水汽捕捉装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种水汽捕捉装置，包括用于捕捉水汽的冷凝腔；所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口；所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片；所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上，且分多层交错设置，且每层水汽捕捉片具有间隙。相比现有的分子筛装置，本发明专利技术的冷凝捕捉结构提供了更多的水汽接触面积，无需花费大量成本建造大容积的分子筛装置；而且本发明专利技术采用冷凝原理对水汽进行捕捉，使得捕捉后的水汽经冷凝作用转变为固体物(如冰晶)，因而再生过程仅需升温操作即可实现对冷凝物的融化，无需耗费电子气体，也不会引入或者二次产生有毒副产物。

【技术实现步骤摘要】
水汽捕捉装置
本专利技术涉及工业气体处理工艺，尤其涉及一种水汽捕捉装置。
技术介绍
在半导体行业、太阳能行业、LED行业、平板显示行业和光纤行业快速发展的今天，砷烷等电子气体的使用范围越来越广泛，在工艺流程中，对于电子气体的提纯工艺要求较高，不仅要求快速、高效地去除杂质，而且不能引入新的杂质，并且所产生的污染物要少，提纯设备还要求能在线再生等。目前对于砷烷等电子气体中水汽的去除一般使用分子筛装置，但是分子筛的微孔内表面积吸附完毕水汽后即失去吸附作用，单位体积分子筛吸附水汽的能力有限，需要建造大容积的分子筛才能满足连续生产的需要；而且分子筛的再生需要大量的干氮气进行再生置换水汽，并且再生过程会产生较多含毒尾气，因而还需要单独配置尾气处理设备；另外，再生完毕后需要用砷烷等电子气体再次对分子筛内的氮气进行置换，而置换过程又会产生大量的有毒尾气，并且还会浪费部分电子气体。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种便于再生的水汽捕捉装置，用以替换现有的分子筛提纯方案，从而解决分子筛提纯过程中的诸多弊端。本专利技术采用的技术方案如下：一种水汽捕捉装置，包括：用于捕捉水汽的冷凝腔；所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口；所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片；所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上，且分多层交错设置，且每层水汽捕捉片具有间隙。可选地，不同组的所述水汽捕捉片在所述柱状冷凝棒上具有不同的安装位置；和/或不同组的所述水汽捕捉片的外周长不同。可选地，所述柱状冷凝棒包括至少一个设置在靠近所述冷凝腔的中心位置的第一冷凝棒、多个设置在靠近所述冷凝腔的内壁的第二冷凝棒以及多个设置在所述第一冷凝棒和所述第二冷凝棒之间的第三冷凝棒；所述第二冷凝棒和所述第三冷凝棒分别以所述第一冷凝棒为中心呈环状分布。可选地，所述水汽捕捉片包括多个连接在所述第一冷凝棒上的第一捕捉片、多个连接在所述第二冷凝棒的第二捕捉片以及多个连接在所述第三冷凝棒的第三捕捉片。可选地，所述第一捕捉片设有用于与所述第一冷凝棒配合的第一过孔；所述第二捕捉片设有用于与所述第二冷凝棒配合的第二过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒和所述第三冷凝棒的第一通孔；所述第三捕捉片设有用于与所述第三冷凝棒配合的第三过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒的第二通孔。可选地，所述水汽捕捉装置还包括：再生设备，所述再生设备用于融化并排放所述水汽捕捉片上的冷凝物，以恢复所述冷凝腔的水汽捕捉功能；所述再生设备包括：加热装置、排放装置以及分别安装在所述气体入口和所述气体出口的阀门；所述阀门用于在进行再生作业时封闭所述气体入口和所述气体出口；所述加热装置用于在进行再生作业时加热所述柱状冷凝棒或者所述冷凝腔；所述排放装置用于在进行再生作业时将融化的冷凝物排出所述冷凝腔。可选地，所述排放装置包括：第一排放口和抽吸泵，所述第一排放口设置在所述冷凝腔的底部且与所述冷凝腔连通，所述抽吸泵与所述第一排放口连接；和/或第二排放口和用于承托所述冷凝腔的支架，所述第二排放口设置在所述冷凝腔的底端且与所述冷凝腔连通，所述支架与所述冷凝腔的底端连接。可选地，在所述冷凝腔的内部设有匀气腔，所述匀气腔靠近所述气体入口并与所述冷凝腔连通；所述水汽捕捉片位于所述匀气腔外。可选地，所述匀气腔内设有匀气板，所述匀气板上设有多个均匀分布的通气孔以及用于与所述柱状冷凝棒配合的第四过孔。可选地，所述水汽捕捉装置还包括与所述柱状冷凝棒连接的冷媒管路，且在所述冷凝腔的内部还设有用于容置所述冷媒管路的容置腔。本专利技术通过柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片构成冷凝腔的主要部件，并采用交错层设的捕捉片结构实现对水汽的高效去除。相比现有的分子筛装置，本专利技术提出的冷凝捕捉结构提供了更多的水汽接触面积，无需花费大量成本建造大容积的分子筛装置；而且本专利技术采用冷凝原理对水汽进行捕捉，使得捕捉后的水汽经冷凝作用转变为固体物(如冰晶)，因而再生过程仅需升温操作即可实现对冷凝物的融化，无需耗费电子气体，也不会引入或者二次产生有毒副产物。综上所述，本专利技术在保证纯化效率的同时，还能够便于再生操作且实现水汽捕捉及再生工艺中降低污染物排放的目的。附图说明为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步描述，其中：图1为本专利技术提供的水汽捕捉装置的实施例的剖视示意图；图2为本专利技术提供的冷凝腔的实施例的内部俯视示意图(一)；图3为本专利技术提供的冷凝腔的实施例的内部俯视示意图(二)；图4为本专利技术提供的冷凝腔的实施例的内部俯视示意图(三)；图5为本专利技术提供的第一捕捉片的实施例的俯视示意图；图6为本专利技术提供的第二捕捉片的实施例的俯视示意图；图7为本专利技术提供的第三捕捉片的实施例的俯视示意图；图8为本专利技术提供的水汽捕捉装置的综合实施例的剖视示意图。附图标记说明：1冷凝腔A气体入口B气体出口2柱状冷凝棒3水汽捕捉片4冷媒管路21第一冷凝棒22第二冷凝棒23第三冷凝棒31第一捕捉片33第三捕捉片32第二捕捉片311第一过孔321第二过孔322第一通孔331第三过孔332第二通孔5支架6第二排放口7匀气腔8匀气板81通气孔9容置腔具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为对本专利技术的限制。本专利技术提供了一种水汽捕捉装置的实施例，如图1所示，主要包括用于捕捉水汽的冷凝腔1，并且在冷凝腔1的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口A，例如前文提及的待除杂提纯处理的电子气体可由气体入口A流入至冷凝腔1内；相应地，在冷凝腔1的壳体上还设有用于输出处理后气体的气体出口B，例如经冷凝腔1除杂提纯处理后的纯化电子气体可由气体出口B输出至后道工序，以此实现在线捕捉水汽，图中以箭头示意待处理气体在冷凝腔1内的流通方向。需特别指出的是，本专利技术摒弃了现有的分子筛提纯装置，采用冷凝原理进行水汽捕捉，因而在前述冷凝腔1的内部可以设置多个柱状冷凝棒2和多组水汽捕捉片3，其中水汽捕捉片3安装在柱状冷凝棒2上，并且为了增大水汽接触表面积以及水汽在冷凝腔1内的流通效果，水汽捕捉片3可以参考图1所示设置成层层交错且每层水汽捕捉片具有间隙的迷宫结构，使得待处理的气体能够迂回流过各水汽捕捉片3，以此提升水汽捕捉效率。此外，本领域技术人员可以理解的是，在冷凝过程中柱状冷凝棒2和水汽捕捉片3之间必然存在热传递效应，即起到冷源作用的柱状冷凝棒2能够使连接其上的水汽捕捉片3温度降低，且低至足以将待处理气体中的水汽凝结成固体形态，以此实现捕捉水汽的作用，因而柱状冷凝棒2和水汽捕捉片3的材质可选为导热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水汽捕捉装置，其特征在于，包括：/n用于捕捉水汽的冷凝腔；/n所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口；/n所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片；/n所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上，且分多层交错设置，且每层水汽捕捉片具有间隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种水汽捕捉装置，其特征在于，包括：
用于捕捉水汽的冷凝腔；
所述冷凝腔的壳体上设有用于输入待处理气体的气体入口以及用于输出处理后气体的气体出口；
所述冷凝腔的内部设有柱状冷凝棒和多组水汽捕捉片；
所述水汽捕捉片安装在所述柱状冷凝棒上，且分多层交错设置，且每层水汽捕捉片具有间隙。


