一种半导体精密件切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体精密件切割装置，包括电火花线切割机和过滤装置，所述电火花线切割机顶部固定有过滤装置，所述过滤装置由固定板、筛网、连接板、底座板和压紧装置构成，所述电火花线切割机顶部设有压紧装置，所述压紧装置顶部设有底座板，所述底座板与电火花线切割机通过压紧装置固定连接，所述底座板顶部固定有连接板，所述连接板顶部固定有固定板，所述固定板内部设有筛网，所述筛网内部设有多个通孔，此半导体精密件切割装置，使用过滤装置过滤电火花线切割机的冷却液内的杂质，提升冷却液清洁度，保证半导体加工质量，减小冷却液的更换成本，增大电火花线切割机中的冷却液循环泵的使用寿命。

A cutting device for semiconductor precision parts

【技术实现步骤摘要】
一种半导体精密件切割装置
本技术涉及半导体切割
，具体为一种半导体精密件切割装置。
技术介绍
半导体拥有高脆性和低断裂性，当其承受的载荷超过弹性极限时就会发生断裂，造成裂纹，因此不能直接使用传统的机械加工，半导体具有半导电形，因此使用电火花线切割机，电火花线切割机(WireElectricalDischargeMachining简称WEDM)，属电加工范畴，是由前苏联拉扎联科夫妇研究开关触点受火花放电腐蚀损坏的现象和原因时，发现电火花的瞬时高温可以使局部的金属熔化、氧化而被腐蚀掉，从而开创和专利技术了电火花加工方法。现有的电火花线切割机在加工半导体时，需要使用冷却液将切割部位冲洗并冷却，冷却液内部的杂质较多，需要及时更换，冷却液使用时间较短，冷却液成本耗费较大，而且冷却液杂质较多会直接导致冷却液循环泵超功率工作，降低冷却液循环泵得到使用寿命，而且杂质较多还会干扰电火花切割线对半导体的切割，直接影响半导体切割效果，为此，我们提出一种半导体精密件切割装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体精密件切割装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体精密件切割装置，包括电火花线切割机和过滤装置，所述电火花线切割机顶部固定有过滤装置，所述过滤装置由固定板、筛网、连接板、底座板和压紧装置构成，所述电火花线切割机顶部设有压紧装置，所述压紧装置顶部设有底座板，所述底座板与电火花线切割机通过压紧装置固定连接，所述底座板顶部固定有连接板，所述连接板顶部固定有固定板，所述固定板内部设有筛网，所述筛网内部设有多个通孔。优选的，所述底座板顶部固定有橡胶垫，所述橡胶垫顶部倒圆角。优选的，所述连接板中心部位内凹，所述连接板内部设有回形区域。优选的，所述压紧装置由压紧外壳、连接柱、吸盘和把手构成，所述底座板底部固定有压紧外壳，所述压紧外壳内部设有滑槽，所述滑槽内部设有连接柱，所述连接柱与滑槽滑动连接，所述压紧外壳一侧开设有转动槽，所述转动槽内部设有把手，所述把手与连接柱固定连接，所述把手与压紧外壳转动连接，所述连接柱底部固定有吸盘。优选的，所述把手外表面刻有防滑纹。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术使用过滤装置过滤电火花线切割机的冷却液内的杂质，提升冷却液清洁度，保证半导体加工质量，减小冷却液的更换成本，增大电火花线切割机中的冷却液循环泵的使用寿命。2、本技术在半导体材料加工完毕掉落时，固定板内冷却液提供第一重缓冲，橡胶垫提供第二重缓冲，保护半导体切割成品，通过压紧装置使过滤装置拆卸安装较为方便，把手外表面的防滑纹，便于压紧装置的使用。附图说明图1为本技术主视局部剖视图；图2为过滤装置局部剖视图；图3为图2中A区域放大图；图4为图2中B区域放大图。图中：1-电火花线切割机；2-过滤装置；3-固定板；4-筛网；5-连接板；6-底座板；7-回形区域；8-橡胶垫；9-通孔；10-压紧装置；11-压紧外壳；12-滑槽；13-连接柱；14-转动槽；15-吸盘；16-把手。