工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种能够减小设置面积的工业用机器人。工业用机器人(1)具备手(10)、臂(20)、臂支承部(23)以及升降机构(30)，升降机构具有：包含进给丝杠轴(32)和支柱部(33)且沿上下方向延伸的直动导向件(31)、电动机(35)、将电动机的旋转向进给丝杠轴传递的旋转传递机构(40)，旋转传递机构具有通过电动机(35)驱动而旋转的输入旋转部件(41)、安装于进给丝杠轴(32)的下端部的输出旋转部件(43)、将从输入旋转部件(41)向输出旋转部件(43)传递的旋转减速的至少一个中继旋转部件(42)，在沿上下方向观察直动导向件(31)及输出旋转部件(43)的情况下，输出旋转部件(43)设于由直动导向件(31)覆盖的导向区域(B)内。

Industrial robots

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人
本专利技术涉及输送半导体晶片等输送对象物的工业用机器人。
技术介绍
专利文献1中记载的工业用机器人是输送半导体晶片的机器人，被装入半导体制造系统中使用。在半导体制造系统中，设有将多片半导体晶片在上下方向上分开收容的盒、和对半导体晶片进行蚀刻等处理的处理装置，机器人从盒中依次取出半导体晶片，将取出的半导体晶片输送到处理装置。该机器人具备载置半导体晶片的手、使手在水平面内移动的臂、使臂支承部件升降的升降机构。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017－127956号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在使臂支承部件升降的升降机构中，例如使用滚珠丝杆机构，这种升降机构通常使用电动机、安装于电动机旋转轴的输入带轮、安装于滚珠丝杠机构的螺纹轴的输出带轮、挂设于输入带轮和输出带轮之间的带。电动机的旋转在输入带轮和输出带轮之间被适当减速，并被传递到螺纹轴。虽然也取决于电动机的转速等，但为了得到必要的减速比，有时输出带轮为较大直径。该情况下，设置机器人所需的设置面积可能增大。本专利技术是鉴于上述情况而开发的，其目的在于，提供能够减小设置面积的工业用机器人。解决技术问题所采用的技术方案本专利技术提供一种工业用机器人，其具备：手，所述手保持输送对象物；臂，所述臂使所述手在水平面内移动；臂支承部，所述臂支承部能转动地支承所述臂；以及升降机构，所述升降机构使所述臂支承部升降，所述升降机构具有：直动导向件，所述直动导向件沿上下方向延伸，且包含进给丝杠轴和支承所述进给丝杠轴的支柱部；电动机；以及旋转传递机构，所述旋转传递机构向所述进给丝杠轴传递所述电动机的旋转，所述旋转传递机构具有：输入旋转部件，所述输入旋转部件通过所述电动机驱动而旋转；输出旋转部件，所述输出旋转部件安装于所述进给丝杠轴的下端部；以及至少一个中继旋转部件，所述中继旋转部件包含输入侧的大径部和输出侧的小径部，将从所述输入旋转部件向所述输出旋转部件传递的旋转减速，在沿上下方向观察所述直动导向件及所述输出旋转部件的情况下，所述输出旋转部件设于由所述直动导向件覆盖的导向区域内。专利技术效果根据本专利技术，能够提供能够减小设置面积的工业用机器人。附图说明图1是用于说明本专利技术实施方式的工业用机器人的一例的主视图。图2是图1所示的工业用机器人的俯视图。图3A是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。图3B是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。图3C是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。图3D是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。图4是图1的工业用机器人的旋转传递机构的一例的主视图。图5是图4的旋转传递机构的仰视图。附图标号说明1工业用机器人2半导体晶片(输送对象物)3盒4处理装置10手11末端执行器20臂21第一臂部22第二臂部23臂支承部24螺母部件25滑块30升降机构31直动导向件32进给丝杠轴33支柱部34导轨35电动机36基座部37电动机的旋转轴40旋转传递机构41输入带轮42中继带轮43输出带轮44中继带轮的旋转轴45中继带轮的大径部46中继带轮的小径部47第一带48第二带A移动区域B导向区域C矩形区域L直线X第一方向Y第二方向Z上下方向z转动轴具体实施方式(工业用机器人的整体结构)图1及图2表示用于说明本专利技术的实施方式的工业用机器人的一例。工业用机器人1(下称“机器人1”。)是用于输送作为输送对象物的半导体晶片2的水平多关节机器人。机器人1具备保持晶片2的手10、使手10在水平面内移动的臂20以及使臂20升降的升降机构30。