一种靶材清理装置及磁控溅射系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种靶材清理装置及磁控溅射系统，应用于磁控溅射的真空腔内，所述真空腔内设有用于传送待镀芯片的传送组件，包括固定板和与所述固定板的第一表面连接的清理组件；所述固定板的第二表面与所述传送组件可拆卸连接。所述靶材清理装置被所述传送组件传送出所述真空腔，所述靶材清理装置进出所述真空腔的过程如待镀芯片的方式一致，因此不会破坏所述真空腔的真空环境，且清理过程同样不会破坏所述真空腔的真空环境，避免了清理所述AZO靶材时对真空腔的真空破坏和真空环境的反复制作，提高了生产效率，降低了成本投入。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材清理装置及磁控溅射系统
本技术涉及磁控溅射镀膜
，尤其涉及一种靶材清理装置及磁控溅射系统。
技术介绍
目前针对不可再生能源的紧缺，人们正在积极寻求各种可再生能源加以替代。这些可再生能源中尤以太阳能为最优，太阳能取之不尽、用之不竭，近年来针对太阳能的利用发展势头很好，也取得了相当大的进展。太阳能的利用方式中，最典型的莫过于太阳能发电，用于太阳能发电的太阳能电池多为膜状结构，这些膜需要针对其特点进行分层的镀制。镀膜的方式很多，其中PVD(物理气相沉积)磁控溅射镀膜是一种发展很好，且所镀膜的性能和稳定性也较好的镀膜方式。但是其也存在一些亟待解决的缺陷，例如在沉积AZO(铝掺杂的氧化锌透明导电玻璃)的过程中会产生灰尘颗粒，这些灰尘会吸附于所述AZO靶材上，这会影响后续的AZO溅射镀膜所镀出的膜的质量，产品会出现脱模现象，这种情况现在只能通过将所述AZO靶材取出真空腔进行清理，这一过程不但会破坏原有真空环境，重新安装后还需要再一次制作真空，且耗时较长，这既降低了生产效率，又增加了成本投入。因此，需要提供一种靶材清理装置及磁控溅射系统来解决现有技术的不足。
技术实现思路
为了解决现有技术中的问题，本技术提供了一种靶材清理装置及磁控溅射系统，由于靶材清理装置可与所述组件可拆卸连接，因此当所述AZO靶材上有灰尘吸附，影响所述镀膜质量时，可将所述靶材清理装置在所述真空腔外的传送组件部分进行连接，就像在所述传送组件安装待镀芯片一样，所述传送组件像传送待镀芯片一样将所述靶材清理装置传送至所述真空腔内，之后随着传送组件的传送，所述靶材清理装置的清理组件会与所述AZO靶材进行接触，接触的同时，所述清理组件会对所述AZO靶材的灰尘进行清理，之后所述靶材清理装置被所述传送组件传送出所述真空腔，上述靶材清理装置进出所述真空腔的过程如待镀芯片的方式一致，因此不会破坏所述真空腔的真空环境，且清理过程同样不会破坏所述真空腔的真空环境，避免了清理所述AZO靶材时对真空腔的真空破坏和真空环境的反复制作，提高了生产效率，降低了成本投入。一种靶材清理装置，应用于磁控溅射的真空腔内，所述真空腔内设有用于传送待镀芯片的传送组件，包括固定板和与所述固定板的第一表面连接的清理组件；所述固定板的第二表面与所述传送组件可拆卸连接。进一步的，所述传送组件上设有用于固定待镀芯片的传送座，所述固定板的第二表面与所述传送座可拆卸连接。进一步的，所述清理组件包括至少一个清理刷。进一步的，所述清理刷包括固毛端和与所述固毛端连接的刷毛；所述固毛端与所述固定板的第一表面连接，所述刷毛设于所述固毛端远离所述固定板的一侧。进一步的，所述固毛端与所述固定板的第一表面通过与所述第一表面垂直的弹簧连接。进一步的，所述清理刷呈直线状，相邻的两个所述清理刷平行设置。进一步的，所述固定板呈长方形状，所述清理刷与所述固定板的长边平行，所述清理刷与所述固定板的长边平行的方向的长度与所述固定板的长边长度相等。进一步的，所述清理组件包括第一清理刷和第二清理刷；所述第一清理刷的刷毛为尼龙材质，第二清理刷的刷毛为动物鬃毛。进一步的，所述固定板与所述传送组件连接时，所述清理刷与所述传送组件的传送方向垂直；所述固定板与所述传送组件连接时，所述第二清理刷和所述第一清理刷依次沿所述传送组件的传送方向设置。基于同一专利技术思路，本专利技术还提供了一种磁控溅射系统，包括所述的靶材清理装置。