弹性波滤波器装置制造方法及图纸

一种弹性波滤波器装置(1)，具有形成在压电基板(30)上的第一弹性波滤波器(10)以及第二弹性波滤波器(20)，弹性波滤波器装置(1)具备：绝缘层(40)，形成在压电基板(30)上，介电常数比压电基板(30)的介电常数小；第一布线导体(51)以及第二布线导体(52)，在俯视下相互对置地形成在绝缘层(40)上，第一布线导体(51)与第一弹性波滤波器(10)的电极连接，第二布线导体(52)与第二弹性波滤波器(20)的电极连接；和接地导体(60)，在俯视下与绝缘层(40)上的第一布线导体(51)以及第二布线导体(52)外切的区域A内，形成在绝缘层(40)与压电基板(30)之间。

Elastic wave filter device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器装置
本专利技术涉及具备多个弹性波滤波器的弹性波滤波器装置。
技术介绍
以往，使用了弹性波的弹性波滤波器被广泛用于配置在移动通信机的前端部的带通滤波器等。此外，为了应对多模式/多频段等的复合化，具备多个弹性波滤波器的弹性波滤波器装置被实用化。在单个压电基板形成了多个弹性波滤波器的弹性波滤波器装置中，高密度地配置有布线导体，因此传播不同的弹性波滤波器的信号的布线导体彼此经由压电基板耦合，变得容易产生由信号的泄漏造成的插入损耗特性的劣化。为了应付该问题，例如，在专利文献1公开的弹性波器件中，通过在布线导体与压电基板之间配置介电常数比压电基板的介电常数小的绝缘层，从而抑制靠近的布线导体间的电容耦合。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-153289号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在装置的小型化进一步发展的情况下，如果是现有技术的结构，则有可能不能充分地抑制插入损耗特性的劣化。因此，本专利技术的目的在于，提供一种具备多个弹性波滤波器、小型且插入损耗特性优异的弹性波滤波器装置。用于解决课题的技术方案为了达到上述目的，本专利技术的一个方式涉及的弹性波滤波器装置具有形成在压电基板上的第一弹性波滤波器以及第二弹性波滤波器，所述弹性波滤波器装置具备：绝缘层，形成在所述压电基板上，介电常数比所述压电基板的介电常数小；第一布线导体以及第二布线导体，在俯视下相互对置地形成在所述绝缘层上，所述第一布线导体与所述第一弹性波滤波器的电极连接，所述第二布线导体与所述第二弹性波滤波器的电极连接；和接地导体，在俯视下与所述绝缘层上的所述第一布线导体以及所述第二布线导体外切的区域内，形成在所述绝缘层与所述压电基板之间。专利技术效果根据本专利技术涉及的弹性波滤波器装置，通过接地导体来阻碍传播第一弹性波滤波器的信号的第一布线导体与传播第二弹性波滤波器的信号的第二布线导体之间的耦合，由此抑制信号的泄漏。其结果是，可得到具备多个弹性波滤波器、小型且插入损耗特性优异的弹性波滤波器装置。附图说明图1是示出实施方式涉及的弹性波滤波器装置的结构的一个例子的电路图。图2是示出实施方式涉及的弹性波滤波器装置的芯片布局的一个例子的俯视图。图3是示出实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的芯片布局的一个例子的放大俯视图。图4是示出实施方式涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图5是示出比较例涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图6是示出实施方式以及比较例涉及的弹性波滤波器装置的插入损耗特性的一个例子的曲线图。图7A是示出变形例涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图7B是示出变形例涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图8A是示出变形例涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图8B是示出变形例涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图8C是示出变形例涉及的弹性波滤波器装置的主要部分的构造的一个例子的剖视图。具体实施方式以下，使用实施例以及附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，以下说明的实施方式均示出总括性的或具体的例子。在以下的实施方式中示出的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置以及连接方式等是一个例子，其主旨并不在于限定本专利技术。关于以下的实施方式中的构成要素之中未记载于独立权利要求的构成要素，作为任意的构成要素而进行说明。(实施方式)列举具有形成在压电基板上的第一弹性波滤波器以及第二弹性波滤波器的弹性波滤波器装置的例子，对实施方式涉及的弹性波滤波器装置进行说明。