具有缓存区的物料传送设备、物料传送系统及其组装方法技术方案

本发明专利技术公开了具有缓存区的物料传送设备、物料传送系统及其组装方法，解决了常见对原机台设备进行工业4.0改造时,改造成本较高的问题，其技术方案要点是，包括：机台；设于所述机台上的传送装置，所述机台上设有至少两个用于暂存产品的缓存区，所述缓存区设置于所述机台的一侧或两侧，所述传送装置可延伸出所述机台至少一个缓存区的长度；以及，滑动式设置于所述传送装置上、受所述传送装置驱动以输送产品的机械手装置，达到改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
具有缓存区的物料传送设备、物料传送系统及其组装方法
本专利技术涉及自动化设备
，特别涉及具有缓存区的物料传送设备、物料传送系统及其组装方法。
技术介绍
随着半导体集成电路的飞速发展,在半导体设备行业进行工业4.0改造势在必行。进行改造时,改造点主要集中体现在上下料的位置,但由于半导体设备行业的特殊性,在对原机台设备进行工业4.0改造时,要求改造成本低,运动可靠,运行高效,且组线灵活,现有的改造方案成本较高，因此需要提供一种解决半导体设备单机组线所面临问题的优选方案。
技术实现思路
本专利技术的目的一是提供一种具有缓存区的物料传送设备，具有单个机台的改造成本低，在对多个改造后的机台进行组线较为灵活的优点。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种具有缓存区的物料传送设备，包括：机台；设于所述机台上的传送装置，所述机台上设有至少两个用于暂存产品的缓存区，所述缓存区设置于所述机台靠近传送装置的一侧或两侧，所述传送装置可延伸出所述机台至少一个缓存区的长度；以及，滑动式设置于所述传送装置上、受所述传送装置驱动以输送产品的机械手装置。通过采用上述技术方案，在进行单个物料传送设备的改造时，机台上设置至少两个用于暂存产品的缓存区，当机械手装置在传送装置上滑动将产品输送至缓存区时，因每个机台的传送装置延伸出机台自身至少一个缓存区的长度，所以相邻机台的机械手装置可到达前一机台的缓存区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。本专利技术的进一步设置，所述传送装置包括：设于所述机台上、沿所述机台长度方向设置、供所述机械手装置滑动的轨道；以及，设于所述机台上、用于驱动所述机械手装置在所述轨道上滑动的输送机构。通过采用上述技术方案，输送机构可驱动机械手装置在轨道上移动，实现产品在机台上的输送及向相邻机台输送的工作。本专利技术的进一步设置，所述输送机构包括：设于所述轨道上的主动轮及从动轮；用于驱动主动轮转动的电机；以及，套设于所述主动轮及从动轮上与机械手装置固定的传送带。通过采用上述技术方案，电机驱动主动轮转动，从而带动传送带移动，带动机械手装置移动以实现产品的输送。本专利技术的进一步设置，所述机械手装置包括：滑动式设置于所述轨道上、与所述传送带固定的滑动座；设于滑动座靠近缓存区一端的架体；设于所述滑动座、用于驱动架体升降的驱动件；以及，多个设于所述架体朝向缓存区一面的吸盘。通过采用上述技术方案，传送带移动带动滑动座移动，滑动座在轨道上滑动至缓存区时，驱动件驱动架体升降，使吸盘将缓存区上的产品吸合，从而实现产品的转移。本专利技术的进一步设置，所述机械手装置包括：滑动式设置于所述轨道上、与所述传送带固定的副轨道；滑动式设置于所述副轨道上的滑动座；设于所述副轨道上、用于驱动所述滑动座在所述副轨道上滑动的副输送机构；设于滑动座靠近缓存区一端的架体；设于所述滑动座、用于驱动架体升降的驱动件；以及，多个设于所述架体朝向缓存区一面的吸盘。通过采用上述技术方案，传送带移动带动副轨道移动，实现调节滑动座及吸盘的位置，副输送机构驱动滑动座移动，也能实现调节吸盘的位置；由于副轨道为滑动式设置，在需要整体拆卸传送装置及机械手装置时，较为方便；滑动座滑动至缓存区时，驱动件驱动架体升降，使吸盘将缓存区上的产品吸合，从而实现产品的转移。本专利技术的进一步设置，所述驱动件为气缸。通过采用上述技术方案，便于驱动吸盘升级以实现产品的输送。本专利技术的目的二是提供一种物料传送系统，包括至少两个如上所述的具有缓存区的物料传送设备，相邻所述具有缓存区的物料传送设备的传送装置交错设置以形成供所述机械手装置将产品从一所述具有缓存区的物料传送设备输送至相邻所述具有缓存区的物料传送设备的缓存区的重叠区。通过采用上述技术方案，因相邻两机台的传送装置形成有重叠区，所以相邻两机台的机械手装置可到达重叠区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。本专利技术的进一步设置，相邻所述具有缓存区的物料传送设备的传送装置为上下错开或前后错开。通过采用上述技术方案，可以灵活设置相邻传送装置错开的方式，从而组线更为灵活。本专利技术的目的三是提供一种组装方法，用于组装如上所述的物料传送系统，包括以下步骤：将所述传送装置装配至各所述机台的预定位置且使所述缓存区位于所述机台靠近传送装置的一侧或两侧；以及，将所述机台两两对接并使所述传送装置交错分布以形成供所述机械手装置将产品从一所述具有缓存区的物料传送设备输送至相邻所述具有缓存区的物料传送设备的缓存区的重叠区。通过采用上述技术方案，在进行多台机台的组装时，因相邻两机台的传送装置形成有重叠区，所以相邻两机台的机械手装置可到达重叠区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。综上所述，本专利技术具有以下有益效果：1、因每个机台的传送装置延伸出机台自身至少一个缓存区的长度，所以相邻机台的机械手装置可到达前一机台的缓存区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本；2、相邻轨道可以为上下错开或前后错开，可以灵活设置相邻轨道错开的方式，从而组线更为灵活。附图说明图1是实施例1中物料传送系统的结构示意图；图2是实施例1中具有缓存区的物料传送设备的结构示意图；图3是实施例1中传送装置延伸出机台的示意图；图4是实施例1中相邻两机台上的传送装置之间的连接关系示意图；图5是实施例1中传送装置和机械手装置的连接关系示意图；图6是实施例2中相邻两机台上的传送装置之间的连接关系示意图（机械手装置活动前）；图7是实施例2中相邻两机台上的传送装置之间的连接关系示意图（机械手装置活动后）；图8是实施例2中传送装置和机械手装置的连接关系示意图。附图标记：1、机台；2、传送装置；21、轨道；22、输送机构；221、主动轮；222、从动轮；223、传送带；3、缓存区；4、机械手装置；41、滑动座；42、架体；43、驱动件；44、吸盘；45、副轨道；46、副输送机构；5、重叠区；6、工作区。具体实施方式以下结合附图对本专利技术作进一步详细说明。实施例1：一种物料传送系统，如图1所示，包括至少两个具有缓存区的物料传送设备，具有缓存区的物料传送设备可用于半导体领域的生产、加工或检测，也可应用于其它各领域中，可通过具有缓存区的物料传送设备的两两并线，实现将两个或者两个以上的具有缓存区的物料传送设备组装成物料传送系统，以实现生产、加工或检测各类产品。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有缓存区的物料传送设备，其特征在于，包括：/n机台(1)；/n设于所述机台(1)上的传送装置(2)，所述机台(1)上设有至少两个用于暂存产品的缓存区(3)，所述缓存区(3)设置于所述机台(1)靠近传送装置(2)的一侧或两侧，所述传送装置(2)可延伸出所述机台(1)至少一个缓存区(3)的长度；/n以及，/n滑动式设置于所述传送装置(2)上、受所述传送装置(2)驱动以输送产品的机械手装置(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有缓存区的物料传送设备，其特征在于，包括：
机台(1)；
设于所述机台(1)上的传送装置(2)，所述机台(1)上设有至少两个用于暂存产品的缓存区(3)，所述缓存区(3)设置于所述机台(1)靠近传送装置(2)的一侧或两侧，所述传送装置(2)可延伸出所述机台(1)至少一个缓存区(3)的长度；
以及，
滑动式设置于所述传送装置(2)上、受所述传送装置(2)驱动以输送产品的机械手装置(4)。


