一种用于防止等离子气体沉积的传输单元制造技术

本发明专利技术涉及了气体传输技术领域，公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元。包括：具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。本发明专利技术一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，能够使等离子气体在管体内的每一处都能被持续加热，并且能够提高对等离子气体的加热速度，使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。

A transmission unit for preventing plasma gas deposition

【技术实现步骤摘要】
一种用于防止等离子气体沉积的传输单元
本专利技术涉及了气体传输
，具体的是一种用于防止等离子气体沉积的传输单元。
技术介绍
等离子气体是经过电离后的气体。在对等离子气体进行传输时，容易在传输用的管体的内表面沉积粉末，从而影响等离子气体使用的精确性和管体的使用性能。通过研究发现，对等离子气体进行加热使其具有一定的温度，可以避免等离子气体在传输过程中在管体的内壁发生沉积。在对等离子气体进行传输时，传输用的管体需要和相关的设备连接。即管体的一端用于与气体发生装置连接，另一端用于与气体接收装置连接。而管体与气体发生装置和气体接收装置的连接处需要保证密封性以防止由于气体泄漏造成的损失和危害。因此，管体与气体发生装置和气体接收装置的两个端部需要能方便安装。如果从管体的外部设置加热外套对管体内部的气体进行加热，则加热外套的两端不能延伸至管体与气体发生装置和气体接收装置的两个连接端部，否则会影响管体与气体发生装置和气体接收装置的安装连接。由此，在管体的出口处由于没有加热而导致气体温度下降，研究发现，在管体内部设置加热丝可以有效解决该问题。
技术实现思路
为了克服现有技术中的缺陷，本专利技术提供了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，其能够提高加热丝对等离子气体的加热速度，使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。本专利技术公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，包括：具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。优选地，所述加热丝以螺旋形状分布于所述管体的内部。进一步优选地，所述加热丝的所述螺旋形状的轴线与所述管体的轴线重合。优选地，所述加热丝的两端分别设置于所述管体两端的中心位置。优选地，所述加热丝与所述管体的内壁接触设置，所述加热丝与所述管体的内壁存在多个接触点。本专利技术的有益效果如下：本专利技术一种用于防止等离子气体沉积的传输单元通过在管体的内部设置了加热丝。加热丝能够对管体中流动的等离子气体进行加热，使其达到一定的温度，从而抑制等离子气体在管体的内壁发生粉末沉积。本专利技术一种用于防止等离子气体沉积的传输单元通过将加热丝设于管体的内部，加热丝能够从管体的进口处延伸至管体的出口处，即管体中流动的等离子气体在管体中的每一处都能被加热，从而使等离子气体的温度不会发生下降，保证等离子气体在管体的出口处能够保持预设温度，方便使用，并且能够抑制等离子气体在管体内壁发生沉积。本专利技术一种用于防止等离子气体沉积的传输单元通过将加热丝设于管体的内部，加热丝直接作用于管体中流动的等离子气体，从而能够提高加热丝对等离子气体的加热速度，使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。本专利技术一种用于防止等离子气体沉积的传输单元通过使加热丝以螺旋形状分布于管体的内部，从而管体内部一定的空间内可以分布相对长度更长的加热丝，从而提高加热效果。加热丝以螺旋形状分布于管体的内部，扩大了加热丝与管体内部流动的等离子气体的接触面积，使热量能够由加热丝快速传递给等离子气体，从而能够极大限度的提高加热丝对管体内部等离子气体的加热效果和加热速度。为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例中用于防止等离子气体沉积的传输单元的结构示意图；图2是本专利技术实施例中加热丝的结构示意图；以上附图的附图标记：1-管体；2-加热丝；3-镍铬合金层；4-不锈钢层。。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，包括：具有进口和出口的管体1、设置在所述管体1内的加热丝2；所述加热丝2自所述管体1的进口处延伸至所述管体1的出口处；所述加热丝2包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层3，所述第二本体为不锈钢层4。参考附图1，本实施例提供了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，用于等离子气体在设备之间的传递。传输单元包括具有进口和出口的管体1。管体1的两端分别与气体发生装置和气体接收装置密封连通。从而等离子气体从气体发生装置中输出，从管体1的进口处进入管体1中，经过管体1的出口处后再被传输到气体接收装置中。由于等离子气体是经过电离后的气体，等离子气体中存在电子、离子和中性粒子。在对等离子气体进行传输的过程中，等离子气体会在管体1的内壁沉积大量粉末而影响管体1的使用。通过对等离子气体进行加热保温处理，可以很好的抑制粉末沉积现象。因此本实施例在管体1的内部设置了加热丝2。加热丝2能够对管体1中流动的等离子气体进行加热，使其达到一定的温度，从而抑制等离子气体在管体1的内壁发生粉末沉积。由于管体1的进口处和出口处分别与气体发生装置和气体接收装置连接，如果将加热丝2设于管体1的外部，则不方便管体1两端与气体发生装置和气体接收装置的安装。为了使管体1与气体发生装置和气体接收装置安装的部分能够保持密封安装，并且能够方便安装，管体1靠近两端的部分不能设置加热丝2。由此会导致等离子气体在管体1的两端不能被持续加热，从而会造成等离子气体流动至靠近管体1出口处时等离子气体的温度下降，达不到预设温度，从而等离子气体容易在管体1内壁发生沉积。本实施例将气体加热丝2设于管体1的内部，加热丝2能够从管体1的进口处延伸至管体1的出口处，即管体1中流动的等离子气体在管体1中的每一处都能被加热，从而使等离子气体的温度不会发生下降，保证等离子气体在管体1的出口处能够保持预设温度，方便使用，并且能够抑制等离子气体在管体1内壁发生沉积。本实施例中，当预设温度为150℃，管体1中等离子气体流量为40lpm时，管体1中流动的等离子气体在靠近管体1进口处的温度能够达到108℃，等离子气体流动至靠近管体1中间位置的温度能够达到133℃，等离子气体流动至靠近管体1出口处的温度能够达到149℃，当等离子气体到达管体1出口时，其温度能够达到152℃。由于加热丝2是内置于管体1中，加热丝2直接作用于管体1中流动的等离子气体，从而能够提高加热丝2对等离子气体的加热速度，使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。本实施例中加热丝2以螺旋形状本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，包括：/n具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；/n所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；/n所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，包括：
具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；
所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；
所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。


2.根据权利要求1所述的用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，所述加热丝以螺旋形状分布于所述管体的内部。

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【专利技术属性】
技术研发人员：杨逸波，
申请(专利权)人：无锡英普朗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32