一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶体管式封装技术领域，尤其涉及一种二次元坐标系旋转补偿测量方法；包括：建立管座基础坐标系；以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；将两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；画出管座芯片光敏区域，根据坐标算法，得到光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。根据光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对管座固晶位置进行调节。本发明专利技术实施例运用坐标系旋转补偿，最大程度保证TO产品芯片固晶的准确性。

A measurement method and device of rotation compensation in two-dimensional coordinate system

【技术实现步骤摘要】
一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置
本专利技术涉及晶体管式封装
，尤其涉及一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置。
技术介绍
半导体TO-CAN(晶体管式封装)具有体积小、重量轻、效率高、寿命长、易于调制及价格低廉等优点，在工业、医学和军事领域得到了广泛的应用，如材料加工、光纤通讯、激光测距、目标指示、激光制导、激光雷达、空间光通信等。随着半导体TO-CAN(晶体管式封装)在各个应用领域的不断发展，对半导体TO-CAN(晶体管式封装)产品芯片固精贴装精度要求越来越高。目前TO封装固晶贴装的测量，一直都是以测量设备的机械坐标系为基准坐标系进行测量的；例如，在TO-CAN46产品封装过程中，有2PIN、3PIN、4PIN……7PIN、8PIN等各种脚位的管座，封装过程中由于测量夹具的不匹配和管座的旋转，导致正常测量时精度不准确，在高速率产品中尤其明显(注：高速率产品对芯片光敏面要求偏心贴装，以满足产品在使用过程中回损度满足要求，保证信号传输的正常)。产品因为TO管座微量旋转导致机械坐标系并不能准确的测量，这样会严重影响产品芯片贴装精度，最终导致产品性能无法满足要求。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置，最大程度保证TO产品芯片固晶贴装的准确性。一方面，本专利技术实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量方法，包括以下步骤：S1，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；S2，通过影像测量画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；具体包括，将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；S3，将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；S4，再次通过影像测量画出所述管座芯片光敏区域，根据坐标算法，得到所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。S5，根据所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。另一方面，本专利技术实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量装置，包括：测量模块，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；通过影像测量画出所述管座外圆、管座两个绝缘子圆和管座芯片光敏区域；将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；计算模块，将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；根据坐标自动匹配算法，得到所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置；位置调整模块，根据所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。本专利技术实施例提供一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置，运用坐标系旋转补偿，解决因TO管座O旋转导致芯片固晶贴装测量精度不准确问题，最大程度保证TO产品芯片固晶的准确性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对本专利技术技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量方法流程示意图；图2为本专利技术实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量方法坐标算法示意图；图3为本专利技术实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量装置结构示意图；附图标记：测量模块-1计算模块-2位置调整模块-3。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。图1为本专利技术实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量方法流程示意图；如图1所示，包括以下步骤：S1，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；S2，通过影像测量画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；具体包括，将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；S3，将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转后的坐标系；S4，再次通过影像测量画出所述管座芯片光敏区域，根据坐标自动匹配算法，得到所述管座芯片光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。S5，根据所述管座芯片光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。具体地，在测量行业常用的算法，拿一个已知尺寸标准块进行测量，通过影像测量仪测得距离为A、标准块已知尺寸为B，将B输入进去，会根据B＝XA公式算出X的定值，后面测量的所有距离会按照该比例进行换算；例如，将TO46固晶半成品放到测试夹具中孔位上，运用直线测量功能，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以两条线的焦点为原点，通过基础坐标系功能建立坐标系确定夹具的基准位置；将影像测量仪镜头位置移动到TO46固晶半成品上方，将影像调整最清楚，并通过画圆功能，先将TO46管座外圆画出来；再通过画圆功能，将TO46管座的两个绝缘子的圆画出来。通过管座图纸发现，两个绝缘子圆心的连线与管座X轴平行，选中两个绝缘子的圆，通过构造拟合线功能，将两个绝缘子圆心连接起来；选中管座外圆，通过坐标系功能中平移坐标，将基础坐标系原点移到管座圆心。再选中绝缘子圆心的拟合线，通过基础坐标系功能中的旋转坐标，将管座的基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转纠正补偿，再将旋转补偿后的坐标系保存；再次通过画圆功能，将需要测量的芯片光敏面区域画出来，根据坐标算法，这时系统会自动显示出光敏面相对于管座中心旋转补偿后的X、Y位置精度(-22，14.3)，根据该X、Y位置精度，再针对固晶设备的固晶位置进行调节，以达到芯片固晶精度满足标准要求。为进一步对本专利技术技术方案进行详细的说明，通过不同型号管座采用正常测量和二次元坐标系旋转补偿测量方法的测量结果进行对比。例如，4PIN管座芯片光敏面要求相对于管座0±25um，0±25um贴装；采用正常测量，测量结果发现芯片光敏面相对于管座圆心位置为(1，-23.9)；采用二次元坐标系旋转补偿测量方法，测量结果发现芯片光敏面相对于管座圆心位置为(-5.1，-23.1)；通过两种方式测量，发现X结果相差6.1um，Y结果相差0.8um。例如，5PIN管座芯片光敏面要求相对于管座0±15um，60±15um贴装；采用正常测量，测量结果发现芯片光敏面相对于管座圆心位置为(16.3，50.3)；采用二次元坐标系旋转补偿测量方法，测量结果发现芯片光敏面相对于管座圆心位置为(4.8，53.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二次元坐标系旋转补偿测量方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；/nS2，通过影像测量画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；具体包括，将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；/nS3，将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；/nS4，再次通过影像测量画出所述管座芯片光敏区域，根据坐标算法，得到所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。/nS5，根据所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。/n

【技术特征摘要】
1.一种二次元坐标系旋转补偿测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；
S2，通过影像测量画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；具体包括，将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；
S3，将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；
S4，再次通过影像测量画出所述管座芯片光敏区域，根据坐标算法，得到所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。
S5，根据所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。


2.根据权利要求1所述的一种二次元坐标系旋转补偿测量方法，其特征在于，所述步骤S4中的坐标算法具体包括：
S41，根据所述旋转补偿后的坐标系X轴和光敏区域圆心构造虚拟直角三角形，得到一个虚拟角度和所述光敏区域相对于管座圆心的距离；
S42，根据直角形三角函数求得两条直角边距离，即所述光敏区域相对于...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚成文，温永阔，胡靖，
申请(专利权)人：武汉东飞凌科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42