术实施例的线切机过线轮调节装置，通过紧固机构(包括压块和螺栓)抵接长条形滑轨，压块的卡槽与长条形滑轨有较大的接触面积，增加了卡槽与长条形滑轨的摩擦力，能够增加过线轮调节的稳定性，保证过线轮的自由快捷移动调整定位，减少横移滑块在长条形导轨上微量晃动而导致的过线轮上的钢线抖动；进一步地，压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形，可以形成与长条形滑轨更大的接触面积，增加调节的稳定性；进一步地，通过压块的径向定位部对压块进行径向定位，且径向定位部形成为平台便于与滑块的接触平台相接触，避免定位块发生移位，减少过线轮晃动，增加稳定性，降低了过线轮上的钢线断线的可能，提升了硅片切割的良率，达到对切割金钢线张力和线扭的有效控制，减少切割金钢线断线造成的硅片切割不良；进一步地，螺栓使用较大的M10螺栓，防止硅片切割过程中的硅粉附着而造成的螺纹抱死的现象；进一步地，通过套设在长条形滑块的调节板增大过线轮移动行程，提高单刀切割长度，提高生产效率；进一步地，通过调节板的弧形调节槽，支架带动过线轮在弧形调节槽可摆动，从而可以调整过线轮的角度，实现了过线轮的自由调节量。附图说明图1为根据本专利技术一实施例的线切机过线轮调节装置的结构示意图；图2为图1中的线切机过线轮调节装置的紧固机构的结构示意图；图3为图1中的线切机过线轮调节装置的横移滑块剖面图示意图；图4为图1中的线切机过线轮调节装置的调节板结构示意图；图5为图1中的线切机过线轮调节装置的调节板与横移滑块连接示意图；图6为图1中的线切机过线轮调节装置的第一滑块的结构示意图。附图标记：100、长条形滑轨；200、横移滑块；210、第一滑块；220、第二滑块；230、紧固件；240、螺纹孔；300、紧固机构；310，压块；311、卡槽；312、径向定位部；320、螺栓；400、支架；410、安装部；420、螺杆；430、安装轴；500、调节板；510、槽口；520、调节槽；530、安装孔。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。除非另作定义，本专利技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。图1至图6示出了根据本专利技术的过线轮调节装置的可选实施例。如图1所示，根据本专利技术的过线轮调节装置包括：长条形滑轨100、横移滑块200、以及紧固机构300。其中，长条形滑轨100横向设置。可选地，长条形滑轨100的横截面可以形成为方形、菱形、或其他多边形。横移滑块200套设在长条形滑轨100上且能够沿长条形滑轨100滑动，横移滑块200的一侧设有螺纹孔240，横移滑块200用于带动过线轮沿着长条形滑轨100移动。进一步地，横移滑块200包括相对设置的第一滑块210(图1所示的内侧)和第二滑块220(图1所示的外侧)，第一滑块210和第二滑块220通过紧固件230(例如螺栓等)连接。可选地，紧固件230可以穿过第二滑块220，与第一滑块210螺纹连接。进一步地，在横移滑块200的4个角均使用紧固件230连接第一滑块210和第二滑块220。由此，形成便于拆装的横移滑块200的结构。如图1和图2所示，紧固机构300包括螺栓320和压块310，压块310具有与所述长条形滑轨100的外侧表面相抵接的卡槽311，螺栓320螺合在横移滑块200的螺纹孔240内且其一端穿出第二滑块220并与压块310相连以将压块310抵接在长条形滑轨100上。其中，压块31本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线切机过线轮调节装置，其特征在于，包括：/n长条形滑轨，所述长条形滑轨横向设置；/n横移滑块，所述横移滑块套设在所述长条形滑轨上且能够沿所述长条形滑轨滑动，所述横移滑块的一侧设有螺纹孔，所述横移滑块用于带动过线轮沿着所述长条形滑轨移动；/n紧固机构，所述紧固机构包括螺栓和压块，所述压块具有与所述长条形滑轨的外侧表面相抵接的卡槽，所述螺栓螺合在所述横移滑块的螺纹孔内且其一端穿出所述横移滑块并与所述压块相连以将所述压块抵接在所述长条形滑轨上，所述压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形。/n

【技术特征摘要】
1.一种线切机过线轮调节装置，其特征在于，包括：
长条形滑轨，所述长条形滑轨横向设置；
横移滑块，所述横移滑块套设在所述长条形滑轨上且能够沿所述长条形滑轨滑动，所述横移滑块的一侧设有螺纹孔，所述横移滑块用于带动过线轮沿着所述长条形滑轨移动；
紧固机构，所述紧固机构包括螺栓和压块，所述压块具有与所述长条形滑轨的外侧表面相抵接的卡槽，所述螺栓螺合在所述横移滑块的螺纹孔内且其一端穿出所述横移滑块并与所述压块相连以将所述压块抵接在所述长条形滑轨上，所述压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形。


2.根据权利要求1所述的线切机过线轮调节装置，其特征在于，所述横移滑块包括相对设置的第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块通过紧固件连接，所述第二滑块上设有所述螺纹孔以与所述紧固机构相连接。


3.根据权利要求2所述的线切机过线轮调节装置，其特征在于，所述压块上形成有径向定位部，所述径向定位部与所述第二滑块相配合，所述径向定位部用于对所述压块进行径向定位。


4.根据权利要求3所述的线切机过线轮调节装置，其特征在于，所述径向定位部设置在所述压块的下部，所述径向定位部形成为平台。


5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉虎，张顺，高稳，
申请(专利权)人：晶海洋半导体材料东海有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32