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种半导体精密件切割装置，包括电火花线切割机1和过滤装置2，所述电火花线切割机1顶部固定有过滤装置2，所述过滤装置2由固定板3、筛网4、连接板5、底座板6和压紧装置10构成，所述电火花线切割机1顶部设有压紧装置10，所述压紧装置10顶部设有底座板6，所述底座板6与电火花线切割机1通过压紧装置10固定连接，所述底座板6顶部固定有连接板5，所述连接板5顶部固定有固定板3，所述固定板3内部设有筛网4，所述筛网4内部设有多个通孔9，使用过滤装置2过滤电火花线切割机1的冷却液内的杂质，压紧装置10固定过滤装置2，便于过滤装置2安装拆卸，便于过滤装置2的清洁，固定板3储存一部分冷却液，便于冷却液的沉淀。所述底座板6顶部固定有橡胶垫8，所述橡胶垫8顶部倒圆角，保护半导体切割材料，防止半导体切割材料摔坏。所述连接板5中心部位内凹，所述连接板5内部设有回形区域7，通过回形区域7便于冷却液的内部沉淀物的静置和收集，便于冷却液的过滤。在电火花线切割机1加工时，冷却液流经半导体材料，流至过滤装置2内，此时固定板3收集部分冷却液，多余冷却液从筛网4部位过滤后流出，冷却液内部的沉淀在经过连接板5的回形区域7时，沉淀下来，便于冷却液的澄清，便于加工完毕后过滤装置2直接清废，在半导体材料加工完毕掉落时，固定板3内冷却液提供第一重缓冲，橡胶垫8提供第二重缓冲，保护切割后半导体成品质量，保证冷却液清洁度，减小冷却液的更换成本，增大电火花线切割机1的冷却液循环泵的使用寿命。所述压紧装置10由压紧外壳11、连接柱13、吸盘15和把手16构成，所述底座板6底部固定有压紧外壳11，所述压紧外壳11内部设有滑槽12，所述滑槽12内部设有连接柱13，所述连接柱13与滑槽12滑动连接，所述压紧外壳11一侧开设有转动槽14，所述转动槽14内部设有把手16，所述把手16与连接柱13固定连接，所述把手16与压紧外壳11转动连接，所述连接柱13底部固定有吸盘15，通过吸盘15便于过滤装置2与电火花线切割机1的固定，拆卸安装较为方便。所述把手16外表面刻有防滑纹，便于压紧装置10的使用。在过滤装置2需要安装时，将压紧装置10的压紧外壳11平放在电火花线切割机1的工作台上，向上拉动把手16，把手16带动连接柱13下降，连接柱13压迫吸盘15，吸盘15将内部空气排出，吸盘15紧紧吸收工作台，固定完毕，在需要拆卸时，反向拉动把手16，把手16带动吸盘15松开，拆卸完毕，拆卸安装较为简便，便于过滤装置2的使用。本方案中，电火花线切割机1优选HE400D型号，本技术中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体精密件切割装置，包括电火花线切割机(1)和过滤装置(2)，其特征在于：所述电火花线切割机(1)顶部固定有过滤装置(2)，所述过滤装置(2)由固定板(3)、筛网(4)、连接板(5)、底座板(6)和压紧装置(10)构成，所述电火花线切割机(1)顶部设有压紧装置(10)，所述压紧装置(10)顶部设有底座板(6)，所述底座板(6)与电火花线切割机(1)通过压紧装置(10)固定连接，所述底座板(6)顶部固定有连接板(5)，所述连接板(5)顶部固定有固定板(3)，所述固定板(3)内部设有筛网(4)，所述筛网(4)内部设有多个通孔(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体精密件切割装置，包括电火花线切割机(1)和过滤装置(2)，其特征在于：所述电火花线切割机(1)顶部固定有过滤装置(2)，所述过滤装置(2)由固定板(3)、筛网(4)、连接板(5)、底座板(6)和压紧装置(10)构成，所述电火花线切割机(1)顶部设有压紧装置(10)，所述压紧装置(10)顶部设有底座板(6)，所述底座板(6)与电火花线切割机(1)通过压紧装置(10)固定连接，所述底座板(6)顶部固定有连接板(5)，所述连接板(5)顶部固定有固定板(3)，所述固定板(3)内部设有筛网(4)，所述筛网(4)内部设有多个通孔(9)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体精密件切割装置，其特征在于：所述底座板(6)顶部固定有橡胶垫(8)，所述橡胶垫(8)顶部倒圆角。


3.根据权利要求1所述的一种半导体精密件切...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀语，
申请(专利权)人：深圳市速博精微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44