2.根据权利要求1所述的具有缓存区的物料传送设备，其特征在于，所述传送装置(2)包括：
设于所述机台(1)上、沿所述机台(1)长度方向设置、供所述机械手装置(4)滑动的轨道(21)；以及，
设于所述机台(1)上、用于驱动所述机械手装置(4)在所述轨道(21)上滑动的输送机构(22)。


3.根据权利要求2所述的具有缓存区的物料传送设备，其特征在于，所述输送机构(22)包括：
设于所述轨道(21)上的主动轮(221)及从动轮(222)；
用于驱动主动轮(221)转动的电机；以及，
套设于所述主动轮(221)及从动轮(222)上与机械手装置(4)固定的传送带(223)。


4.根据权利要求2所述的具有缓存区的物料传送设备，其特征在于，所述机械手装置(4)包括：
滑动式设置于所述轨道(21)上、与所述传送带(223)固定的滑动座(41)；
设于滑动座(41)靠近缓存区(3)一端的架体(42)；
设于所述滑动座(41)、用于驱动架体(42)升降的驱动件(43)；以及，
多个设于所述架体(42)朝向缓存区(3)一面的吸盘(44)。


5.根据权利要求4所述的具有缓存区的物料传...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨应俊，李海东，刘子敏，王胜利，杨波，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44