防尘结构及其制作方法技术

本发明专利技术公开一种防尘结构及其制作方法、防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本发明专利技术技术方案旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。

Dustproof structure and its making method

【技术实现步骤摘要】
防尘结构及其制作方法
本专利技术涉及传感器
，特别涉及一种防尘结构及其制作方法。
技术介绍
开放式传感器(例如麦克风传感器、温湿度计等等)的传感器核心需要与外界环境相连通，才能够感知周围环境的变化。而为了便于传感器的核心与外部环境连通，一般会设置连通孔。当传感器的核心与外界环境相通时，环境的异物(如粉尘、脏污等固态污染物，水雾等液态污染物)容易通过连通孔进入传感器内部，干扰传感器检测灵敏度和测量的准确度。示例性技术中，通过在连通孔设置防尘结构，从而防止外部异物进入。但是由于传感器还需要与外部环境连通，一般的防尘结构仅具有防尘功能，并不能兼顾被防尘部件与外部环境的连通，如此，降低了传感器检测灵敏度和测量的准确度。以上仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认为现有技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提供一种防尘结构及其制作方法，旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。为实现上述目的，本专利技术提供一种的防尘结构的制作方法，防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。在本专利技术的一些实施例中，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔的步骤包括：在金属层表面涂布光阻；对光阻进行曝光和显影，得到具有防尘网孔的预设尺寸的光阻；对附着所述光阻的金属层进行蚀刻，并去除光阻，得到设置于金属层的多个防尘网孔。在本专利技术的一些实施例中，所述在金属层的表面涂布光阻的步骤包括：通过旋涂法将光阻涂布于所述金属层；对所述光阻进行真空干燥，并去除金属层边缘的光阻；对所述光阻进行烘烤；对烘烤完成的光阻进行冷却。在本专利技术的一些实施例中，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部的步骤之后，所述将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离的步骤之前还包括：在金属层形成环绕防尘部的第一切缝；在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部；在支撑部背离金属层的一侧设置安置板。在本专利技术的一些实施例中，所述在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部的步骤包括：在金属层的表面涂布感光材料；对感光材料进行显影和刻蚀，以使感光材料形成显露防尘部的开孔，并形成显露第一切缝的第二切缝，得到支撑部。在本专利技术的一些实施例中，所述在支撑部背离金属层的一侧设置安置板的步骤包括：提供安置板，并在安置板的一表面涂布胶水；控制涂布胶水的安置板的表面贴合于支撑部背离金属层的表面。在本专利技术的一些实施例中，所述将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离的步骤包括：对所述离型膜和所述金属层相贴合的表面进行去除黏性的处理；控制形成防尘部的金属层与失去黏性的离型膜分离。在本专利技术的一些实施例中，所述控制形成防尘部的金属层与失去黏性的离型膜分离的步骤之后，还包括：当金属层设置有第一切缝，支撑部设置有第二切缝时，防尘结构设置有安置板时，控制切割装置沿所述第一切缝和所述第二切缝的延伸路径切割所述安置板。在本专利技术的一些实施例中，所述金属层的厚度小于2um；和/或，所述防尘网孔的孔径小于3um。本专利技术还提出一种防尘结构，所述防尘结构由上述防尘结构的制作方法制作，所述防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本专利技术的技术方案通过在基板的一表面设置离型膜，并在离型膜背离所述基板的表面沉积形成金属层，进而通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部，再将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离，从而形成具有防尘部的防尘结构，在需要使用时，将防尘结构安置于传感器的连通孔，并使防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，使得外界环境中的固态异物或者液态异物不能从连通孔进入传感器内部，而传感器壳体内的感测单元仍可以通过防尘网孔的中空部分，感测外部环境的变换，保证了传感器检测灵敏度和测量的准确度。如此，本专利技术的技术方案可以使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本专利技术防尘结构的制作方法未将基板、离型膜、金属层、支撑部和安置板分离状态下一实施例的结构示意图；图2为本专利技术防尘结构的制作方法基板、离型膜、金属层、支撑部和安置板旋转180°，并处于分离状态下一实施例的示意图；图3为本专利技术防尘结构一实施例的俯视图；图4为本专利技术防尘结构安装于传感器一实施例俯视图；图5为本专利技术防尘结构的制作方法一实施例的流程步骤图；图6为本专利技术防尘结构的制作方法又一实施例的流程步骤图；图7为本专利技术防尘结构的制作方法又一实施例的流程步骤图；图8为本专利技术防尘结构的制作方法又一实施例的流程步骤图；图9为本专利技术防尘结构的制作方法又一实施例的流程步骤图；图10为本专利技术防尘结构的制作方法又一实施例的流程步骤图；图11为本专利技术防尘结构的制作方法又一实施例的流程步骤图。附图标号说明：标号名称标号名称1000传感器1031第一切缝100防尘结构104支撑部10防尘部1041开孔11防尘网孔1042第二切缝20固定部105安置板101基板200壳体102离型膜210连通孔103金属层300感测单元...

【技术保护点】
1.一种防尘结构的制作方法，防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，其特征在于，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：/n提供基板，在基板的一表面设置离型膜；/n在离型膜的表面沉积形成金属层；/n通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；/n将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。/n

【技术特征摘要】
1.一种防尘结构的制作方法，防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，其特征在于，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：
提供基板，在基板的一表面设置离型膜；
在离型膜的表面沉积形成金属层；
通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；
将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。


2.如权利要求1所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔的步骤包括：
在金属层表面涂布光阻；
对光阻进行曝光和显影，得到具有防尘网孔的预设尺寸的光阻；
对附着所述光阻的金属层进行蚀刻，并去除光阻，得到设置于金属层的多个防尘网孔。


3.如权利要求2所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述在金属层的表面涂布光阻的步骤包括：
通过旋涂法将光阻涂布于所述金属层；
对所述光阻进行真空干燥，并去除金属层边缘的光阻；
对所述光阻进行烘烤；
对烘烤完成的光阻进行冷却。


4.如权利要求1所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部的步骤之后，所述将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离的步骤之前还包括：
在金属层形成环绕防尘部的第一切缝；
在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部；
在支撑部背离金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，
申请(专利权)人：青岛歌尔微电子研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37