废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法。其中，废气处理装置用于去除并回收废气中的砷，包括冷凝部和刮料部，冷凝部具有冷凝腔和与冷凝腔连通的进气口、排气口和排料口，冷凝部用于对由进气口通入冷凝腔内的废气进行降温，以使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔的内壁面上形成固态砷，刮料部可转动地设置在冷凝腔内，且刮料部的部分表面与冷凝腔的内壁面抵接，刮料部转动而将凝结在冷凝腔的内壁面上的固态砷刮落，被刮落的固态砷由排料口排出。本发明专利技术解决了现有技术中的废气处理装置在去除并回收废气中的砷时，经济成本过高的问题。

Operation method of waste gas treatment device, vacuum coating system and waste gas treatment device

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法
本专利技术涉及废气处理
，具体而言，涉及一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法。
技术介绍
真空镀膜机产生的废气中含有砷，直接将废气中的砷排放至外部环境中，会导致污染环境，危害人类的身体健康。现有技术中为解决这一技术问题，通常采用强氧化剂水溶液喷淋废气，并附加高速离心装置的方式来分离和收集废气中的砷，该方案需要消耗化学试剂，从而造成废气处理的经济成本较高，另外，该方案还会产生废水和含水废气，从而增加了废气处理的后续处理步骤，进一步地增加了废气处理的经济成本。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法，以解决现有技术中的废气处理装置在去除并回收废气中的砷时，经济成本过高的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种废气处理装置，用于去除并回收废气中的砷，包括：冷凝部，冷凝部具有冷凝腔和与冷凝腔连通的进气口、排气口和排料口，冷凝部用于对由进气口通入冷凝腔内的废气进行降温，以使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔的内壁面上形成固态砷；刮料部，刮料部可转动地设置在冷凝腔内，且刮料部的部分表面与冷凝腔的内壁面抵接，刮料部转动而将凝结在冷凝腔的内壁面上的固态砷刮落，被刮落的固态砷由排料口排出。进一步地，冷凝腔呈圆柱形，刮料部为刮料板，刮料板的长度与冷凝腔的直径或半径相同，且刮料板的厚度与冷凝腔的高度相同，且刮料板上开设有至少一个透气孔。进一步地，排料口在竖直方向上位于冷凝部的底部。进一步地，冷凝部还具有过流腔、进液口和排液口，其中，过流腔与冷凝腔间隔设置，进液口和排液口均与过流腔连通，冷媒依次流过进液口、过流腔和排液口，以控制冷凝腔内的温度。进一步地，冷凝部包括：筒体；两个盖板，两个盖板分别盖设在筒体的两端，两个盖板和筒体之间围成冷凝腔；过流腔形成在筒体和/或至少一个盖板上。进一步地，盖板上开设有安装孔，废气处理装置还包括驱动部，驱动部包括：壳体，壳体的一端与冷凝部连接，并位于安装孔处；驱动件，驱动件设置在壳体的另一端并通过穿设在壳体内的驱动轴与刮料部连接；轴承，轴承安装在壳体内，且驱动轴的两端的位置处分别设置有一个轴承。进一步地，废气处理装置还包括密封法兰，壳体通过密封法兰与盖板的连接；壳体与驱动轴之间有用于密封的磁流体。根据本专利技术的另一方面，提供了一种真空镀膜系统，包括：真空镀膜机，真空镀膜机具有废气排放口；废气处理装置，废气处理装置的进气口与废气排放口相连通，废气处理装置为上述的废气处理装置。根据本专利技术的另一方面，提供了一种废气处理装置的操作方法，用于操作上述的废气处理装置，包括如下步骤：步骤S1，控制冷凝部的冷凝腔的温度低于砷的凝固点；步骤S2，将废气由冷凝部的进气口通入冷凝腔中，以使废气中处于气态的砷与冷凝腔的内壁面接触并凝结在冷凝腔的内壁面上，形成固态砷；步骤S3，控制废气处理装置的驱动部启动，驱动刮料部转动，刮料部转动而将凝结在冷凝腔的内壁面上的固态砷刮落后由排料口排出。应用本专利技术的技术方案，冷凝部具有冷凝腔和与冷凝腔连通的进气口和排气口，将废气由进气口通入冷凝腔内，冷凝部对废气进行降温，使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔的内壁面上，形成固态砷，之后，刮料部转动而将固态砷刮落，被刮落的固态砷在重力的作用下由排料口排出至冷凝腔外，去除砷的废气由排气口排出至冷凝腔外。本申请提供的废气处理装置结构简单、经济成本低，能够有效地去除并回收废气中的砷。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术的一种可选实施例的废气处理装置的结构示意图；图2示出了图1中的废气处理装置的部分剖视示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、冷凝部；11、冷凝腔；12、进气口；13、排气口；14、排料口；15、过流腔；16、筒体；17、盖板；171、安装孔；20、刮料部；21、透气孔；30、驱动部；31、壳体；32、驱动件；33、轴承；34、驱动轴；40、密封法兰；50、磁流体。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。为了解决现有技术中的废气处理装置在去除并回收废气中的砷时，经济成本过高的问题，本专利技术提供了一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法，其中，真空镀膜系统包括上述和下述的废气处理装置，废气处理装置的操作方法用于操作上述和下述的废气处理装置。如图1和图2所示，用于去除并回收废气中的砷的废气处理装置，包括冷凝部10和刮料部20，冷凝部10具有冷凝腔11和与冷凝腔11连通的进气口12、排气口13和排料口14，冷凝部10用于对由进气口12通入冷凝腔11内的废气进行降温，以使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔11的内壁面上形成固态砷，刮料部20可转动地设置在冷凝腔11内，且刮料部20的部分表面与冷凝腔11的内壁面抵接，刮料部20转动而将凝结在冷凝腔11的内壁面上的固态砷刮落，被刮落的固态砷由排料口14排出。在本申请中，冷凝部10具有冷凝腔11和与冷凝腔11连通的进气口12和排气口13，将废气由进气口12通入冷凝腔11内，冷凝部10对废气进行降温，使废气中的砷受冷凝结在冷凝腔11的内壁面上，形成固态砷，之后，刮料部20转动而将固态砷刮落，被刮落的固态砷在重力的作用下由排料口14排出至冷凝腔外，去除砷的废气由排气口13排出至冷凝腔11外。本申请提供的废气处理装置结构简单、经济成本低，能够有效地去除并回收废气中的砷。另外，本申请提供的废气处理装置与现有技术中的废气处理装置相比，本申请采用物理方法，不需要化学试剂，也不会产生废水和含水废气，从而降低了废气处理装置的经济成本，通过刮料部20对凝结在冷凝腔11的内壁面上的固态砷进行回收，相比于现有技术中的高速离心装置对砷进行回收的技术方案相比，本申请具有结构简单和操作方便的特点。在本申请中，控制冷凝腔11内的温度低于砷的凝固点，从而使废气中的气态砷凝结为附着在冷凝腔11的内壁上的片状的固态砷。如图1所示，冷凝腔11呈圆柱形，刮料部20为刮料板，刮料板的长度与冷凝腔11的直径或半径相同，且刮料板的厚度与冷凝腔11的高度相同，且刮料板上开设有至少一个透气孔21。这样，控制刮料板转动，刮料板的厚度方向的两端的表面，以及刮料板长度方向的与冷凝腔11的内壁面相抵接的表面将凝结在冷凝腔11的内壁面上的固态砷刮落。另本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气处理装置，用于去除并回收废气中的砷，其特征在于，包括：/n冷凝部(10)，所述冷凝部(10)具有冷凝腔(11)和与所述冷凝腔(11)连通的进气口(12)、排气口(13)和排料口(14)，所述冷凝部(10)用于对由所述进气口(12)通入所述冷凝腔(11)内的废气进行降温，以使所述废气中处于气态的砷受冷凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上形成固态砷；/n刮料部(20)，所述刮料部(20)可转动地设置在所述冷凝腔(11)内，且所述刮料部(20)的部分表面与所述冷凝腔(11)的内壁面抵接，所述刮料部(20)转动而将凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上的所述固态砷刮落，被刮落的所述固态砷由所述排料口(14)排出。/n

