一种配气装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种配气装置，由原料气管路、稀释气管路、针阀、精密压力表、毛细管柱、填充柱、气体混合器组成，原料气管路由原料进气口、针阀、精密压力表和毛细管柱串联组成，稀释气管路由稀释气进口、针阀、精密压力表、填充柱串联组成，两路气体进入稀释三通汇合，然后进入气体混合器，完成一级稀释；如需二级稀释，即将一级稀释管路通过三通依次串联针阀、精密压力表、毛细管柱，构成新的原料气管路；由稀释气入口经过三通依次串联针阀、精密压力表、填充柱，构成新的稀释气管路，两路气体分别连接稀释三通，构成二级稀释管路；依次类推，使本发明专利技术形成稀释气对原料气的一级、两级乃至多级稀释，从而达到稀释、配制所需浓度原料气的目的。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种配气装置，由原料气管路、稀释气管路、针阀、精密压力表、毛细管柱、填充柱、二通、三通和气体混合器组成，其特征在于原料气管路依次由原料气进气口（３１）、针阀（１）、接有精密压力表（６）的三通（１２）、零死体积二通（１６）和毛细管柱（２５）串联组成，稀释气管路依次由稀释气体进气口（３２）、三通（１０）、针阀（２）、接有精密压力表（７）的三通（１３）、填充柱（２７）、变径二通（１８）串联组成，原料气管路的毛细管柱（２５）和稀释气管路的变径二通（１８）分别连接稀释三通（２３），稀释三通（２３）依次连接变径二通（２０）、气体混合器（２９）、三通（１１）、针阀（４）、出口螺帽（３３），从而形成对原料气一级稀释的管路；当需要对原料气进行二级稀释时，将上述原料气一级稀释管路分成两路，其中一路排空，另一路通过三通（１１ ）依次串联针阀（５）、接有精密压力表（９）的三通（１５）、零死体积二通（１７）、毛细管柱（２６），构成新的原料气管路；由三通（１０）串联针阀（３）、接有精密压力表（８）的三通（１４）、填充柱（２８）、变径二通（１９），构成新的稀释气管路，新的原料气管路的毛细管柱（２６）和新的稀释气管路的变径二通（１９）分别连接稀释三通（２４），稀释三通（２４）依次连接变径二通（２１）、气体混合器（３０）、二通（２２）、出口螺帽（３４），从而形成对原料气二级稀释的管路；当需要对原料气进 行二级以上稀释时，依次类推。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马建新，周伟，杨代军，邬敏忠，董建华，沈猛，肖方瑋，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]