光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法制造方法及图纸

提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。

Manufacturing methods of optical devices, projection optical systems, exposure devices and articles

【技术实现步骤摘要】
光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法
本专利技术涉及具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。
技术介绍
作为在液晶面板等显示元件、半导体器件等的制造工序(光刻工序)中使用的装置之一，存在一种曝光装置，该曝光装置将掩模的图案投影于基板上而曝光该基板。专利文献1公开了一种所谓反射镜型(镜投影型)的曝光装置，该曝光装置具有使用凸面镜、凹面镜等多个光学元件将掩模的图案像投影于基板上的投影光学系统。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-109741号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在投影光学系统中，为了调整像散等成像性能，优选设置调整光学元件(例如凸面镜)的位置的调整机构。然而，由于设置了调整机构，当受到干扰影响时的光学元件的振动变大时，可能难以高精度地将掩模的图案像投影于基板上。于是，本专利技术的目的在于提供一种在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。用于解决问题的方案为了达成上述目的，作为本专利技术的一个方面的光学装置具备调整光学元件的位置的调整机构，其特征在于，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。为了达成上述目的，作为本专利技术的一个方面的投影光学系统将掩模的图案像投影于基板上，其特征在于，所述投影光学系统包括：光学元件，具有光的反射面；以及光学装置，具备调整所述光学元件的位置的调整机构，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。为了达成上述目的，作为本专利技术的一个方面的曝光装置将基板曝光，其特征在于，所述曝光装置包括：照明光学系统，对掩模照明；以及投影光学系统，将所述掩模的图案像投影于所述基板上，所述投影光学系统包括：光学元件，具有光的反射面；以及光学装置，具备调整所述光学元件的位置的调整机构，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。为了达成上述目的，作为本专利技术的一个方面的物品的制造方法的特征在于，基于经过了使用曝光装置曝光基板的工序和使通过所述工序进行了曝光的所述基板显影的工序的所述基板来制造物品，所述曝光装置包括：照明光学系统，对掩模照明；以及投影光学系统，将所述掩模的图案像投影于所述基板上，所述投影光学系统包括：光学元件，具有光的反射面；以及光学装置，具备调整所述光学元件的位置的调整机构，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。以下，通过参照附图来说明的优选的实施方式，本专利技术的进一步的目的或者其他的方面将变得清楚。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种例如在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。附图说明图1为曝光装置的概略图。图2为示出调整机构的结构例的图。图3为示出调整机构的结构例的图。图4为示出第三调整部(第三引导部)的图。图5为用于说明调整凸面镜的位置的方法的图。图6为示出以往的调整机构与本实施方式的调整机构的比较的图。(附图标记说明)11：多面光学部件；12：凹面镜；13：凸面镜；14：光轴；16：支承部件；20：调整机构；21：第一引导部；22：第二引导部；23：第三引导部。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的优选实施方式进行说明。此外，在各图中，对相同部件或者要素附加相同的参照编号，并省略重复的说明。<第一实施方式>对本专利技术的第一实施方式进行说明。图1为本实施方式的包括投影光学系统PL的曝光装置10的概略图。本实施方式的曝光装置10一边使掩模M与基板S(例如玻璃基板)在Y方向上相对地移动，一边将形成于掩模M的图案的像投影于涂敷了光刻胶的基板S，而将基板S曝光。曝光装置10具有对掩模M照明的照明光学系统IL、将掩模M的图案投影于基板上的投影光学系统PL和控制部CNT。控制部CNT由例如包括CPU、存储器等的计算机构成，控制曝光装置10的各部分。投影光学系统PL可以由反射来自掩模M的光的多个光学元件构成。具体而言，投影光学系统PL可以包括：多面光学部件11，具有第一反射面11a以及第二反射面11b；凹面镜12，具有第一凹反射面12a以及第二凹反射面12b；以及凸面镜13，具有反射面13a。多面光学部件11、凹面镜12以及凸面镜13构成将掩模M(物面)的图案在基板S(像面)上成像的成像光学系统。凹面镜12以及凸面镜13的光轴14为共通的，在图1中以单点划线示出。另外，投影光学系统PL具有容纳这些光学元件的镜筒15。在此，在本实施方式中，将铅垂方向(例如与基板S的面垂直的方向)设为Z方向，将在水平面内(例如与基板S的面平行的面内)相互正交的2个方向设为X方向、Y方向。另外，本实施方式的Y方向被定义为与凸面镜13(凹面镜12)的光轴14平行的方向(光轴方向)。多面光学部件11例如是YZ剖面为三角形状或者梯形形状的部件，由包括第一反射面11a、第二反射面11b以及面11c的多个平面构成。在多面光学部件11的第一反射面11a、第二反射面11b形成反射膜，具有使入射光反射而弯曲光路的功能。另外，在本实施方式的多面光学部件11设置有贯通孔11d，支承凸面镜13的支承部件16贯通该贯通孔11d。从照明光学系统IL向-Z方向射出的光透过掩模M，在配置于掩模M的下方的多面光学部件11的第一反射面11a处向+Y方向弯曲。在多面光学部件11的第一反射面11a处被弯曲的光按照第一凹反射面12a、凸面镜13的反射面13a、第二凹反射面12b、第二反射面11b的顺序被反射，入射于基板S。即，在投影光学系统PL中，多面光学部件11、凹面镜12以及凸面镜13能够构成为使来自物面的光按照第一反射面11a、第一凹反射面12a、反射面13a、第二凹反射面12b、第二反射面11a的顺序被反射。凸面镜13能够被支承部件16支承。支承部件16为沿着凸面镜13的光轴14的方向(Y方向)延伸的部件，一个端部连接于投影光学系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学装置，具备调整光学元件的位置的调整机构，其特征在于，所述调整机构包括：/n第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；/n第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及/n第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。/n

【技术特征摘要】
20180723 JP 2018-1380131.一种光学装置，具备调整光学元件的位置的调整机构，其特征在于，所述调整机构包括：
第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；
第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及
第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。


2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
还包括支承部件，所述支承部件支承所述光学元件，
所述调整机构被设置于所述支承部件与所述光学元件之间。


3.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述第一引导部、所述第二引导部以及所述第三引导部沿着所述光学元件的光轴方向串联地排列。


4.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述面与所述第三方向之间的角度在0.6度以上且30度以下的范围内。


5.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述第一引导部、所述第二引导部以及所述第三引导部分别构成为一边维持所述光学元件的姿势一边引导所述光学元件的并进移动。


6.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述调整机构构成为能够通过由所述第一引导部引导的所述光学元件的移动来校正由所述第三引导部引导所述光学元件的移动时的所述第一方向的移动分量。


7.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述调整机构构成为能够通过由所述第二引导部引导的所述光学元件的移动来校正由所述第三引导部引导所述光学元件的移动时的所述第二方向的移动分量。


8.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述调整机构包括：第一驱动部，沿着所述第一引导部驱动所述光学元件；第二驱动部，沿着所述第二引导部驱动所述光学元件；以及第三驱动部，沿着所述第三引导部驱动所述光学元件，
所述光学装置还包括控制部，所述控制部基于所述光学装置的位置的目标调整量来控制所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述第三驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴田雄吾，远藤淳生，布施直人，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP