气压式研磨液供给系统技术方案

本实用新型专利技术涉及机械研磨领域，具体而言，涉及一种气压式研磨液供给系统，其包括支撑架、喷洒装置、传动装置以及供液装置；喷洒装置包括存储箱、安装在存储箱上部的进液管以及安装在存储箱底部的若干喷嘴；传动装置包括驱动电机、与驱动电机连接的主动齿轮以及与主动齿轮配合的从动齿轮供液装置包括储液罐、端部伸入到储液罐内部的输液管以及与储液罐连通的气管；该新型所涉及的气压式研磨液供给系统解决了现有技术中供液零部件磨损严重，研磨液的液量不足且渗漏严重，研磨液喷洒范围有限，喷洒不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】
气压式研磨液供给系统
本技术涉及机械研磨领域，具体而言，涉及一种气压式研磨液供给系统。
技术介绍
目前在蓝宝石的上游加工领域，需要对蓝宝石晶片进行精密单面研磨，为控制蓝宝石晶片表面应力、平坦度、粗糙度，需对加工工艺严格控制，其中一项工艺过程是对研磨液流量进行严格控制。目前研磨液供给的主要控制方法是采用蠕动泵驱动四个泵头，将滴液管均匀分布在研磨盘表面，研磨液滴落至盘面，通过调节蠕动泵转速改变滴液量；此种供给方式的缺点是：由于研磨液内含有高硬度研磨剂，在蠕动泵高速运行摩擦挤压蠕动管打液的过程中，供液系统零部件磨损消耗严重，造成研磨液泄露，研磨液渗入泵头轴承内，使泵头损坏，零部件更换频繁，且现有的喷洒装置多是单头喷洒，喷洒的范围有限，喷洒液不均匀，造成在研磨的过程中有些地方研磨不充分，且不能满足尺寸较大或者是一组多个蓝宝石晶片的同步研磨。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种气压式研磨液供给系统，以解决现有技术中供液零部件磨损严重，研磨液的液量不足且渗漏严重，研磨液喷洒范围有限，喷洒不均匀的问题。为了实现上述目的，本技术采用以下的技术方案：一种气压式研磨液供给系统，其包括支撑架、喷洒装置、传动装置以及供液装置；喷洒装置以及传动装置均固定在支撑架上；喷洒装置与支撑架可转动连接，喷洒装置包括存储箱、安装在存储箱上部的进液管以及安装在存储箱底部的若干喷嘴，存储箱中空，进液管以及喷嘴均与存储箱连通；传动装置包括驱动电机、与驱动电机连接的主动齿轮以及与主动齿轮配合的从动齿轮，从动齿轮同轴固定在存储箱的外围；供液装置包括储液罐、端部伸入到储液罐内部的输液管以及与储液罐连通的气管，输液管的另一端与进液管可转动连接。进一步的，气管上安装有减压阀、数显压力表、电磁阀以及安全阀。进一步的，喷嘴包括喷管和盖帽，喷管底面开有若干出液口，出液口呈放射状排列，盖帽上带有与出液口的尺寸和排列相对应的通孔。进一步的，喷管与盖帽螺纹连接。进一步的，输液管的进液端高度低于气管的出气口。本技术具有以下有益效果：(1)该气压式研磨液供给系统采用气压式供液，经过气管将气体充入储液罐中，在压力的作用下，储液罐中的研磨液经过输液管被输送到存储箱中，采用气压式供液可以避免蠕动泵工作中的部件损耗，通过控制气管中气体的输入来控制研磨液的输出速度以及输出量，减少部件损坏、研磨液渗漏等的问题；(2)该气压式研磨液供给系统的喷洒装置在传动装置的驱动下可以旋转喷洒，使得研磨液喷洒均匀，有利于晶片表面的研磨；(3)喷洒装置上安装的喷嘴可以通过旋转盖帽打开或者关闭喷嘴，按照需求可以控制研磨液的喷洒情况，喷洒的范围以及研磨液的量可控性增强。附图说明图1是本技术结构示意图；图2是传动装置以及喷洒装置连接结构示意图；图3是喷嘴结构示意图；图4是转盘与支撑架连接状态示意图；其中，上述附图包括以下附图标记：1、支撑架；2、喷洒装置；21、存储箱；22、进液管；23、喷嘴；231、喷管；232、盖帽；24、转盘；25、滚珠；3、从动齿轮；4、驱动电机；5、主动齿轮；6、储液罐；7、输液管；8、气管。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明。如图1-4所示，本技术所述的一种气压式研磨液供给系统包括支撑架1、喷洒装置2、传动装置以及供液装置；喷洒装置以及传动装置均固定在支撑架上。喷洒装置与支撑架可转动连接，连接方式可以但不局限于下述方式：进液管穿过支架，通过转盘24连接在支撑架上，转盘底面开有环形凹槽，支架上面开有与环形凹槽相配合的凹槽，凹槽内安装有滚珠25，在转盘以及滚珠的配合作用下，喷洒装置可以在支架上实现自由转动；喷洒装置包括存储箱21、安装在存储箱上部的进液管22以及安装在存储箱底部的若干喷嘴23，存储箱中空，进液管以及喷嘴均与存储箱连通；研磨液从进液管流入存储箱，存储箱中存储的研磨液通过喷嘴喷到待研磨晶片表面；喷嘴包括喷管231和盖帽232，喷管底面开有若干出液口，出液口呈放射状排列，盖帽上带有与出液口的尺寸和排列相对应的通孔，喷管与存储箱连通，盖帽螺纹连接在喷管上，旋转盖帽，可以将出液口与通孔连通或者错位，进而控制喷嘴的开关，通过调节每个喷嘴上的盖帽，可以控制工作喷嘴的数量，进而控制喷洒的范围以及研磨液的喷洒量。