一种回转式电动变距元件巨量转移装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及转移装置技术领域，具体涉及一种回转式电动变距元件巨量转移装置，包括支撑底板以及支撑顶板；所述支撑底板设有凸轮分割器；所述支撑底板与支撑顶板之间设有回转机构；所述回转底板的顶部设有第一静电吸附板；所述回转顶板的底部设有第二静电吸附板；所述回转底板与回转顶板之间设有变距抓取机构；所述支撑底板与支撑顶板之间设有翻转机构以及升降机构。本发明专利技术升降机构采用电机丝杆驱动，移动精度高，响应速度快，丝杆的自锁特性也保证了断电时升降变距抓取机构不会因重力作用而下坠损坏产品；变距和抓料均采用电磁驱动，响应速度快，便于控制；推杆的应用减少了电磁铁数量，从而降低了制造成本和控制难度。

A huge transfer device of rotary electric variable distance element

【技术实现步骤摘要】
一种回转式电动变距元件巨量转移装置
技术介绍
在目前的微电子产品生产领域，有许多场合涉及到微小电子元件的转移阵列，由于电子元件的尺寸普遍较小，数量较多，导致在现有技术条件下，电子元件的巨量转移阵列已经成为微电子制造领域的瓶颈，极大的限制了行业发展。目前已有的公知元件巨量转移技术只能解决元件的等距阵列排布，对于元件在晶片和目标基板上的间距不一致的情况无法完成放置，需要单独制作放置的定位中间模具，且存在极大概率的元件错放和漏放情况，极大地降低了产品合格率。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种回转式电动变距元件巨量转移装置。本专利技术的目的通过以下技术方案实现：一种回转式电动变距元件巨量转移装置，包括支撑底板以及与支撑底板连接的支撑顶板；所述支撑底板设有凸轮分割器；所述支撑底板与支撑顶板之间设有回转机构；所述回转机构包括回转底板以及与回转底板连接的回转顶板；所述回转底板与凸轮分割器的输出端连接；所述回转底板的顶部设有用于放置目标基板的第一静电吸附板；所述回转顶板的底部设有用于放置元件晶圆片的第二静电吸附板；所述回转底板与回转顶板之间设有变距抓取机构；所述支撑底板与支撑顶板之间设有用于使变距抓取机构进行翻转的翻转机构；所述支撑底板与支撑顶板之间设有用于升降变距抓取机构的升降机构。本专利技术进一步设置为，所述第一静电吸附板以及第二静电吸附板的数量均为六个；六个第一静电吸附板等间距设于回转底板的顶部；六个第二静电吸附板等间距设于回转顶板的底部。本专利技术进一步设置为，所述变距抓取机构包括第一抓取结构；所述第一抓取结构包括固定架、设于固定架一端的压电微动片以及设于固定架另一端的固定边框；所述固定边框设有纵向变距单元、横向变距单元以及多个静电抓取头；所述横向变距单元用于调节静电抓取头的横向间距；所述纵向变距单元用于调节静电抓取头的纵向间距。本专利技术进一步设置为，所述翻转机构包括翻转支架、设于翻转支架的翻转电机以及与翻转电机输出端连接翻转板；所述压电微动片与翻转板连接。本专利技术进一步设置为，所述变距抓取机构还包括与第一抓取结构对称设置的第二抓取结构；所述第一抓取结构的压电微动片与第二抓取结构的压电微动片分别设于翻转板的两侧。本专利技术进一步设置为，所述升降机构包括设于支撑底板与支撑顶板之间的底座、设于底座上的滑轨、与滑轨滑动连接的轨道滑块、设于底座的电机、与电机输出端连接的丝杠以及套设于丝杠的螺母；所述螺母以及轨道滑块分别与翻转支架连接。本专利技术进一步设置为，所述纵向变距单元包括与固定边框连接的纵向支撑架、与纵向支撑架活动连接的纵向推杆、用于吸附纵向推杆的纵向电磁铁、设于纵向支撑架的纵向轨道、滑动设于纵向轨道的纵向滑块、设于纵向轨道的纵向固定部以及设于纵向滑块与纵向固定部之间的第一纵向弹簧；所述纵向电磁铁与纵向推杆之间设有第二纵向弹簧；所述纵向推杆设有纵向弧形面；所述纵向滑块设有与纵向弧形面抵靠的纵向斜面；所述纵向滑块与横向变距单元连接。本专利技术进一步设置为，所述横向变距单元包括与纵向滑块连接的横向支撑架、与横向支撑架活动连接的横向推杆、用于吸附横向推杆的横向电磁铁、设于横向支撑架的横向轨道、滑动设于横向轨道的横向滑块、设于横向轨道的横向固定部以及设于横向滑块与横向固定部之间的第一横向弹簧；所述横向电磁铁与横向推杆之间设有第二横向弹簧；所述横向推杆设有横向弧形面；所述横向滑块设有与横向弧形面抵靠的横向斜面；所述静电抓取头设于横向滑块上。本专利技术的有益效果：1.升降机构采用电机丝杆驱动，移动精度高，响应速度快，丝杆的自锁特性也保证了断电时升降变距抓取机构不会因重力作用而下坠损坏产品；2.变距和抓料均采用电磁驱动，响应速度快，便于控制；3.推杆的应用减少了电磁铁数量，从而降低了制造成本和控制难度。附图说利用附图对专利技术作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本专利技术的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术另一视角的结构示意图；图3是本专利技术升降机构、翻转机构以及变距抓取机构配合的结构示意图；图4是本专利技术变距抓取机构的结构示意图；图5是本专利技术横向变距单元的结构示意图；图6是本专利技术纵向变距单元的结构示意图；其中：11-支撑底板；12-支撑顶板；13-凸轮分割器；21-回转底板；22-回转顶板；23-第一静电吸附板；24-第二静电吸附板；3-固定架；31-压电微动片；32-固定边框；33-纵向变距单元；34-横向变距单元；35-静电抓取头；4-翻转支架；41-翻转电机；42-翻转板；5-底座；51-滑轨；52-轨道滑块；53-电机；54-丝杠；55-螺母；6-纵向支撑架；61-纵向推杆；62-纵向电磁铁；63-纵向轨道；64-纵向滑块；65-第一纵向弹簧；66-纵向弧形面；67-纵向斜面；68-纵向固定部；7-横向支撑架；71-横向推杆；72-横向电磁铁；73-横向轨道；74-横向滑块；75-横向固定部；76-第一横向弹簧；77-第二横向弹簧；78-横向弧形面；79-横向斜面。具体实施方式结合以下实施例对本专利技术作进一步描述。由图1至图6可知，本实施例所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，包括支撑底板11以及与支撑底板11连接的支撑顶板12；所述支撑底板11设有凸轮分割器13；所述支撑底板11与支撑顶板12之间设有回转机构；所述回转机构包括回转底板21以及与回转底板21连接的回转顶板22；所述回转底板21与凸轮分割器13的输出端连接；所述回转底板21的顶部设有用于放置目标基板的第一静电吸附板23；所述回转顶板22的底部设有用于放置元件晶圆片的第二静电吸附板24；所述回转底板21与回转顶板22之间设有变距抓取机构；所述支撑底板11与支撑顶板12之间设有用于使变距抓取机构进行翻转的翻转机构；所述支撑底板11与支撑顶板12之间设有用于升降变距抓取机构的升降机构。本实施例所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，所述变距抓取机构包括第一抓取结构；所述第一抓取结构包括固定架3、设于固定架3一端的压电微动片31以及设于固定架3另一端的固定边框32；所述固定边框32设有纵向变距单元33、横向变距单元34以及多个静电抓取头35；所述横向变距单元34用于调节静电抓取头35的横向间距；所述纵向变距单元33用于调节静电抓取头35的纵向间距。具体地，本实施所述的回转式电动变距元件巨量转移装置，回转机构固定于凸轮分割器13的转轴上，可在圆周上作六等分旋转运动。元件晶片和目标基板分别通过第二静电吸附板24以及第一静电吸附板23固定在回转机构的工位上，变距抓取机构由升降机构带动可在垂直方向上作高速高精度移动，变距抓取机构通过翻转机构旋转实现元件的抓取和变向。工作时，变距抓取机构在升降机构的带动下上移至第二静电吸附板24并且静电抓取头35离元件晶片0.3mm处，压电微动片31通电使静电抓取头35接触元件晶片上的元件并对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：（11）其特征在于：包括支撑底板（11）以及与支撑底板（11）连接的支撑顶板（12）；所述支撑底板（11）设有凸轮分割器（13）；所述支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间设有回转机构；所述回转机构包括回转底板（21）以及与回转底板（21）连接的回转顶板（22）；所述回转底板（21）与凸轮分割器（13）的输出端连接；所述回转底板（21）的顶部设有用于放置目标基板的第一静电吸附板（23）；所述回转顶板（22）的底部设有用于放置元件晶圆片的第二静电吸附板（24）；/n所述回转底板（21）与回转顶板（22）之间设有变距抓取机构；所述支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间设有用于使变距抓取机构进行翻转的翻转机构；所述支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间设有用于升降变距抓取机构的升降机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：（11）其特征在于：包括支撑底板（11）以及与支撑底板（11）连接的支撑顶板（12）；所述支撑底板（11）设有凸轮分割器（13）；所述支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间设有回转机构；所述回转机构包括回转底板（21）以及与回转底板（21）连接的回转顶板（22）；所述回转底板（21）与凸轮分割器（13）的输出端连接；所述回转底板（21）的顶部设有用于放置目标基板的第一静电吸附板（23）；所述回转顶板（22）的底部设有用于放置元件晶圆片的第二静电吸附板（24）；
所述回转底板（21）与回转顶板（22）之间设有变距抓取机构；所述支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间设有用于使变距抓取机构进行翻转的翻转机构；所述支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间设有用于升降变距抓取机构的升降机构。