图1是示出实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1的结构的一个例子的电路图。如图1所示，弹性波滤波器装置1具备弹性波滤波器10、20。弹性波滤波器10、20是通带的一部分相互重复的带通滤波器。作为一个例子，弹性波滤波器装置1可以是LTE(LongTermEvolution，长期演进)标准的Band3以及Band39的接收用对偶滤波器(dualfilter)。弹性波滤波器10具有连接在输入端子IN1与输出端子OUT1之间的串联谐振器11、14以及纵向耦合型的谐振器12、13。串联谐振器11、14由声表面波谐振器构成。谐振器12、13由具有反射器的纵向耦合型的声表面波滤波器构成。弹性波滤波器10是如下的非平衡输入-非平衡输出型的带通滤波器，即，将在输入端子IN1获取的接收信号通过Band3的接收通带进行滤波，并向输出端子OUT1输出。弹性波滤波器20具有：连接在输入端子IN2与输出端子OUT2之间的串联谐振器21以及纵向耦合型的谐振器22、23；和连接在从谐振器22、23到输出端子OUT2的连接路径与接地端子GND之间的并联谐振器24。串联谐振器21以及并联谐振器24由声表面波谐振器构成。谐振器22、23由具有反射器的纵向耦合型的声表面波滤波器构成。弹性波滤波器20是如下的非平衡输入-非平衡输出型的带通滤波器，即，将在输入端子IN2获取的接收信号通过Band39的接收通带进行滤波，并向输出端子OUT2输出。输入端子IN1、IN2例如可以与天线元件或天线开关连接，输出端子OUT1、OUT2例如可以与LNA(LowNoiseAmplifier，低噪声放大器)连接。由此，弹性波滤波器装置1从由天线元件接收的高频信号之中使每个频带的接收信号通过，并选择性地输出到输出端子OUT1、OUT2。图2是示出弹性波滤波器装置1的芯片布局的一个例子的俯视图。在图2示出了形成在压电基板30的一个主面的接地导体、绝缘层、布线导体、以及谐振器的配置的一个例子。图2的接地导体、绝缘层、布线导体、以及谐振器构成图1的电路。接地导体、绝缘层、以及布线导体依次层叠配置在压电基板30的一个主面。在压电基板30的另一个主面，与输入端子IN1、IN2、输出端子OUT1、OUT2、以及接地端子GND对应地形成有安装用的连接端子。像在图2示意性地标明的那样，串联谐振器11、14、21以及并联谐振器24是由形成在压电基板30上的一对梳型电极构成的声表面波谐振器。谐振器12、13、22以及23是由形成在压电基板30上的三对梳型电极和夹着该三对梳型电极的一对反射器构成的纵向耦合型的声表面波滤波器。梳型电极也称为IDT(InterDigitalTransducer，叉指换能器)电极。梳型电极与接地导体或布线导体连接。梳型电极可以由与接地导体或布线导体相同的材料构成，也可以是接地导体或布线导体的一部分。图3是示出弹性波滤波器装置1的主要部分的芯片布局的一个例子的放大俯视图。图4是示出弹性波滤波器装置1的主要部分的构造的一个例子的剖视图。图4对应于在箭头的方向上观察图3的IV-IV线的剖面。在图3以及图4所示的主要部分中，弹性波滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波滤波器装置，具有形成在压电基板上的第一弹性波滤波器以及第二弹性波滤波器，/n所述弹性波滤波器装置具备：/n绝缘层，形成在所述压电基板上，介电常数比所述压电基板的介电常数小；/n第一布线导体以及第二布线导体，在俯视下相互对置地形成在所述绝缘层上，所述第一布线导体与所述第一弹性波滤波器的电极连接，所述第二布线导体与所述第二弹性波滤波器的电极连接；和/n接地导体，在俯视下与所述绝缘层上的所述第一布线导体以及所述第二布线导体外切的区域内，形成在所述绝缘层与所述压电基板之间。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170605 JP 2017-1105741.一种弹性波滤波器装置，具有形成在压电基板上的第一弹性波滤波器以及第二弹性波滤波器，
所述弹性波滤波器装置具备：
绝缘层，形成在所述压电基板上，介电常数比所述压电基板的介电常数小；
第一布线导体以及第二布线导体，在俯视下相互对置地形成在所述绝缘层上，所述第一布线导体与所述第一弹性波滤波器的电极连接，所述第二布线导体与所述第二弹性波滤波器的电极连接；和
接地导体，在俯视下与所述绝缘层上的所述第一布线导体以及所述第二布线导体外切的区域内，形成在所述绝缘层与所述压电基板之间。


2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述接地导体的至少一部分在俯视下形成在所述区域内的所述第一布线导体与所述第二布线导体的间隙部分。


3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：小笹茂生，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP