一种碳化硅高温氧化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及碳化硅高温氧化设备技术领域，具体为一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉，所述高温炉的上方设有炉盖；所述高温炉的内部开设有高温腔，所述高温炉的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块，所述凸块上开设有螺纹孔；该碳化硅高温氧化装置通过设有的电热管，便于提高炉内温度并对氧化硅进行高温氧化处理，同时设有的搁置机构，便于放置氧化硅，此外通过设有的水冷机构，当该高温炉使用过后，使用人员可以通过该水冷机构，迅速带走高温腔内的温度，达到快速降温的目的，提高了工作效率，解决了现有的氧化硅高温氧化设备在使用后难以快速降温的问题。

A high temperature oxidation device of silicon carbide

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅高温氧化装置
本技术涉及碳化硅高温氧化设备
，具体为一种碳化硅高温氧化装置。
技术介绍
碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成的一种耐火材料，在碳化硅的制备过程中，需要对碳化硅进行高温氧化处理；现有的碳化硅高温氧化处理使用专用的高温氧化炉进行，然而现有的高温氧化炉在使用过后，氧化炉内难以快速降温，进而影响了工作效率，鉴于此，我们提出一种碳化硅高温氧化装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅高温氧化装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的氧化硅高温氧化设备在使用后难以快速降温的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉，所述高温炉的上方设有炉盖；所述高温炉的内部开设有高温腔，所述高温炉的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块，所述凸块上开设有螺纹孔，所述炉盖的圆周外壁上呈环形等间距的设有四个凸耳，所述凸耳上穿设有螺栓；所述高温腔内从外至里依次设有水冷机构、搁置机构和电热管；所述水冷机构包括两个相互平行的环形管，两个所述环形管之间呈环形等间距的设有多个连接管，位于上方的所述环形管上设有进水管，位于下方的所述环形管上设有出水管，且所述进水管、所述环形管、所述连接管和所述出水管依次相连通；所述搁置机构包括多个在竖直方向上呈线性等间距设置的搁置皿，所述搁置皿上开设有搁置腔，两个相邻的所述搁置皿之间呈环形等间距的设有多个连杆；所述电热管通过螺栓与所述高温腔的内底面固定连接；所述炉盖上嵌设有进气管，所述进气管的一端穿过所述炉盖并延伸至所述高温腔内。优选的，所述螺栓与相对应的所述螺纹孔螺纹连接。优选的，所述进水管上设有水阀。优选的，所述环形管的直径大于所述搁置皿的外径。优选的，所述炉盖的整体形状呈凸形。优选的，所述高温炉的内壁上开设有两个呈同心设置的隔热腔。优选的，所述进水管和所述出水管的一端均穿过所述高温炉的外壁并延伸至外界。优选的，所述高温炉的圆周外壁靠近底端处呈环形等间距的紧密焊接有多个支脚。与现有技术相比，本技术的有益效果：该碳化硅高温氧化装置通过设有的电热管，便于提高炉内温度并对氧化硅进行高温氧化处理，同时设有的搁置机构，便于放置氧化硅，此外通过设有的水冷机构，当该高温炉使用过后，使用人员可以通过该水冷机构，迅速带走高温腔内的温度，达到快速降温的目的，提高了工作效率，解决了现有的氧化硅高温氧化设备在使用后难以快速降温的问题。附图说明图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术的整体爆炸结构示意图；图3为本技术中高温炉的结构剖视图；图4为本技术中水冷机构的结构示意图；图5为本技术中搁置机构的结构示意图。图中：1、高温炉；11、高温腔；12、凸块；121、螺纹孔；13、隔热腔；2、炉盖；21、凸耳；22、螺栓；3、支脚；4、水冷机构；41、环形管；42、连接管；43、出水管；44、进水管；441、水阀；5、搁置机构；51、搁置皿；511、搁置腔；52、连杆；6、电热管；7、进气管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。实施例1一种碳化硅高温氧化装置，如图1至图3所示，包括高温炉1，高温炉1的上方设有炉盖2；高温炉1的内部开设有高温腔11，高温炉1的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块12，凸块12与高温炉1紧密焊接，凸块12上开设有螺纹孔121，炉盖2的圆周外壁上呈环形等间距的设有四个凸耳21，凸耳21与炉盖2紧密焊接，凸耳21上穿设有螺栓22；高温腔11内从外至里依次设有水冷机构4、搁置机构5和电热管6。在本实施例中，高温炉1的内壁上开设有两个呈同心设置的隔热腔13，隔热腔13能够起到良好的保温效果。