2.根据权利要求1所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：所述第一静电吸附板（23）以及第二静电吸附板（24）的数量均为六个；六个第一静电吸附板（23）等间距设于回转底板（21）的顶部；六个第二静电吸附板（24）等间距设于回转顶板（22）的底部。


3.根据权利要求1所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：所述变距抓取机构包括第一抓取结构；所述第一抓取结构包括固定架（3）、设于固定架（3）一端的压电微动片（31）以及设于固定架（3）另一端的固定边框（32）；所述固定边框（32）设有纵向变距单元（33）、横向变距单元（34）以及多个静电抓取头（35）；所述横向变距单元（34）用于调节静电抓取头（35）的横向间距；所述纵向变距单元（33）用于调节静电抓取头（35）的纵向间距。


4.根据权利要求3所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：所述翻转机构包括翻转支架（4）、设于翻转支架（4）的翻转电机（53）（41）以及与翻转电机（53）（41）输出端连接翻转板（42）；所述压电微动片（31）与翻转板（42）连接。


5.根据权利要求4所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：所述变距抓取机构还包括与第一抓取结构对称设置的第二抓取结构；所述第一抓取结构的压电微动片（31）与第二抓取结构的压电微动片（31）分别设于翻转板（42）的两侧。


6.根据权利要求4所述的一种回转式电动变距元件巨量转移装置，其特征在于：所述升降机构包括设于支撑底板（11）与支撑顶板（12）之间的底座（5）、设于底座（5）上的滑轨（51）、与滑轨（51...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海军，
申请(专利权)人：荆门禾硕精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42