一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。本实用新型专利技术装置采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，提升烘干效率。

【技术实现步骤摘要】
一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置
本技术属于刻蚀SCHMID设备
，具体涉及一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置。
技术介绍
单晶产品在刻蚀SCHMID设备制程中通过：去除硅片背面和边缘的PN结，使硅片上下两面绝缘。去除扩散形成的PSG。其烘干系统采用热风机鼓风后送到风刀由风刀将热风均匀吹撒在硅片上下表面，达到烘干硅片效果。SCHMID刻蚀设备的产能很大部分取决于其滚轮带速，而目前滚轮带速的提升完全受制于其风烘干装置的烘干效果。硅片进过风刀的速度越慢，烘干时间就越长，烘干效果便越好，但产量就越小。反之产量越大。烘干效果便越差。欲达到更大的产量必要提示烘干系统的烘干效率，目前设备本身具有两组风刀烘干，但是目前现有的烘干装置安装的空间有限，两组风刀装置的安装位置很难根据硅片调整，烘干时难以达到最佳的角度和位置，且现有烘干装置的风量和温度也不好进行控制，使得硅片的烘干效率还有很大的提升空间。
技术实现思路
本技术的目的在于：解决目前SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置采用两组风刀的装置，安装有很大的局限性，且风刀风量和温度不好控制，导致硅片的烘干效率不高的问题，提出一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，很好地提升烘干效率，降低了硅片带液不良率。本技术采用的技术方案如下：一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。进一步，所述风机包括第一风机和第二风机，加热器包括第一加热器和第二加热器，风管包括第一风管和第二风管，第一风机和第二风机出风口分别设置有第一加热器和第二加热器，第一加热器和第二加热器都分别连接有第一风管和第二风管，第一风管和第二风管的尾端分别连接上风刀和下风刀，第一风机和第二风机分别连接有风速控制装置，第一加热器和第二加热器分别连接有加热温度控制装置。进一步，所述风速控制装置包括变频器和用于设定风机速度的模拟量发生器。进一步，所述加热温度控制装置包括温度控制器和热继电器。进一步，所述温度控制器及热继电器控制模式为PID模式。进一步，所述加热器的出风口设置有与加热温度控制装置连接的温度探头，温度探头将温度信号传送至加热温度控制装置。进一步，所述风机上设置有时间继电器，时间继电器采用延时关闭的模式控制风机工作。进一步，所述风机采用的电机为三相异步电动机。进一步，所述上风刀和下风刀距离为3-8cm。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：1、本技术中，装置采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，提升烘干效率，降低了硅片带液不良率，且其控制及运行不依赖设备，可独立开启关闭和调节；2、本技术中，上下风刀连接单独的风机和控制系统，风量和出风温度都可以单独调控，控制更加方便，利用率和烘干效果也会更好；3、本技术中，风机连接的风速控制装置包括变频器和用于设定风机速度的模拟量发生器，控制方便，安装不占空间，能够实现多档位精确控制风速；4、本技术中，加热器上连接的加热温度控制装置包括温度控制器和热继电器，能够进行加热的双重保护；5、本技术中，温度控制器及热继电器控制模式为PID模式，控制方式简单精确且易操作；6、本技术中，加热器的出风口设置有温度探头，温度探头将温度信号传送至加热器连接的加热温度控制装置，温度控制更加精确，且自动进行温度控制；7、本技术中，风机上设置有时间继电器，时间继电器采用延时关闭的模式控制风机工作，加热系统关闭后风机依靠时间继电器延时2分钟关闭可帮助加热管散热，防止加热管关闭后温度过高形象使用寿命，以及存在安全隐患。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施例2装置结构示意图；图中标记：1-风机，2-加热器，3-风管，4-上风刀，5-下风刀；图2是本技术实施例1加热器电路连接示意图；图3是本技术实施例1风机电路连接示意图；图4是本技术实施例1温度控制电路连接示意图：图5是本技术实施例1变频器电路连接示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术，即所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机1，还包括设置在风机1的出风口的加热器2，加热器2的出风口连接有风管3，风管3的尾端分别连接有上风刀4和下风刀5，风机1还连接有风速控制装置，加热器2还连接有加热温度控制装置。通过一组独立的上风刀和下风刀烘干装置，达到在有限的空间里实现风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果。其中上风刀4和下风刀5可以通过一个风管3设置在一个风机1和一个加热器2上，风管3只需为两个分支结构，两个分支分别连接上风刀4和下风刀5即可。也可以分别通过两个风管3设置在两个独立的风机1和加热器2上。风速控制装置可以采用电机连接变频器，电机连接风机，通过单片机或者模拟量发生器来设定风速，实现多风速档位控制。也可以采用电磁转差离合器和测速发电机来控制风机电机的转速进而调节风速。加热温度控制装置可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机(1)，其特征在于：还包括设置在风机出风口的加热器(2)，加热器出风口连接有风管(3)，风管(3)的尾端分别连接有上风刀(4)和下风刀(5)，风机(1)还连接有风速控制装置，加热器(2)还连接有加热温度控制装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机(1)，其特征在于：还包括设置在风机出风口的加热器(2)，加热器出风口连接有风管(3)，风管(3)的尾端分别连接有上风刀(4)和下风刀(5)，风机(1)还连接有风速控制装置，加热器(2)还连接有加热温度控制装置。


2.根据权利要求1所述的一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，其特征在于：所述风机(1)包括第一风机和第二风机，加热器(2)包括第一加热器和第二加热器，风管(3)包括第一风管和第二风管，第一风机和第二风机出风口分别设置有第一加热器和第二加热器，第一加热器和第二加热器都分别连接有第一风管和第二风管，第一风管和第二风管的尾端分别连接上风刀(4)和下风刀(5)，第一风机和第二风机分别连接有风速控制装置，第一加热器和第二加热器分别连接有加热温度控制装置。


3.根据权利要求1或2所述的一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，其特征在于：所述风速控制装置包括变频器和用于设定风机速度的模拟量发生器。


4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶春阳，白云平，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51