在本实施例中，螺栓22与相对应的螺纹孔121螺纹连接，通过螺栓22便于将炉盖2与高温炉1进行连接。进一步的，炉盖2的整体形状呈凸形，凸形的炉盖2便于盖在高温炉1上，从而保证高温炉1的密封性。除此之外，高温炉1的圆周外壁靠近底端处呈环形等间距的紧密焊接有多个支脚3，支脚3给整个装置提供了稳定的支撑。参加图4，高温腔11内从外至里依次设有水冷机构4、搁置机构5和电热管6；水冷机构4包括两个相互平行的环形管41，两个环形管41之间呈环形等间距的设有多个连接管42，连接管42的两端分别与两个环形管41紧密焊接，位于上方的环形管41上设有进水管44，位于下方的环形管41上设有出水管43，进水管44和出水管43的一端分别与相对应的环形管41紧密焊接，且进水管44、环形管41、连接管42和出水管43依次相连通。在本实施例中，进水管44上设有水阀441，水阀441用于控制进水管44的启闭。进一步的，进水管44和出水管43的一端均穿过高温炉1的外壁并延伸至外界，进水管44通过软管与水源相连通，出水管43用于排出带有热量的温水。参加图5，搁置机构5包括多个在竖直方向上呈线性等间距设置的搁置皿51，搁置皿51上开设有搁置腔511，两个相邻的搁置皿51之间呈环形等间距的设有多个连杆52，且连杆52的两端紧密焊接在两个相邻的搁置皿51上；电热管6通过螺栓与高温腔11的内底面固定连接；炉盖2上嵌设有进气管7，进气管7的一端穿过炉盖2并延伸至高温腔11内。在本实施例中，环形管41的直径大于搁置皿51的外径，水冷机构4位于高温腔11与搁置机构5之间，其便于带动高温炉1和搁置机构5上的热量。值得说明的是，本实施例中的电热管6可以采用盐城市新朋电热设备厂生产的型号为JRG—002的发热管，其配套电路和电源模块也可由该厂家提供，除此之外，本技术中涉及到电路和电子元器件以及模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本技术保护的内容也不涉及对于内部结构和方法的改进。本实施例的碳化硅高温氧化装置在使用前，使用人员首先将氧化硅放置在搁置皿51上的搁置腔511内，随后使用人员将搁置机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉(1)，其特征在于：所述高温炉(1)的上方设有炉盖(2)；所述高温炉(1)的内部开设有高温腔(11)，所述高温炉(1)的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块(12)，所述凸块(12)上开设有螺纹孔(121)，所述炉盖(2)的圆周外壁上呈环形等间距的设有四个凸耳(21)，所述凸耳(21)上穿设有螺栓(22)；所述高温腔(11)内从外至里依次设有水冷机构(4)、搁置机构(5)和电热管(6)；所述水冷机构(4)包括两个相互平行的环形管(41)，两个所述环形管(41)之间呈环形等间距的设有多个连接管(42)，位于上方的所述环形管(41)上设有进水管(44)，位于下方的所述环形管(41)上设有出水管(43)，且所述进水管(44)、所述环形管(41)、所述连接管(42)和所述出水管(43)依次相连通；所述搁置机构(5)包括多个在竖直方向上呈线性等间距设置的搁置皿(51)，所述搁置皿(51)上开设有搁置腔(511)，两个相邻的所述搁置皿(51)之间呈环形等间距的设有多个连杆(52)；所述电热管(6)通过螺栓与所述高温腔(11)的内底面固定连接；所述炉盖(2)上嵌设有进气管(7)，所述进气管(7)的一端穿过所述炉盖(2)并延伸至所述高温腔(11)内。/n...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉(1)，其特征在于：所述高温炉(1)的上方设有炉盖(2)；所述高温炉(1)的内部开设有高温腔(11)，所述高温炉(1)的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块(12)，所述凸块(12)上开设有螺纹孔(121)，所述炉盖(2)的圆周外壁上呈环形等间距的设有四个凸耳(21)，所述凸耳(21)上穿设有螺栓(22)；所述高温腔(11)内从外至里依次设有水冷机构(4)、搁置机构(5)和电热管(6)；所述水冷机构(4)包括两个相互平行的环形管(41)，两个所述环形管(41)之间呈环形等间距的设有多个连接管(42)，位于上方的所述环形管(41)上设有进水管(44)，位于下方的所述环形管(41)上设有出水管(43)，且所述进水管(44)、所述环形管(41)、所述连接管(42)和所述出水管(43)依次相连通；所述搁置机构(5)包括多个在竖直方向上呈线性等间距设置的搁置皿(51)，所述搁置皿(51)上开设有搁置腔(511)，两个相邻的所述搁置皿(51)之间呈环形等间距的设有多个连杆(52)；所述电热管(6)通过螺栓与所述高温腔(11)的内底面固定连接；所述炉盖(2)上嵌设有进气管(7)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晶，卢红亮，李勇刚，蒋镄铠，
申请(专利权)人：四川矽芯微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51