弹性波滤波器装置、多工器以及复合滤波器装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不易产生由横模纹波造成的滤波器特性的劣化的弹性波滤波器装置。弹性波滤波器装置(1)具备至少一个串联臂谐振器(S1、S2)以及并联臂谐振器(P1、P2)，串联臂谐振器(S1、S2)以及并联臂谐振器(P1、P2)由弹性波谐振器构成，至少一个串联臂谐振器(S1、S2)的IDT电极为实施了交叉宽度加权的变迹型IDT电极，在并联臂谐振器(P1、P2)的IDT电极中，交叉部具有中央区域和设置在中央区域的两外侧的低声速区域，低声速区域中的弹性波的声速被设得比中央区域中的弹性波的声速低，在各低声速区域的外侧设置有弹性波的声速比低声速区域高的高声速区域。

Elastic wave filter device, multiplexer and composite filter device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器装置、多工器以及复合滤波器装置
本专利技术涉及具有至少一个串联臂谐振器以及并联臂谐振器的弹性波滤波器装置、具有该弹性波滤波器装置的多工器以及复合滤波器装置。
技术介绍
以往，为了抑制横模纹波，已知有利用了活塞模式的梯型滤波器。例如，在下述的专利文献1记载的梯型滤波器中，串联臂谐振器以及并联臂谐振器具有利用了活塞模式的IDT电极。在该IDT电极中，交叉部具有中央区域和在交叉部内位于中央区域的一侧以及另一侧的低声速区域。与中央区域的声速相比，低声速区域的声速被降低。进而，在交叉宽度方向上，在低声速区域的更外侧设置有高声速区域。在专利文献1记载的梯型滤波器中，在具有上述IDT电极的弹性波谐振器中利用了洛夫波。在先技术文献专利文献专利文献1：WO2015/182521
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1记载的梯型滤波器中，能够减小洛夫波的横模纹波。然而，在具有上述IDT电极的弹性波谐振器中，还出现瑞利波的横模响应。在梯型滤波器的串联臂谐振器以及并联臂谐振器之中，若在串联臂谐振器中产生了该瑞利波的横模响应，则纹波出现在梯型滤波器的通带低频侧的频带。因此，存在滤波器特性变差这样的问题。本专利技术的目的在于，提供一种不易产生由横模纹波造成的滤波器特性的劣化的弹性波滤波器装置和具有该弹性波滤波器装置的多工器以及复合滤波器装置。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波滤波器装置具备：至少一个串联臂谐振器，配置在连结输入端和输出端的串联臂；以及并联臂谐振器，配置在连结所述串联臂和接地电位的至少一个并联臂，所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器由具有压电基板和设置在所述压电基板上的IDT电极的弹性波谐振器构成，至少一个所述串联臂谐振器的所述IDT电极为实施了交叉宽度加权的变迹型IDT电极，在所述并联臂谐振器的所述IDT电极中，在多根第一电极指和多根第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的交叉部中，该交叉部具有中央区域和在与弹性波传播方向正交的方向上设置在所述中央区域的两外侧的低声速区域，所述低声速区域中的弹性波的声速被设得比所述中央区域中的弹性波的声速低，在与弹性波传播方向正交的方向上，在各所述低声速区域的外侧设置有弹性波的声速比所述低声速区域高的高声速区域。在本专利技术涉及的弹性波滤波器装置中，优选地，全部的所述串联臂谐振器具有所述变迹型IDT电极。在该情况下，能够更进一步有效地抑制由横模造成的纹波。在本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的其他的特定的方面中，具有所述变迹型IDT电极的所述串联臂谐振器具有：第一汇流条、第二汇流条；多根第一电极指，一端与所述第一汇流条的内侧端缘连接；多根第二电极指，一端与所述第二汇流条的内侧端缘连接；多根第一虚设电极指，一端与所述第二汇流条连接，前端与所述多根第一电极指的前端分别对置；以及多根第二虚设电极指，一端与所述第一汇流条连接，前端与所述多根第二电极指的前端分别对置，所述第一汇流条、所述第二汇流条的分别连接有所述第一电极指、所述第二电极指的各所述内侧端缘具有与弹性波传播方向不平行的部分。在本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的另一个特定的方面中，利用了洛夫波。在该情况下，至少一个串联臂谐振器具有变迹型IDT电极，因此能够有效地抑制瑞利波的横模纹波。在本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的又一个特定的方面中，所述压电基板由LiNbO3构成。在本专利技术涉及的弹性波滤波器装置的又一个特定的方面中，作为本专利技术的弹性波滤波器装置而提供梯型滤波器。也可以是，在本专利技术涉及的弹性波滤波器装置中，还具备配置在所述串联臂的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。本专利技术涉及的多工器是如下的多工器，其具备：按照本专利技术而构成的弹性波滤波器装置；以及第二弹性波滤波器装置，由带通型滤波器构成，一端与所述弹性波滤波器装置公共连接。本专利技术涉及的复合滤波器装置具备按照本专利技术而构成的弹性波滤波器装置和一端与所述弹性波滤波器装置公共连接的多个滤波器。专利技术效果根据本专利技术涉及的弹性波滤波器装置，至少一个串联臂谐振器具有变迹型IDT电极，因此不易产生由横模纹波造成的滤波器特性的劣化。因此，能够提供一种滤波器特性优异的弹性波滤波器装置和具有该弹性波滤波器装置的多工器以及复合滤波器装置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波滤波器装置的电路图。图2是作为串联臂谐振器S1的弹性波谐振器的俯视图。图3是示出并联臂谐振器P1的电极构造的俯视图。图4是示出在第一实施方式的弹性波滤波器装置中使用的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的电极构造的示意性俯视图。图5是示出图4所示的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的电极构造的一部分的部分切除俯视图。图6是在第二实施方式的弹性波滤波器装置中使用的弹性波谐振器的俯视图。图7是示出实施例1以及实施例2的弹性波谐振器以及比较例1的弹性波谐振器的通过特性的图。图8是示出实施例3的弹性波滤波器装置、实施例4的弹性波滤波器装置以及比较例2的弹性波滤波器装置的滤波器特性的图。图9是示出应用本专利技术的梯型滤波器的一个例子的电路图。图10是复合滤波器装置的电路图。图11是示出作为多工器的一个例子的双工器的电路图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。另外，预先指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波滤波器装置的电路图。弹性波滤波器装置1具有输入端子2和输出端子3。在连结输入端子2和输出端子3的串联臂中，串联地连接有串联臂谐振器S1、S2。在连结串联臂谐振器S1、S2间的连接点和接地电位的并联臂，配置有并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S2与输出端子3之间，连接有纵向耦合谐振器型弹性波滤波器11。在连结串联臂谐振器S2与纵向耦合谐振器型弹性波滤波器11之间的连接点、和接地电位的并联臂，设置有并联臂谐振器P2。纵向耦合谐振器型弹性波滤波器11具有第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部12、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部13。第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部12和第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部13被并联地连接。第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部12、第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器部13分别为具有五个IDT电极的5IDT型的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2分别由弹性波谐振器构成。在弹性波滤波器装置1中，具有串联臂谐振器S1、S2以及并联臂谐振器P1、P2的梯型滤波器和纵向耦合谐振器型弹性波滤波器11被连接。由此，构成了Band8的接收滤波器。Band8的接收频带为925MHz～960MHz。弹性波滤波器装置1的特征在于，串联臂谐振器S1、S2如后所述那样具有变迹型(apodized)IDT电极，作为剩余的谐振器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波滤波器装置，具备：/n至少一个串联臂谐振器，配置在连结输入端和输出端的串联臂；以及/n并联臂谐振器，配置在连结所述串联臂和接地电位的至少一个并联臂，/n所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器由具有压电基板和设置在所述压电基板上的IDT电极的弹性波谐振器构成，至少一个所述串联臂谐振器的所述IDT电极为实施了交叉宽度加权的变迹型IDT电极，在所述并联臂谐振器的所述IDT电极中，在多根第一电极指和多根第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的交叉部中，该交叉部具有中央区域和在与弹性波传播方向正交的方向上设置在所述中央区域的两外侧的低声速区域，所述低声速区域中的弹性波的声速被设得比所述中央区域中的弹性波的声速低，在与弹性波传播方向正交的方向上，在各所述低声速区域的外侧设置有弹性波的声速比所述低声速区域高的高声速区域。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170606 JP 2017-1118041.一种弹性波滤波器装置，具备：
至少一个串联臂谐振器，配置在连结输入端和输出端的串联臂；以及
并联臂谐振器，配置在连结所述串联臂和接地电位的至少一个并联臂，
所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器由具有压电基板和设置在所述压电基板上的IDT电极的弹性波谐振器构成，至少一个所述串联臂谐振器的所述IDT电极为实施了交叉宽度加权的变迹型IDT电极，在所述并联臂谐振器的所述IDT电极中，在多根第一电极指和多根第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的交叉部中，该交叉部具有中央区域和在与弹性波传播方向正交的方向上设置在所述中央区域的两外侧的低声速区域，所述低声速区域中的弹性波的声速被设得比所述中央区域中的弹性波的声速低，在与弹性波传播方向正交的方向上，在各所述低声速区域的外侧设置有弹性波的声速比所述低声速区域高的高声速区域。


2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置，其中，
全部的所述串联臂谐振器具有所述变迹型IDT电极。


3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器装置，其中，
具有所述变迹型IDT电极的所述串联臂谐振器具有：
第一汇流条、第二汇流条；
多根第一电极指，一端与所述第一汇流条的内侧端缘连接；
多根第二电极指，一端与所述第二汇流...

【专利技术属性】
技术研发人员：高田俊明，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP