低水雾冲水装置制造方法及图纸

本发明专利技术在于提供一种能防止水雾产生，避免影响制程的低水雾冲水装置。其技术手段：低水雾冲水装置包括定位、冲水单元及风刀帽；定位单元一端能与湿制程设备对应侧连接，具有导气通道；冲水单元垂直设置于定位单元自由端处，具有出、入水口；风刀帽包括环状壳体、开槽、及与开槽相连通的内、外出气缝；环状壳体套设于出水口外；开槽设于环状壳体垂直壁面顶端，并能对应于导气通道；内出气缝环设于环状壳体垂直壁面底端内侧，内出气缝间形成有第一间距；外出气缝环设于环状壳体垂直壁面底端外侧，外出气缝间形成有第二间距，另与内出气缝间形成有间隔，而各个外出气缝皆还与一个第一间距相对应。

【技术实现步骤摘要】
低水雾冲水装置
本专利技术涉及一种湿制程设备上的冲水结构，尤指一种低水雾冲水装置。
技术介绍
在现今的半导体湿制程中，存在着许多清洗程序，通过冲水这一流程，来进行不同目标的应用，而在进行冲水的同时，难免会产生大量的水雾，对目标观测有一定的防碍，而且对机台的使用寿命也都有一定程度的影响。针对水雾这一问题，湿制程设备上还会装置抽气设备，在冲水的同时，利用抽气设备将水雾抽出，以降低水雾的影响，但是整体而言，效果并不是很好。有鉴于此，如何提供一种能解决前述问题，最大程度地避免水雾产生的低水雾冲水装置，便成为本专利技术欲改进的目的。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供一种能防止水雾产生，避免影响制程的低水雾冲水装置。为解决上述问题及达到本专利技术的目的，本专利技术的技术手段，是这样实现的，为一种低水雾冲水装置，能配合湿制程设备应用，其中：所述低水雾冲水装置，包括有一定位单元、一冲水单元、以及一风刀帽；所述定位单元，其一端能与湿制程设备对应侧连接，且具有一能对底侧面输出气体的导气通道；所述冲水单元，其垂直设置于该定位单元自由端处，具有一位于底端的出水口、及一位于顶端的入水口；所述风刀帽，其包括有一环状壳体、一开槽、至少两个内出气缝、及至少两个外出气缝；所述环状壳体，其套设于该出水口外；所述开槽，其设于该环状壳体垂直壁面顶端，并能对应于该导气通道；所述内出气缝，其环设于该环状壳体垂直壁面底端内侧，各自与该开槽相连通，且各个该内出气缝相互间形成有一第一间距；所述外出气缝，其环设于该环状壳体垂直壁面底端外侧，各自与该开槽相连通，且各个该外出气缝相互间形成有一第二间距，另与该内出气缝间形成有一间隔，而各个该外出气缝皆还与一个该第一间距相对应。更优选的是，所述导气通道，其还呈T字型设置，并包含有一主通道、及一出气通道，该主通道水平穿设于该定位单元固定端处，该出气通道垂直设于该主通道中央底侧，连通至该定位单元底侧面。更优选的是，所述冲水单元，其还包括有一反射体、及两连接杆，该反射体间隔设于该出水口处，该连接杆分别设于该反射体两侧，且一端往斜上方连接至该出水口处边缘。更优选的是，所述反射体，其顶端为平面，而底端为呈球状面设置。与现有技术相比，本专利技术的效果如下所示：第一点：本专利技术低水雾冲水装置，通过定位单元、冲水单元及风刀帽的配合应用，利用风刀帽产生高压风刀以形成风墙，能将冲水单元冲水时产生的水雾，限制在高压风墙内侧，解决水雾弥漫的问题。第二点：本专利技术低水雾冲水装置，将冲水和风墙的功能整合在一起，能有效配合湿制程设备，不但整体而言，非常耐用可靠，最重要的是，还不会增加过多的成本，而且不管是新旧机台都能配合应用。附图说明图1为本专利技术的立体示意图。图2为本专利技术的分解示意图。图3为本专利技术中风刀帽的底视示意图。图4为本专利技术的立体实施示意图。图5为本专利技术的剖面实施示意图。附图标记说明：1定位单元11导气通道111主通道112出气通道2冲水单元21出水口22入水口23反射体24连接杆3风刀帽31环状壳体32开槽33内出气缝331第一间距34外出气缝341外出气缝342间隔100低水雾冲水装置A冲洗水B气体C水雾具体实施方式以下依据图面所示的实施例进行详细说明：如图1至图5所示，图中揭示出，一种低水雾冲水装置，能配合湿制程设备应用，其中，所述低水雾冲水装置100，包括有一定位单元1、一冲水单元2、以及一风刀帽3；所述定位单元1，其一端能与湿制程设备对应侧连接，且具有一能对底侧面输出气体的导气通道11；所述冲水单元2，其垂直设置于该定位单元1自由端处，具有一位于底端的出水口21、及一位于顶端的入水口22；所述风刀帽3，其包括有一环状壳体31、一开槽32、至少两个内出气缝33、及至少两个外出气缝34；所述环状壳体31，其套设于该出水口21外；所述开槽32，其设于该环状壳体31垂直壁面顶端，并能对应于该导气通道11；所述内出气缝33，其环设于该环状壳体31垂直壁面底端内侧，各自与该开槽32相连通，且各个该内出气缝33相互间形成有一第一间距331；所述外出气缝34，其环设于该环状壳体31垂直壁面底端外侧，各自与该开槽32相连通，且各个该外出气缝34相互间形成有一第二间距341，另与该内出气缝33间形成有一间隔342，而各个该外出气缝34皆还与一个该第一间距331相对应。其中，通过定位单元1、冲水单元2及风刀帽3的配合应用，构成本专利技术低水雾冲水装置100，将冲水和风墙的功能整合在一起，能有效配合湿制程设备，利用风刀帽3产生高压风刀以形成风墙，限制住冲水单元2冲水时产生的水雾，一举解决水雾弥漫的问题，整体而言，非常耐用可靠、成本低，而且不管是新旧机台都能配合应用。其次，利用内出气缝33、外出气缝34的内外交错结构设计，水雾难以外泄，避免影响制程，而另一方面，第一间距331、第二间距341的设置，除了让内出气缝33、外出气缝34相互间能配合之外，还能有效避免内出气缝33、外出气缝34所输出的气体B，发生流速不足的问题，而间隔342的设置，能让相邻内出气缝33、外出气缝34所输出的气体B之间，在不干扰的状况下，将周围空气带走，形成低压区，让内部的水雾C，更不容易外泄。如图4和图5所示，图中揭示出，气体B能通过主通道111、出气信道112的顺序，以高流速进入开槽32中，再经过外出气缝34和内出气缝33，更加快速地输出于外，产生高压风刀，风墙得以形成，同时，冲洗水A能通过入水口22进入冲水单元2，由出水口21输出于外，达到冲洗的效果，此间所产生的水雾C，会被由气体B所构成的风墙所限制住，不再大幅度地弥漫在湿制程设备中。请参阅图2、图4、及图5，所述导气通道11，其还呈T字型设置，并包含有一主通道111、及一出气通道112，该主通道111水平穿设于该定位单元1固定端处，该出气通道112垂直设于该主通道111中央底侧，连通至该定位单元1底侧面。其中，通过主通道111及出气通道112的配合，应用T字型的结构，以主信道111将两股气体B，汇集至出气通道112后输出，获得更大的流速，快速流入风刀帽3中，以实时的产生高压风刀，形成风墙，将水雾C限制住。请参阅图2，所述冲水单元2，其还包括有一反射体23、及两连接杆24，该反射体23间隔设于该出水口21处，该连接杆24分别设于该反射体23两侧，且一端往斜上方连接至该出水口21处边缘。其中，通过反射体23的设置，在不影响冲洗效率的前提之下，避免直冲冲洗面，对冲洗面产生过大压力，对机台或产品产生不良的影响。其次，通过连接杆24的应用，能在不影响冲洗的大前提下，让反射体23获得一稳固的定位。请参阅图2及图5，所述反射体23，其顶端为平面，而底端为呈球状面设置。其中，利用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低水雾冲水装置，能配合湿制程设备应用，其特征在于：/n所述低水雾冲水装置(100)，包括有一定位单元(1)、一冲水单元(2)、以及一风刀帽(3)；/n所述定位单元(1)，其一端能与湿制程设备对应侧连接，且具有一能对底侧面输出气体的导气通道(11)；/n所述冲水单元(2)，其垂直设置于该定位单元(1)自由端处，具有一位于底端的出水口(21)、及一位于顶端的入水口(22)；/n所述风刀帽(3)，其包括有一环状壳体(31)、一开槽(32)、至少两个内出气缝(33)、及至少两个外出气缝(34)；/n所述环状壳体(31)，其套设于该出水口(21)外；/n所述开槽(32)，其设于该环状壳体(31)垂直壁面顶端，并能对应于该导气通道(11)；/n所述内出气缝(33)，其环设于该环状壳体(31)垂直壁面底端内侧，各自与该开槽(32)相连通，且各个该内出气缝(33)相互间形成有一第一间距(331)；/n所述外出气缝(34)，其环设于该环状壳体(31)垂直壁面底端外侧，各自与该开槽(32)相连通，且各个该外出气缝(34)相互间形成有一第二间距(341)，另与该内出气缝(33)间形成有一间隔(342)，而各个该外出气缝(34)皆还与一个该第一间距(331)相对应。/n...

【技术特征摘要】
1.一种低水雾冲水装置，能配合湿制程设备应用，其特征在于：
所述低水雾冲水装置(100)，包括有一定位单元(1)、一冲水单元(2)、以及一风刀帽(3)；
所述定位单元(1)，其一端能与湿制程设备对应侧连接，且具有一能对底侧面输出气体的导气通道(11)；
所述冲水单元(2)，其垂直设置于该定位单元(1)自由端处，具有一位于底端的出水口(21)、及一位于顶端的入水口(22)；
所述风刀帽(3)，其包括有一环状壳体(31)、一开槽(32)、至少两个内出气缝(33)、及至少两个外出气缝(34)；
所述环状壳体(31)，其套设于该出水口(21)外；
所述开槽(32)，其设于该环状壳体(31)垂直壁面顶端，并能对应于该导气通道(11)；
所述内出气缝(33)，其环设于该环状壳体(31)垂直壁面底端内侧，各自与该开槽(32)相连通，且各个该内出气缝(33)相互间形成有一第一间距(331)；
所述外出气缝(34)，其环设于该环状壳体(31)垂直壁面底端外侧，各...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡韶庭，王森泰，
申请(专利权)人：佳宸科技有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;TW