物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体制造技术

提供一种物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，物理量传感器检测物理量的精度优异。作为物理量传感器的加速度传感器(100)包括：加速度传感器元件(1)和电路元件(2)，该加速度传感器元件(1)包括：基板(12)；盖(50)，以在内部构成收纳空间(S2)的方式与基板(12)接合；以及加速度传感器元件片(10)，收纳于收纳空间(S2)并能够检测物理量，该电路元件(2)由粘接材料(131)粘接于盖(50)的与加速度传感器元件片(10)侧相反侧的上表面(50f)，该加速度传感器(100)在盖(50)的上表面(50f)的外缘区域，沿着盖(50)的外缘设置有凹部(70)。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备、移动体、行驶辅助系统以及显示装置。
技术介绍
以往，如专利文献1所记载的那样，在检测加速度、角速度等物理量的物理量传感器中，已知有一种具备物理量传感器元件的物理量传感器，而该物理量传感器元件具有固定电极和可动电极，该可动电极相对于固定电极以具有间隙的方式并排设置，并且能够向一定方向位移。在这样的物理量传感器元件中，随着可动电极的位移，固定电极与设置于可动电极的可动电极的间隙发生变化，根据该间隙的变化，检测在固定电极与可动电极之间产生的静电电容的变化，由此检测加速度、角速度等物理量的变化。在专利文献1中，公开了一种如下结构的物理量传感器：利用粘接材料在固定于基板上的物理量传感器元件上固定有IC芯片(电路元件)，该IC芯片将从物理量传感器元件中输出的输出信号转换为规定的信号并输出。然而，在专利文献1所记载的物理量传感器中，当利用粘接材料来将IC芯片固定于物理量传感器元件上时，有时粘接材料从物理量传感器元件的上部向下部的基板流出，导致以与将物理量传感器元件固定于基板的粘接材料接触的状态滞留。专利文献1日本特开2017-20888号公报。
技术实现思路
本申请的物理量传感器，其特征在于，包括：物理量传感器元件和电路元件，其中，该物理量传感器元件包括：基板；盖，以在内部构成收纳空间的方式与所述基板接合；以及物理量传感器元件片，收纳于所述收纳空间并能够检测物理量，该电路元件由粘接材料粘接于所述盖的与所述物理量传感器元件片侧相反侧的面，并且，所述物理量传感器在所述盖的所述相反侧的面的外缘区域，沿着所述盖的外缘设置有凹部。在上述的物理量传感器中，优选，所述凹部为阶梯差部。在上述的物理量传感器中，优选，所述凹部为有底的孔。在上述的物理量传感器中，优选，所述有底的孔的孔宽随着从所述盖的所述电路元件侧的面侧朝向所述基板侧而变窄。在上述的物理量传感器中，优选，所述有底的孔的壁面是倾斜面。在上述的物理量传感器中，优选，所述盖为四边形状，在所述盖的至少一对边设置有所述凹部。在上述的物理量传感器中，优选，所述物理量为加速度。本申请的复合传感器的特征在于，包括上述所记载的物理量传感器、以及角速度传感器。本申请的惯性测量单元的特征在于，具备：上述所记载的物理量传感器；角速度传感器以及控制部，该控制部控制所述物理量传感器和所述角速度传感器。本申请的移动体定位装置，其特征在于，包括：上述所记载的惯性测量单元；接收部，从定位用卫星接收重叠有位置信息的卫星信号；取得部，根据接收到的所述卫星信号取得所述接收部的位置信息；运算部，根据从所述惯性测量单元输出的惯性数据来运算移动体的姿势；以及算出部，根据算出的所述姿势来校正所述位置信息，由此算出所述移动体的位置。本申请的便携式电子设备，其特征在于，包括：上述所记载的物理量传感器；壳体，收纳有所述物理量传感器；处理部，收纳于所述壳体，并对从所述物理量传感器中输出的检测信号进行处理；显示部，收纳于所述壳体；以及透光性罩，堵塞所述壳体的开口部。在上述的便携式电子设备中，优选，包括卫星定位系统，测量用户的移动距离和移动轨迹。本申请的电子设备，其特征在于，包括上述所记载的物理量传感器、以及控制部，该控制部根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。本申请的移动体，其特征在于，包括上述所记载的物理量传感器、以及控制部，该控制部根据从所述物理量传感器输出的检测信号来进行控制。在上述的移动体中，优选，包括发动机系统、制动系统以及无钥匙进入系统中的至少任一个系统，所述控制部根据所述检测信号来控制所述系统。本申请的行驶辅助系统，其特征在于，包括上述所记载的物理量传感器以及控制部，该控制部基于从所述物理量传感器中输出的检测信号来控制加速、制动以及转向中的至少任一个，并且，根据从所述物理量传感器中输出的检测信号的变化来切换实施自动驾驶或者不实施自动驾驶。本申请的显示装置，其特征在于，构成为：包括显示部和上述的物理量传感器，该显示部安装于用户的头部，向所述用户的眼睛照射图像光，所述物理量传感器包括位于在安装状态下比所述头部的中心靠一侧的位置的第一传感器单元、和位于比所述头部的中心靠另一侧的位置的第二传感器单元。附图说明图1是示意性示出本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的概略结构的侧视图。图2是示意性示出图1所示的物理量传感器所具备的物理量传感器元件的概略结构的俯视图。图3是图2和图5中的A-A线剖视图。图4是图2中的B-B线剖视图。图5是示意性示出图2的物理量传感器元件所具备的物理量传感器元件片的概略结构的俯视图。图6是本专利技术的第二实施方式所涉及的物理量传感器所具备的物理量传感器元件的剖视图。图7是图6中的C部的放大图。图8是本专利技术的第三实施方式所涉及的物理量传感器所具备的物理量传感器元件的剖视图。图9是图8中的D部的放大图。图10是示出复合传感器的概略结构的功能框图。图11是示出惯性测量单元的概略结构的分解立体图。图12是示出惯性测量单元的惯性传感器的配置例的立体图。图13是示出移动体定位装置的整体系统的框图。图14是示意性示出移动体定位装置的作用的图。图15是示意性示出便携式电子设备的结构的俯视图。图16是示出便携式电子设备的概略结构的功能框图。图17是示意性示出作为电子设备的一个例子的移动式个人计算机的结构的立体图。图18是示意性示出作为电子设备的一个例子的智能手机(移动电话机)的结构的立体图。图19是示出作为电子设备的一个例子的数字静态照相机的结构的立体图。图20是示出作为移动体的一个例子的汽车的结构的立体图。图21是示出行驶辅助系统的概略结构的图。图22是示出行驶辅助系统的概略结构的功能框图。图23是示出头戴式显示装置的概略结构的说明图。符号的说明1、1a、1b作为物理量传感器元件的加速度传感器元件2电路元件10加速度传感器元件片12基板12a凹部12e底面12f主面20端子部21、22、23安装部24第一槽部26第二槽部28第三槽部30第一布线34第一端子电极36第二布线40第二端子电极42第三布线46第三端子电极50盖50a凹部50e顶面50f上表面60接合部件70凹部70f面72凹部72a、72b倾斜面90孔94密封部件100作为物理量传感器的加速度传感器120封装体900复合传感器1000腕部设备1100个人计算机1200智能手机1300数字静态照相机1500汽车2000惯性测量单元3000移动体定位装置4000行驶辅助系统5000头戴式显示装置BW1、BW2接合线S1、S2收纳空间。具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：/n物理量传感器元件，所述物理量传感器元件包括：基板；盖，以在内部构成收纳空间的方式与所述基板接合；以及物理量传感器元件片，收纳于所述收纳空间并能够检测物理量；和/n电路元件，由粘接材料粘接于所述盖的与所述物理量传感器元件片相反侧的面，/n在所述盖的所述相反侧的面的外缘区域，沿着所述盖的外缘设置有凹部。/n

【技术特征摘要】
20180613 JP 2018-1128721.一种物理量传感器，其特征在于，包括：
物理量传感器元件，所述物理量传感器元件包括：基板；盖，以在内部构成收纳空间的方式与所述基板接合；以及物理量传感器元件片，收纳于所述收纳空间并能够检测物理量；和
电路元件，由粘接材料粘接于所述盖的与所述物理量传感器元件片相反侧的面，
在所述盖的所述相反侧的面的外缘区域，沿着所述盖的外缘设置有凹部。


2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述凹部为阶梯差部。


3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
所述凹部为有底的孔。


4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
所述有底的孔的孔宽随着从所述盖的所述电路元件侧朝向所述基板侧而变窄。


5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
所述有底的孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：鸟本达朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP