一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物制造技术

本发明专利技术公开了一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，属于微电子材料技术领域，关键在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5‑45％、有机胺0.1‑50％、极性有机溶剂0.1‑55％、稳定剂0.1‑20％和水30‑99.2％。本发明专利技术的组合物具有剥离性能强、剥离时间短、操作温度低以及对玻璃基板腐蚀性小等优点，剥离之后玻璃基板可以重复使用。同时该组合物还具有无毒无腐蚀性、无低沸点有机挥发物、对环境无污染、低泡等特点。

A color filter photoresist stripping liquid composition

【技术实现步骤摘要】
一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物
本专利技术属于微电子材料
，涉及到一种组合物，特别是一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，用于选择性的剥离负载在不良彩色滤光片玻璃基板上的彩色光刻胶，使得剥离后的玻璃基板可以再重复使用。
技术介绍
彩色滤光片(ColorFilter，CF)是由红(R)、绿(G)、蓝(B)三种颜色组成的滤色膜，有规律地制作在一块玻璃基板上，利用滤光的原理，产生红、绿、蓝三种颜色，根据驱动IC控制电压的不同，三种颜色以不同种类混合产生各式各样的色彩。彩色滤光片是液晶显示器(TFT-LCD)面板实现彩色化显示的关键原材料，此外，彩色滤光片还可应用于OLED等其他平板显示产品。彩色滤光片的生产技术包括染色法、电沉积法、印刷法、颜料分散法等，其中采用颜料分散法制作的CF具有高精度及较佳的耐光性与耐热性，已成为国际上制作彩色滤光片的主流方法。以颜料分散法制造CF的过程是：首先在玻璃基板上制作黑色矩阵，定义出像素和子像素的图案；接着利用涂胶、光刻和显影等工艺在黑色矩阵(BM)上制作红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)三个彩色层，最后制作保护层。目前，在彩色滤光片的生产过程中，难免会产生一些不良品，而且负载在玻璃基板表面的彩色光刻胶一旦固化或硬化，将无法对其修复。如果不设法去除负载在不良玻璃基板上的彩色光刻胶，则该玻璃基板就只能作为废品处理掉，浪费了大量资源。为了能够再重复使用玻璃基板，需要剥离掉负载在其表面已经硬化的彩色光刻胶。现有技术中，主要是利用CF重工液对其进行处理。现有技术中，TW200727093A公开了一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，该组合物包括无机氢氧化物、极性硫化物、烯烃基乙二醇醚、烯烃基乙二醇二烷基醚、水溶性胺化合物和水。TW200506552A公开了一种剥离液组合物，该组合物含有无机氢氧化物或氢氧化烷胺盐、二甲亚砜和水。专利申请文件CN201611031641.9公开了一种彩色抗蚀剂剥离液组合物，该组合物包含无机碱或其盐混合物、包含羟基的季铵盐化合物、一种特殊结构的胺化合物、极性有机溶剂和水。专利文件CN201010140213.6公开了一种用于剥离滤色片的组合物，该组合物含有氢氧化钾和二醇。专利申请文件CN201611102748.8公开了一种彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，该组合物含有季铵盐化合物、极性有机溶剂、亚烷基二醇烷基醚、肼衍生物化合物、无机碱或其盐化合物和水。由于彩色滤光片制程中所使用的彩色光刻胶是负型光刻胶，光照之后发生交联反应，使得固化之后的彩色光刻胶更加难以去除。上述已公开的文件都存在彩色滤光片光刻胶剥离效果差、剥离时间长、操作温度高、味道严重以及腐蚀玻璃基板等缺点。
技术实现思路
本专利技术为了克服现有技术的缺陷，设计了一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，该组合物具有剥离性能强，剥离时间短，操作温度低以及对玻璃基板腐蚀性小等优点，剥离之后玻璃基板可以重复使用。本专利技术所采取的具体技术方案是：一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，关键在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5-45％、有机胺0.1-50％、极性有机溶剂0.1-55％、稳定剂0.1-20％和水30-99.2％。按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质3-30％、有机胺0.5-30％、极性有机溶剂0.2-40％、稳定剂0.2-15％和水40-96.1％。所述的无机强碱性物质是氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化锂、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硅酸钠、氢氧化钡中的至少一种。所述的有机胺是羟胺、N，N-二甲基羟胺、N-异丙基羟胺、单乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺、N，N-二乙基乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、2-氨基乙醇胺、乙基二乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺、二甘醇胺中的至少一种。所述的极性有机溶剂是二乙二醇单丁醚、三乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、三丙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇己醚、丙二醇正丁醚、苯甲醇、苯乙醇、苯丙醇、乙二醇苯醚、丙二醇苯醚、乙氧基苯甲醇、丙二醇正丙醚、二丙二醇正丙醚、正戊醇、2-甲基丁醇、N-甲基吡咯烷酮、柠檬烯中的至少一种。所述的稳定剂是脂肪酸，稳定剂是芥酸、油酸、亚油酸、硬脂酸、棕榈酸、肉豆蔻酸、月桂酸、正癸酸、正壬酸、正辛酸、正庚酸、正己酸、正戊酸、正丁酸、椰子油酸、辛癸酸、甲基丙烯酸、异辛酸、异壬酸、癸二酸、柠檬酸中的至少一种。所述的水是电阻值大于2MΩ/cm的去离子水。本专利技术的有益效果是：本专利技术的组合物在制作时只需将各个组分依次加入搅拌溶解即可，在溶解过程中要控制强碱放热的现象，整个溶解过程温度控制在50℃以下，溶解完全后用0.1μm的滤芯过滤即可得到剥离液，制作过程简单方便。本专利技术中稳定剂的加入可以有效防止剥离液出现分层现象，有机胺的加入可以提高剥离速度，获得更好的剥离效果。极性有机溶剂过少则无法剥离，过多则剥离液会分层而影响剥离效果，所以各个组分之间的用量配比也至关重要。本专利技术的彩色滤光片光刻胶剥离液组合物在剥离完成后均可得到溶解均一的溶液，在剥离温度为25-70℃时，仅需2-9min即可剥离彩色光刻胶，同时不腐蚀玻璃基板，剥离后的玻璃基板可以再重复使用。本专利技术的组合物具有剥离性能强、剥离时间短、操作温度低以及对玻璃基板腐蚀性小等优点，剥离之后玻璃基板可以重复使用。同时该组合物还具有无毒无腐蚀性、无低沸点有机挥发物、对环境无污染、低泡等特点。具体实施方式下面结合具体实施例对本专利技术作详细说明：本专利技术的无机强碱性物质可以优选为氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化钡的至少一种，有机胺可以优选为羟胺、单乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺和二甘醇胺中的至少一种，极性有机溶剂可以优选为二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、苯甲醇、丙二醇苯醚中的至少一种。下面给出八个实施例和两个对比例，它们各自所用的组分及各组分的用量如下面的表1所示：表1实施例1-8及对比例1-2的各组分用量由上面表1中的内容可知，对比例1与实施例3的不同之处在于，对比例1将稳定剂去掉，用去离子水来补足稳定剂的质量。对比例2与实施例3的不同之处在于，对比例2将有机胺去掉，用去离子水来补足有机胺的质量。为了考察该组合物的清洗效果，本专利技术根据上述实施例1-8及对比例1-2的组合物用量分别制备剥离液备用，将涂覆有BM、RGB、OC&PS的彩色滤光片玻璃基板切割成10*10cm的十个样品，将玻璃基板的十个样品分别浸泡在利用实施例1-8、对比例1、对比例2制备的剥离液中，在设定的操作温度下浸泡设定的操作时间，取出后用去离子水清洗，然后用氮气吹干。利用光学显微镜和电子显微镜进行观察，确认剥离效果，所得结果如下面的表2所示：表2实施例1-8以及对比例1-2的剥离效果由上面表1中的数据可以看出，本专利技术的彩色滤光片光刻胶剥离液组合物如实施例1-8所示，剥离完成后均可得到溶解均一的溶液。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，其特征在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5-45％、有机胺0.1-50％、极性有机溶剂0.1-55％、稳定剂0.1-20％和水30-99.2％。/n

【技术特征摘要】
20190809 CN 201910732706X1.一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，其特征在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5-45％、有机胺0.1-50％、极性有机溶剂0.1-55％、稳定剂0.1-20％和水30-99.2％。


2.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，其特征在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质3-30％、有机胺0.5-30％、极性有机溶剂0.2-40％、稳定剂0.2-15％和水40-96.1％。


3.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，其特征在于，所述的无机强碱性物质是氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化锂、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硅酸钠、氢氧化钡中的至少一种。


4.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，其特征在于，所述的有机胺是羟胺、N，N-二甲基羟胺、N-异丙基羟胺、单乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺、N，N-二乙...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘江华，付元涛，章小琴，
申请(专利权)人：华璞微电子科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33