一种应用于管式退火炉上的双真空系统技术方案

本实用新型专利技术公布了一种应用于管式退火炉上的双真空系统，包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。本实用新型专利技术设计合理，使用左真空系统和右真空系统的组合，配合反应腔，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于管式退火炉上的双真空系统
本技术涉及管式退火炉领域，更具体地说，属于一种应用于管式退火炉上的双真空系统。
技术介绍
磁性材料、半导体材料的扩散薄膜工艺过程是在负压状态下进行的，真空烧结退火炉设置有真空机组，用于对反应腔抽真空，满足负压或负压恒压的工作环境。目前国内厂家生产的同类产品中，只有一套真空系统，对于细长的管式退火炉反应腔来说，抽气速度慢且极限真空不好，需要很长的时间才能达到需要的负压压力条件，使整个工艺时间很长，设备运行成本增加。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供了一种应用于管式退火炉上的双真空系统，设计合理，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率，是工艺腔更快达到所需要的负压压力工艺条件，同时，在工艺所需负压压力条件达到后又可以单独使用其中任意一套真空系统，降低能耗，设备运行生产的成本更低。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔；其特征在于：包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。作为一种优化的技术方案，所述左真空系统包括安装在管式退火炉上的左机组支架组件、左高真空阀、左扩散泵、左系统阀、左预抽阀、左充气阀、左罗茨泵、左机械泵、左电磁充气阀；其中左机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；左真空系统的前端连通左高真空阀，左高真空阀两端分别连通左扩散泵、左预抽阀；左扩散泵另一端连接左系统阀；左预抽阀与左系统阀另一端的管路通过三通并联左罗茨泵，在并联的管路上装有左充气阀；左罗茨泵的另一端连接左电磁充气阀；左电磁充气阀另一端连接左机械泵。作为一种优化的技术方案，所述右真空系统包括安装在管式退火炉上的右机组支架组件、右高真空阀、右扩散泵、右系统阀、右预抽阀、右充气阀、右罗茨泵、右机械泵、右电磁充气阀；其中右机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；右真空系统的前端连通右高真空阀，右高真空阀两端分别连通右扩散泵、右预抽阀；右扩散泵另一端连接右系统阀；右预抽阀与右系统阀另一端的管路通过三通并联右罗茨泵，在并联的管路上装有右充气阀；右罗茨泵的另一端连接右电磁充气阀；右电磁充气阀另一端连接右机械泵。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本技术设计合理，使用左真空系统和右真空系统的组合，配合反应腔，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率，是工艺腔更快达到所需要的负压压力工艺条件，同时，在工艺所需负压压力条件达到后又可以单独使用其中任意一套真空系统，降低能耗，设备运行生产的成本更低。参照附图和实施例对本技术做进一步说明。附图说明图1为本技术一种实施例中的管式退火炉主视结构示意图；图2为本技术一种实施例中的左真空系统结构示意图；图3为本技术一种实施例中的右真空系统结构示意图；图4为本技术一种实施例中的原理示意图。具体实施方式实施例如图1-4所示，一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔1。双真空系统包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统。反应腔1分别通过管路连通左真空系统和右真空系统。反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规14和左电离15。反应腔1与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规16、右电离规17和右压力表23。具体的设计是：所述左真空系统包括安装在管式退火炉上的左机组支架组件4、左高真空阀5、左扩散泵6、左系统阀7、左预抽阀8、左充气阀9、左罗茨泵10、左机械泵11和左电磁充气阀12。其中左机组支架组件4固定在地面支撑固定机组用。左真空系统的前端连通左高真空阀5，左高真空阀5两端分别连通左扩散泵6、左预抽阀8。左扩散泵6另一端连接左系统阀9。左预抽阀8与左系统阀7另一端的管路通过三通并联左罗茨泵10，在并联的管路上装有左充气阀。左罗茨泵10的另一端连接左电磁充气阀12。左电磁充气阀12另一端连接左机械泵11。所述右真空系统包括安装在管式退火炉上的右机组支架组件16、右高真空阀17、右扩散泵18、右系统阀19、右预抽阀20、右充气阀21、右罗茨泵22、右机械泵24、右电磁充气阀25。其中右机组支架组件16固定在地面支撑固定机组用。右真空系统的前端连通右高真空阀17，右高真空阀17两端分别连通右扩散泵18、右预抽阀20。右扩散泵18另一端连接右系统阀19。右预抽阀20与右系统阀19另一端的管路通过三通并联右罗茨泵22，在并联的管路上装有右充气阀21。右罗茨泵22的另一端连接右电磁充气阀25。右电磁充气阀25另一端连接右机械泵24。本技术设计合理，使用左真空系统和右真空系统的组合，配合反应腔，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率，是工艺腔更快达到所需要的负压压力工艺条件，同时，在工艺所需负压压力条件达到后又可以单独使用其中任意一套真空系统，降低能耗，设备运行生产的成本更低。本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔；其特征在于：包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；/n反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔；其特征在于：包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；
反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。


2.根据权利要求1所述的一种应用于管式退火炉上的双真空系统，其特征在于：所述左真空系统包括安装在管式退火炉上的左机组支架组件、左高真空阀、左扩散泵、左系统阀、左预抽阀、左充气阀、左罗茨泵、左机械泵、左电磁充气阀；
其中左机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；左真空系统的前端连通左高真空阀，左高真空阀两端分别连通左扩散...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛华旗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37