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，用于去除并回收废气中的砷，其特征在于，包括：
冷凝部(10)，所述冷凝部(10)具有冷凝腔(11)和与所述冷凝腔(11)连通的进气口(12)、排气口(13)和排料口(14)，所述冷凝部(10)用于对由所述进气口(12)通入所述冷凝腔(11)内的废气进行降温，以使所述废气中处于气态的砷受冷凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上形成固态砷；
刮料部(20)，所述刮料部(20)可转动地设置在所述冷凝腔(11)内，且所述刮料部(20)的部分表面与所述冷凝腔(11)的内壁面抵接，所述刮料部(20)转动而将凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上的所述固态砷刮落，被刮落的所述固态砷由所述排料口(14)排出。


2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述冷凝腔(11)呈圆柱形，所述刮料部(20)为刮料板，所述刮料板的长度与所述冷凝腔(11)的直径或半径相同，且所述刮料板的厚度与所述冷凝腔(11)的高度相同，且所述刮料板上开设有至少一个透气孔(21)。


3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述排料口(14)在竖直方向上位于所述冷凝部(10)的底部。


4.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述冷凝部(10)还具有过流腔(15)、进液口和排液口，其中，所述过流腔(15)与所述冷凝腔(11)间隔设置，所述进液口和所述排液口均与所述过流腔(15)连通，冷媒依次流过所述进液口、所述过流腔(15)和所述排液口，以控制所述冷凝腔(11)内的温度。


5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，所述冷凝部(10)包括：
筒体(16)；
两个盖板(17)，两个所述盖板(17)分别盖设在所述筒体(16)的两端，两个所述盖板(17)和所述筒体(16)之间围成所述冷凝腔(11)；
所述过流腔(15)形成在所述筒体(16)和/或至少一个所述盖板(17)...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁吉，张新云，庞云玲，赵青松，
申请(专利权)人：深圳市永盛隆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44