一种大型平面靶材焊接用加热平台制造技术

本实用新型专利技术提供一种大型平面靶材焊接用加热平台，包括控制框以及加热器；所述控制框上设置有加热平板，所述加热平板上设置有感温探头，所述加热器以相同距离为一组分组设置在加热平板内，所述控制框内设置有温控器以及温度表，所述温控器以及温度表均与加热器位置相对应，所述感温探头与温控器位置相对应，所述加热器、感温探头、温度表以及温控器均与外部控制器电性连接。本实用新型专利技术一种大型平面靶材焊接用加热平台，结构简便，分组式加热，保证散热均匀，温度差异可以控制在所需范围之内。

A heating platform for welding large flat target

【技术实现步骤摘要】
一种大型平面靶材焊接用加热平台
本技术涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种大型平面靶材焊接用加热平台。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当的工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单的说，靶材就是高速核能粒子轰击的目标材料，更换不同的靶材，就可以得到不同的膜系。目前国内大尺寸的加热平台结构，因为台面较大，散热不均，造成中间和边缘的温度差异较大，难以达到控温的效果。
技术实现思路
技术目的：提供一种大型平面靶材焊接用加热平台，结构简便，分组式加热，保证散热均匀，温度差异可以控制在所需范围之内。一种大型平面靶材焊接用加热平台，包括控制框以及加热器；所述控制框上设置有加热平板，所述加热平板上设置有感温探头，所述加热器以相同距离为一组分组设置在加热平板内，所述控制框内设置有温控器以及温度表，所述温控器以及温度表均与加热器位置相对应，所述感温探头与温控器位置相对应，所述加热器、感温探头、温度表以及温控器均与外部控制器电性连接。进一步的，所述控制框底端设置有滚轮，所述感温探头具体位于加热平板下表面的侧边。进一步的，所述加热器每组之间的距离为一米，所述加热器均沿加热平板宽度方向直线设置且均关于加热平板的长度方向直线阵列。进一步的，所述加热平板上端面设置有若干个散热孔。进一步的，所述感温探头与温控器以及温度表均设置有四个。本技术实现以下有益效果：一种大型平面靶材焊接用加热平台，结构简便，通过限定距离进行分组式加热，每组配备单独温控器，保证散热均匀，温度差异可以控制在所需范围之内，各组还可以输出不同的功率来达到所需求的温度。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。图1为一种大型平面靶材焊接用加热平台整体结构主视图。图2为一种大型平面靶材焊接用加热平台加热平板结构示意图。图3为一种大型平面靶材焊接用加热平台工作原理图。图中：1.控制柜；2.滚轮；3.加热平板；4.散热孔；5.加热器；6.感温探头；7.温控器；8.温度表；9.外部控制器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参考图1至图3，一种大型平面靶材焊接用加热平台，包括控制框1以及加热器5；所述控制框1上设置有加热平板3，所述加热平板3用于放置靶材并对靶材进行加热，所述加热平板3上设置有感温探头6，所述感温探头6感应加热的温度，所述加热器5以相同距离为一组分组设置在加热平板3内，保证每一部分均可达到均匀加热且更持稳，所述控制框1内设置有温控器7以及温度表8，感温探头6将感应的温度传输并在温度表8上显示，所述温控器7以及温度表8均与加热器5位置相对应，每个加热器5配置各自单独的感温探头6、温控器7以及温度表8，方便监测各部分的温度，所述感温探头6与温控器7位置相对应，所述加热器5、感温探头6、温度表8以及温控器7均与外部控制器9电性连接。所述控制框1底端设置有滚轮2，便于移动靶材，所述感温探头6具体位于加热平板3下表面的侧边。所述加热器5每组之间的距离为一米，通过统计得出每一米长度内的温差可控制在5℃内，所述加热器5均沿加热平板3宽度方向直线设置且均关于加热平板3的长度方向直线阵列。所述加热平板3上端面设置有若干个散热孔4。所述感温探头6与温控器7以及温度表8均设置有四个。工作原理：打开总开关，加热器5开始工作，对加热平台3上的靶材进行加热，每一米的长度设置的感温探头6探测每部分的加热温度，并将探测的信息传输给温度表8，由温度表8显示，外部控制器9设定温度，当温度表8显示温度高于设定温度时，为了保证每部分温度相差在5℃，此时外部控制器9控制与显示超过设定温度的温度表8相配备的温控器7进行关闭，从而停止加热，达到散热均匀且升温持稳的效果。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的是让熟悉该
的技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此来限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大型平面靶材焊接用加热平台，其特征在于：包括控制框(1)以及加热器(5)；所述控制框(1)上设置有加热平板(3)，所述加热平板(3)上设置有感温探头(6)，所述加热器(5)以相同距离为一组分组设置在加热平板(3)内，所述控制框(1)内设置有温控器(7)以及温度表(8)，所述温控器(7)以及温度表(8)均与加热器(5)位置相对应，所述感温探头(6)与温控器(7)位置相对应，所述加热器(5)、感温探头(6)、温度表(8)以及温控器(7)均与外部控制器(9)电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种大型平面靶材焊接用加热平台，其特征在于：包括控制框(1)以及加热器(5)；所述控制框(1)上设置有加热平板(3)，所述加热平板(3)上设置有感温探头(6)，所述加热器(5)以相同距离为一组分组设置在加热平板(3)内，所述控制框(1)内设置有温控器(7)以及温度表(8)，所述温控器(7)以及温度表(8)均与加热器(5)位置相对应，所述感温探头(6)与温控器(7)位置相对应，所述加热器(5)、感温探头(6)、温度表(8)以及温控器(7)均与外部控制器(9)电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种大型平面靶材焊接用加热平台，其特征在于：所述控制框(1)底端设...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧龙杰，
申请(专利权)人：昆山世高新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32