【技术实现步骤摘要】
一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置
本技术涉及一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，属于太阳能光伏电池制造
技术介绍
在太阳能电池执照领域，水膜作为保护扩散后P-N结刻蚀过程中不被腐蚀的一种方式，已经广泛应用于湿法刻蚀。水膜质量的好坏也影响着刻蚀后硅片的外观、电池片的电性能等。水膜过薄会引起覆盖硅片不全，导致过刻、边缘发白、EL下检测边缘发黑等，严重影响外观和电性能。水膜过厚会在刻蚀槽中掉水，稀释刻蚀槽酸液浓度，进而影响边缘刻蚀效果以及增加药液耗量，造成刻蚀效果不充分，化学成本增加。目前5道，尤其8道刻蚀机台中，各道次水膜喷水水压不稳，极易造成道次间存在差异，造成水膜过薄或者过厚。因此如何缩小各道次间水膜喷水差异同时保证水膜质量成为亟待解决的难题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴，所述水管平行于所述储水罐长度方向设置，与其底部依次连接，所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴，所述液位计设置在所述储水罐内，所述流量计设置在所述储水罐进水口，所述储水罐一端内侧还设有溢流板，将所述储水罐分为溢流区与出水区。进一步的，所述溢流板高度为所述储水罐直径的60～80％。进一步的，所述储水罐长度为100-180cm，直径为30-50cm。进一步的，所述水管长度为18-22cm，内径为1....
【技术保护点】
1.一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，其特征是，包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴，所述水管平行于所述储水罐长度方向设置，与其底部依次连接，所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴，所述液位计设置在所述储水罐内，所述流量计设置在所述储水罐进水口，所述储水罐一端内侧还设有溢流板，将所述储水罐分为溢流区与出水区。/n
【技术特征摘要】
1.一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，其特征是，包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴，所述水管平行于所述储水罐长度方向设置，与其底部依次连接，所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴，所述液位计设置在所述储水罐内，所述流量计设置在所述储水罐进水口，所述储水罐一端内侧还设有溢流板，将所述储水罐分为溢流区与出水区。
2.根据权利要求1所述的一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，其特征是，所述溢流板高度为所述储水罐直径的60～80％。
3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：江顺钦，徐华浦，缪云展，曹磊，
申请(专利权)人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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