传动装置包括驱动电机4、与驱动电机连接的主动齿轮5以及与主动齿轮配合的从动齿轮3，从动齿轮同轴固定在存储箱的外围；驱动电机工作，驱动齿轮旋转，进而带动从动齿轮转动，与从动齿轮同轴固定的存储箱也与从动齿轮同步转动，进而将研磨液旋转喷洒。供液装置包括储液罐6、端部伸入到储液罐内部的输液管7以及与储液罐连通的气管8，输液管的另一端与进液管可转动连接，当存储箱转动的时候，不会影响输液管，输液管可以继续将研磨液输送进存储箱中，输液管的进液端高度低于气管的出气口，输液管的进液端插入储液瓶中存储的研磨液中，气管将气体输送到储液罐中，储液罐内气压升高，推动研磨液随着输液管进入到存储箱中。气管上安装有减压阀、数显压力表、电磁阀以及安全阀，数显压力表可以显示当前储液罐中的气压；减压阀用于控制储液罐中的压力；安全阀有泄压作用，当储液罐内压力超过安全值的时候及时泄压，起到安全保护的作用；电磁阀控制气管中气体输送，电磁阀开启，气管往储液罐中充气，研磨液通过输液管流入存储箱中，电磁阀关闭，气管充气停止，由此控制储液罐输送气体的过程。本技术的使用过程如下所述：打开电磁阀，经过气管向储液罐中输送气体，当储液罐中的气压足够的时候，存放在储液罐中的研磨液在气压的作用下沿着输液管流入存储箱中，通过与存储箱连通的若干喷嘴喷洒到待研磨物体表面，驱动电机驱动主动齿轮转动，进而带动从动齿轮以及储液箱旋转，使得研磨液喷洒更均匀，有利于后期研磨，喷嘴的开关可以通过盖帽控制，旋转盖帽，盖帽上的通孔与喷管底部的出液口连通，则喷嘴打开，否则，喷嘴关闭，如此可以控制喷洒范围以及喷洒量，气管上连接有减压阀、数显压力表、电磁阀以及安全阀，用于控制储液罐中的气压，使得研磨液输送量更可控。当然，上述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定对本技术的实施例范围。本技术也并不仅限于上述举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的均等变化与改进等，均应归属于本技术的专利涵盖范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气压式研磨液供给系统，其特征在于，包括支撑架(1)、喷洒装置(2)、传动装置以及供液装置；喷洒装置(2)以及传动装置均固定在支撑架(1)上；/n喷洒装置(2)与支撑架(1)可转动连接，包括存储箱(21)、安装在存储箱(21)上部的进液管(22)以及安装在存储箱(21)底部的若干喷嘴(23)，存储箱(21)中空，进液管(22)以及喷嘴(23)均与存储箱(21)连通；/n传动装置包括驱动电机(4)、与驱动电机(4)连接的主动齿轮(5)以及与主动齿轮(5)配合的从动齿轮(3)，从动齿轮(3)同轴固定在存储箱(21)的外围；/n供液装置包括储液罐(6)、端部伸入到储液罐(6)内部的输液管(7)以及与储液罐(6)连通的气管(8)，输液管(7)的另一端与进液管(22)可转动连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种气压式研磨液供给系统，其特征在于，包括支撑架(1)、喷洒装置(2)、传动装置以及供液装置；喷洒装置(2)以及传动装置均固定在支撑架(1)上；
喷洒装置(2)与支撑架(1)可转动连接，包括存储箱(21)、安装在存储箱(21)上部的进液管(22)以及安装在存储箱(21)底部的若干喷嘴(23)，存储箱(21)中空，进液管(22)以及喷嘴(23)均与存储箱(21)连通；
传动装置包括驱动电机(4)、与驱动电机(4)连接的主动齿轮(5)以及与主动齿轮(5)配合的从动齿轮(3)，从动齿轮(3)同轴固定在存储箱(21)的外围；
供液装置包括储液罐(6)、端部伸入到储液罐(6)内部的输液管(7)以及与储液罐(6)连通的气管(8)，输液管(7)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东，李长生，
申请(专利权)人：青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37