2.根据权利要求1所述的水汽捕捉装置，其特征在于，不同组的所述水汽捕捉片在所述柱状冷凝棒上具有不同的安装位置；和/或
不同组的所述水汽捕捉片的外周长不同。


3.根据权利要求2所述的水汽捕捉装置，其特征在于，所述柱状冷凝棒包括至少一个设置在靠近所述冷凝腔的中心位置的第一冷凝棒、多个设置在靠近所述冷凝腔的内壁的第二冷凝棒以及多个设置在所述第一冷凝棒和所述第二冷凝棒之间的第三冷凝棒；
所述第二冷凝棒和所述第三冷凝棒分别以所述第一冷凝棒为中心呈环状分布。


4.根据权利要求3所述的水汽捕捉装置，其特征在于，所述水汽捕捉片包括多个连接在所述第一冷凝棒上的第一捕捉片、多个连接在所述第二冷凝棒的第二捕捉片以及多个连接在所述第三冷凝棒的第三捕捉片。


5.根据权利要求4所述的水汽捕捉装置，其特征在于，所述第一捕捉片设有用于与所述第一冷凝棒配合的第一过孔；
所述第二捕捉片设有用于与所述第二冷凝棒配合的第二过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒和所述第三冷凝棒的第一通孔；
所述第三捕捉片设有用于与所述第三冷凝棒配合的第三过孔以及用于容纳所述第一冷凝棒的第二通孔。

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【专利技术属性】
技术研发人员：赵青松，宁红锋，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11