手10具有载置晶片2的平板状的末端执行器11。晶片2例如可以通过边缘夹持、吸附等固定于末端执行器11上，也可以不固定而仅载置于末端执行器11上。另外，末端执行器11不限于一个，也可以在上下方向Z上隔开适宜的间隔设置多个。臂20具有第一臂部21和第二臂部22。第一臂部21的前端部在水平面内可转动地支承手10。第二臂部22的前端部在水平面内可转动地支承第一臂部21的基端部。第二臂部22的基端部由臂支承部23在水平面内可转动地支承。臂20能够以穿过第二臂部22的基端部在上下方向Z上延伸的转动轴z为中心进行转动，且通过组合第一臂部21相对于第二臂部22的转动和手10相对于第一臂部21的转动而可伸屈，使手10在以转动轴z为中心的径向上进退。在臂支承部23设有使第二臂部22转动的电动机、使第一臂部21转动的电动机、及使手10转动的电动机。升降机构30具有直动导向件31，直动导向件31包括进给丝杠轴32、支柱部33、一对导轨34。进给丝杠轴32沿着上下方向Z延伸配置。支柱部33与进给丝杠轴32平行地在上下方向Z上延伸配置，可旋转地支承进给丝杠轴32。一对导轨34将进给丝杠轴32夹在中间与进给丝杠轴32平行地沿上下方向Z延伸配置，固定于支柱部33上。在臂支承部23设有与进给丝杠轴32螺合的螺母部件24和与一对导轨34卡合的一对滑块25。臂支承部23对应进给丝杠轴32的旋转，沿着进给丝杠轴32上下移动。升降机构30还具有电动机35和旋转传递机构。在支柱部33的下端部设有基座部36，电动机35和旋转传递机构组装于基座部36上。电动机35的旋转通过旋转传递机构减速并传送到进给丝杠轴32。由此，进给丝杠轴32旋转，臂支承部23沿着进给丝杠轴32上下移动，使臂20升降。电动机35自臂支承部23的下方偏离配置，以防止与上下移动的臂支承部23发生干扰。旋转传递机构后述。(工业用机器人的动作)图3A～图3D表示机器人1的动作。机器人1被装入半导体制造系统使用。在半导体制造系统中设有将多片晶片2在上下方向Z分离收容的盒3和对晶片2进行蚀刻等处理的处理装置4。在本例中，盒3在水平面内的第一方向X上与机器人1相邻配置，处理装置4与机器人1在与第一方向大致垂直的水平面内的第二方向Y上相邻配置。如图3A所示，机器人1驱动电动机35使进给丝杠轴32旋转，使臂20升降至盒3中收容的多个晶片2中对应于输送对象晶片2的位置。然后，机器人1使臂20沿着第一方向X伸展，由手10保持收容于盒3中的晶片2。在由手10保持晶片2之后，如图3B所示，机器人1使臂20屈折，将晶片2从盒3中取出。接着，如图3C所示，机器人1在臂20被屈折的状态下，使臂20绕转动轴z转动约90°，使手10朝向处理装置4侧。然后，机器人1驱动电动机35使进给丝杠轴32旋转，使臂20升降至与处理装置4对应的位置。接着，如图3D所示，机器人1沿第二方向Y伸展臂20，将手10上保本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工业用机器人，其特征在于，具备：/n手，所述手保持输送对象物；/n臂，所述臂使所述手在水平面内移动；/n臂支承部，所述臂支承部能转动地支承所述臂；以及/n升降机构，所述升降机构使所述臂支承部升降，/n所述升降机构具有：/n直动导向件，所述直动导向件沿上下方向延伸，且包含进给丝杠轴和支承所述进给丝杠轴的支柱部；/n电动机；以及/n旋转传递机构，所述旋转传递机构向所述进给丝杠轴传递所述电动机的旋转，/n所述旋转传递机构具有：/n输入旋转部件，所述输入旋转部件由所述电动机驱动而旋转；/n输出旋转部件，所述输出旋转部件安装于所述进给丝杠轴的下端部；以及/n至少一个中继旋转部件，所述中继旋转部件包含输入侧的大径部和输出侧的小径部，将从所述输入旋转部件向所述输出旋转部件传递的旋转减速，/n在沿上下方向观察所述直动导向件及所述输出旋转部件的情况下，所述输出旋转部件设于由所述直动导向件覆盖的导向区域内。/n

【技术特征摘要】
20180703 JP 2018-1271651.一种工业用机器人，其特征在于，具备：
手，所述手保持输送对象物；
臂，所述臂使所述手在水平面内移动；
臂支承部，所述臂支承部能转动地支承所述臂；以及
升降机构，所述升降机构使所述臂支承部升降，
所述升降机构具有：
直动导向件，所述直动导向件沿上下方向延伸，且包含进给丝杠轴和支承所述进给丝杠轴的支柱部；
电动机；以及
旋转传递机构，所述旋转传递机构向所述进给丝杠轴传递所述电动机的旋转，
所述旋转传递机构具有：
输入旋转部件，所述输入旋转部件由所述电动机驱动而旋转；
输出旋转部件，所述输出旋转部件安装于所述进给丝杠轴的下端部；以及
至少一个中继旋转部件，所述中继旋转部件包含输入侧的大径部和输出侧的小径部，将从所述输入旋转部件向所述输出旋转部件传递的旋转减速，
在沿上下方向观察所述直动导向件...

【专利技术属性】
技术研发人员：细川正己，吉泽弘道，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP