升降带、升降系统及空中运送系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种升降带、升降系统及空中运送系统，所述升降带包括：绝缘本体，沿第一方向延伸；多个电流变液腔，沿所述第一方向依序设置在所述绝缘本体内，所述电流变液腔内填充有电流变液；第一电极及第二电极，设置在所述电流变液腔的两相对内壁，且所述电流变液与所述第一电极及所述第二电极接触，改变所述第一电极及所述第二电极的通电状态以使所述电流变液在液态与固态之间转换。本实用新型专利技术的优点在于，将电流变液设置在升降带中，所述电流变液能够在液态与固态之间转换，在适当的时候能够增加所述升降带的强度，避免升降带振动，从而提高升降系统的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
升降带、升降系统及空中运送系统
本技术涉及物料搬运系统领域，尤其涉及一种升降带、升降系统及空中运送系统。
技术介绍
随着信息科技日新月异，集成电路在日常生活中扮演重要的角色，其需求相对也大幅提升，因此促进全球半导体市场的蓬勃发展。为了因应集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险，因此，自动物料搬运系统(AutomaticMaterialHandlingSystem；AMHS)已经广泛使用于半导体制造企业。空中运输系统(OHT；Overhead-Hoist-Transportation)是一种搬运物料(FOUP；FrontOpeningUnifiedPod)的系统，因其具有更大的空间自由度而经常被应用在自动物料搬运系统中。图1是现有的空中运输系统的示意图。请参阅图1，空中运输系统包括台车(Vehicle)10、卡盘(Chuck)12及升降带(Belt)13。所述卡盘12通过所述升降带13连接至所述台车10。所述台车10能够沿设置在空中的轨道移动，进而带动所述卡盘12移动。所述卡盘12带动物料20移动。图2A～图2C是采用图1所示的空中运输系统在机台设备上放置物料的过程示意图。请参阅图2A，所述卡盘12抓取物料20，所述台车10沿轨道移动，进而带动所述卡盘12抓取所述物料20移动至目标机台设备21上方。请参阅图2B，所述升降带13下降，进而带动所述盘12下降至设定高度，并将物料20放在机台设备21上。请参阅图2C，将所述物料20放置在所述机台设备21上后，所述升降带13上升，进而带动所述卡盘12上升至下降前的原始高度。至此，空中运输系统在机台设备上放置物料的过程结束。空中运输系统从所述机台设备21上取物料的过程与上述放置物料的过程类似，不再详述。所述卡盘12的上升及下降是由电机通过升降带13牵引实现的，所述升降带13在收缩与伸展的过程中伸出部分会受到气流的影响产生振动从而引起卡盘12产生振动。另外，电机在启动和停止的过程中也会造成卡盘12的振动。这些振动因素不利于所述卡盘12抓取物料及放置物料的准确定位，卡盘12会在准确定位这一过程浪费较多时间；同时，振动会限制所述卡盘12的升降加速度，这是由于卡盘12的升降加速度越快，则在卡盘起始动作时振动就会越大，越不利于卡盘12的定位。所述升降带13的振动形式主要为摆动振动(请参阅图2D)、简谐振动(请参阅图2E)及纵向振动(请参阅图2F)。在图2D、图2E及图2F中，采用实线绘示所述升降带13的初始位置，采用虚线示意性地绘示所述升降带13振动过程中的位置。其中，在图2F中，由于升降带13为纵向移动，其振动轨迹会被升降带13初始位置示意图覆盖，因此，为了清楚显示升降带13的位置，在右侧示意性绘示升降带13的示意图。从图2D、图2E及图2F可以看出，所述升降带13的三种振动形式均会引起升降带13与卡盘12连接端的振动，从而会导致所述卡盘12的振动，因此，如何避免所述升降带13的振动，成为亟需解决的技术问题。电流变液(ElectrorheologicalFluids，ERF)是指在外加高压电场作用下呈现出强烈电流变效应的流体，是一种流变特性随外加电场的变化而产生急剧变化的流体。电流变液在电场足够高和剪切应力恒定的情况下能够固化呈粘弹性固体，表现为宾汉流体特性(BinghamBehavior)；一旦撤除外加电场，流体又迅速恢复至液体状态，呈牛顿流体特性(Newtonbehavior)。电流变液一般由基础液、固体粒子和添加剂组成，其中添加剂能够防止固体粒子沉降。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种升降带、升降系统及空中运送系统，其能够在适当的时候能够增加所述升降带的强度，避免升降带振动，从而提高升降系统的稳定性。为了解决上述问题，本技术提供了一种升降带，其包括：绝缘本体，沿第一方向延伸；多个电流变液腔，沿所述第一方向依序设置在所述绝缘本体内，所述电流变液腔内填充有电流变液；第一电极及第二电极，设置在所述电流变液腔的两相对内壁，且所述电流变液与所述第一电极及所述第二电极接触，改变所述第一电极及所述第二电极的通电状态以使所述电流变液在液态与固态之间转换。进一步，所述绝缘本体包括第一层及第二层，所述第一层设置有多个凹槽，所述第一电极设置在所述凹槽底部，所述电流变液填充在所述凹槽内，所述第二层设置有所述第二电极，所述第一层与所述第二层贴合，所述电流变液与所述第一电极及所述第二电极接触。进一步，所述升降带还包括设置在所述绝缘本体内的第一连接线及第二连接线，所述第一连接线将所述第一电极与外部电源电连接，所述第二连接线将所述第二电极与外部电源电连接。进一步，所述升降带还包括设置在所述绝缘本体内的第一备用连接线及第二备用连接线，在所述第一连接线及所述第二连接线损坏时，所述第一备用连接线将所述第一电极与外部电源电连接，所述第二备用连接线将所述第二电极与外部电源电连接。进一步，在第二方向上，多个所述电流变液腔依序设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。本技术还提供一种采用上述的升降带升降系统，其包括：至少一固定转轴；至少一所述升降带，所述升降带的一端为承载端，所述承载端绕过所述固定转轴自第一位置朝向第二位置延伸；驱动装置，用于收放所述升降带，以使所述承载端在所述第一位置与所述第二位置之间移动；控制装置，与所述升降带电连接，用于向所述升降带位于所述第一位置及所述第二位置之间的区域施加电压，以使该区域的电流变液固化。进一步，所述升降带与所述转轴接触区域具有上界线及下界线，所述下界线为所述第一位置。进一步，当所述承载端位于所述第二位置时，所述控制装置也用于向所述升降带与所述转轴接触区域施加电压，以使该接触区域的电流变液固化。进一步，所述升降系统还包括长度检测装置，所述长度检测装置与所述驱动装置电连接，用于检测所述升降带伸出长度，并将信号传递给所述控制装置，所述控制装置根据该信号向所述升降带位于所述第一位置及所述第二位置之间的区域施加电压。进一步，所述升降系统还包括振动检测装置，所述振动检测装置设置在所述升降带上，以检测所述升降带的振动强度及振动方向，并将信号传递给所述控制装置，所述控制装置用于根据该信号改变施加在所述升降带上的电压。进一步，所述驱动装置为电机。本技术还提供一种空中运输系统，其包括如上所述的升降系统。本技术的优点在于，将电流变液设置在升降带中，所述电流变液能够在液态与固态之间转换，在适当的时候能够增加所述升降带的强度，避免升降带振动，从而提高升降系统的稳定性。附图说明图1是现有的空中运输系统的示意图；图2A～图2C是采用图1所示的空中运输系统在机台设备上放置物料的过程示意图；图2D～图2F为升降带的振动形式的示意图；图3是本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升降带，其特征在于，包括：/n绝缘本体，沿第一方向延伸；/n多个电流变液腔，沿所述第一方向依序设置在所述绝缘本体内，所述电流变液腔内填充有电流变液；/n第一电极及第二电极，设置在所述电流变液腔的两相对内壁，且所述电流变液与所述第一电极及所述第二电极接触，改变所述第一电极及所述第二电极的通电状态以使所述电流变液在液态与固态之间转换。/n

【技术特征摘要】
1.一种升降带，其特征在于，包括：
绝缘本体，沿第一方向延伸；
多个电流变液腔，沿所述第一方向依序设置在所述绝缘本体内，所述电流变液腔内填充有电流变液；
第一电极及第二电极，设置在所述电流变液腔的两相对内壁，且所述电流变液与所述第一电极及所述第二电极接触，改变所述第一电极及所述第二电极的通电状态以使所述电流变液在液态与固态之间转换。


2.根据权利要求1所述的升降带，其特征在于，所述绝缘本体包括第一层及第二层，所述第一层设置有多个凹槽，所述第一电极设置在所述凹槽底部，所述电流变液填充在所述凹槽内，所述第二层设置有所述第二电极，所述第一层与所述第二层贴合，所述电流变液与所述第一电极及所述第二电极接触。


3.根据权利要求1或2所述的升降带，其特征在于，所述升降带还包括设置在所述绝缘本体内的第一连接线及第二连接线，所述第一连接线将所述第一电极与外部电源电连接，所述第二连接线将所述第二电极与外部电源电连接。


4.根据权利要求3所述的升降带，其特征在于，所述升降带还包括设置在所述绝缘本体内的第一备用连接线及第二备用连接线，在所述第一连接线及所述第二连接线损坏时，所述第一备用连接线将所述第一电极与外部电源电连接，所述第二备用连接线将所述第二电极与外部电源电连接。


5.根据权利要求1所述的升降带，其特征在于，在第二方向上，多个所述电流变液腔依序设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。


6.一种采用权利要求1～5任意一项所述的升降带升降系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈天柱，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34