本技术的技术方案与最接近的现有技术相比具有如下优点：本技术提供的靶材清理装置，由于其与所述组件可拆卸连接，因此当所述AZO靶材上有灰尘吸附，影响所述镀膜质量时，可将所述靶材清理装置在所述真空腔外的传送组件部分进行连接，就像在所述传送组件安装待镀芯片一样，所述传送组件像传送待镀芯片一样将所述靶材清理装置传送至所述真空腔内，之后随着传送组件的传送，所述靶材清理装置的清理组件会与所述AZO靶材进行接触，接触的同时，所述清理组件会对所述AZO靶材的灰尘进行清理，之后所述靶材清理装置被所述传送组件传送出所述真空腔，上述靶材清理装置进出所述真空腔的过程如待镀芯片的方式一致，因此不会破坏所述真空腔的真空环境，且清理过程同样不会破坏所述真空腔的真空环境，避免了清理所述AZO靶材时对真空腔的真空破坏和真空环境的反复制作，提高了生产效率，降低了成本投入。附图说明图1是本技术提供的靶材清理装置的俯视图；图2是本技术提供的靶材清理装置的正视图；图3是本技术提供的靶材清理装置的侧视图；图4是本技术提供的靶材清理装置工作时的示意图。其中，1-固定板；2-第一清理刷；3-第二清理刷；4-弹簧；5-AZO靶材。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1至3所示，本技术提供了一种靶材清理装置，应用于磁控溅射的真空腔内，所述真空腔内设有用于传送待镀芯片的传送组件，包括固定板1和与所述固定板1的第一表面连接的清理组件；所述固定板1的第二表面与所述传送组件可拆卸连接，本技术的靶材清理装置可用于PVD磁控溅射的真空腔内，即为一种PVD靶材清理装置。由于其与所述组件可拆卸连接，因此当所述AZO靶材5上有灰尘吸附，影响所述镀膜质量时，可将所述靶材清理装置在所述真空腔外的传送组件部分进行连接，就像在所述传送组件安装待镀芯片一样，所述传送组件像传送待镀芯片一样将所述靶材清理装置传送至所述真空腔内，之后随着传送组件的传送，所述靶材清理装置的清理组件会与所述AZO靶材5进行接触，接触的同时，所述清理组件会对所述AZO靶材5的灰尘进行清理，之后所述靶材清理装置被所述传送组件传送出所述真空腔，上述靶材清理装置进出所述真空腔的过程如待镀芯片的方式一致，因此不会破坏所述真空腔的真空环境，且清理过程同样不会破坏所述真空腔的真空环境，避免了清理所述AZO靶材5时对真空腔的真空破坏和真空环境的反复制作，提高了生产效率，降低了成本投入。在本专利技术的一些实施例中，所述传送组件上设有用于固定待镀芯片的传送座，所述固定板1的第二表面与所述传送座可拆卸连接。所述靶材清理装置的设计初衷是通过让其像所述待镀芯片一样随传送组件进出所述真空腔，在真空腔内对所述AZO靶材5进行清理，从而可以不破坏真空环境即完成对所述AZO靶材5的清理工作。因此需要将其与所述传送座能够可拆卸连接，从而在安装座上用所述靶材清理装置代替所述待镀芯片，进而完成上述专利技术目的，取得预期的专利技术效果。在本专利技术的一些实施例中，所述清理组件包括至少一个清理刷。所述清理组件应该能够在随所述传动组件传送过程中完本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材清理装置，应用于磁控溅射的真空腔内，所述真空腔内设有用于传送待镀芯片的传送组件，其特征在于，包括固定板(1)和与所述固定板(1)的第一表面连接的清理组件；所述固定板(1)的第二表面与所述传送组件可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材清理装置，应用于磁控溅射的真空腔内，所述真空腔内设有用于传送待镀芯片的传送组件，其特征在于，包括固定板(1)和与所述固定板(1)的第一表面连接的清理组件；所述固定板(1)的第二表面与所述传送组件可拆卸连接。


2.根据权利要求1所述的一种靶材清理装置，其特征在于，所述传送组件上设有用于固定待镀芯片的传送座，所述固定板(1)的第二表面与所述传送座可拆卸连接。


3.根据权利要求1所述的一种靶材清理装置，其特征在于，所述清理组件包括至少一个清理刷。


4.根据权利要求3所述的一种靶材清理装置，其特征在于，所述清理刷包括固毛端和与所述固毛端连接的刷毛；所述固毛端与所述固定板(1)的第一表面连接，所述刷毛设于所述固毛端远离所述固定板(1)的一侧。


5.根据权利要求4所述的一种靶材清理装置，其特征在于，所述固毛端与所述固定板(1)的第一表面通过与所述第一表面垂直的弹簧(4)连接。


6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：董志良，
申请(专利权)人：山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37